Механическая зондовая станция используется для физического получения сигналов от внутренних узлов полупроводникового прибора. Зондовая станция использует манипуляторы, которые позволяют точно позиционировать тонкие иглы на поверхности полупроводникового прибора. Если прибор подвергается электрической стимуляции, сигнал принимается механическим зондом и отображается на осциллографе или SMU . Механическая зондовая станция часто используется при анализе отказов полупроводниковых приборов.
Существует два типа механических зондов: активные и пассивные. Пассивные зонды обычно состоят из тонкой вольфрамовой иглы. Активные зонды используют устройство FET на кончике зонда, чтобы значительно снизить нагрузку на цепь.
Полуавтоматические зондовые станции Microworld для полной характеризации пластин
Механические зондовые станции часто используются в академических исследованиях по электронике и материаловедению . Часто бывает быстрее и гибче протестировать новое электронное устройство или образец с помощью зондовой станции, чем соединять провода и упаковывать устройство перед тестированием.
Зондовые станции изначально были разработаны для управления тестированием полупроводниковых пластин на микронном уровне. Это по-прежнему огромная часть продолжающегося тестирования, но закон Мура со временем уменьшил размеры полупроводниковых устройств. Зондовые станции эволюционировали, чтобы лучше управлять как тестированием на уровне пластин, так и тестированием устройств. Примером этого является зондовая система VERSA от Micromanipulator. Такие системы, как VERSA, могут визуализировать и зондировать пластины всех размеров от 50 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм и даже 450 мм. Такие системы, как VERSA, также могут управлять тестированием отдельных чипов или кристаллов, а также больших плат приложений +24" с декапсулированными деталями.
