stringtranslate.com

Наноканальные стеклянные материалы

Наноканальные стеклянные материалы представляют собой сложные стеклянные структуры, содержащие большое количество параллельных полых каналов. Источник: Военно-морская исследовательская лаборатория – Управление передачи технологий.

Наноканальные стеклянные материалы представляют собой экспериментальную технологию маски , которая является альтернативным методом изготовления наноструктур , хотя оптическая литография является преобладающим методом нанесения рисунка. [1]

Наноканальные стеклянные материалы представляют собой сложные стеклянные структуры, содержащие большое количество параллельных полых каналов. В простейшей форме полые каналы расположены в виде геометрических массивов с плотностью упаковки до 10 11 каналов/см 2 . Размеры каналов можно контролировать от микрометров до десятков нанометров, сохраняя при этом превосходную однородность канала. Точные копии канального стекла могут быть изготовлены из самых разных материалов. Это недорогой метод создания идентичных структур с наноразмерными характеристиками в больших количествах. [2] [3]

Характеристики

Эти материалы имеют высокую плотность однородных каналов диаметром от 15 микрометров до 15 нанометров. Это жёсткие конструкции с эксплуатационной температурой не менее 300°С, потенциальной до 1000°С. Кроме того, это оптически прозрачные фотонные структуры с высокой степенью воспроизводимости.

Приложения

Их можно использовать в качестве материала для хроматографических колонок , однонаправленных проводников , микроканальных пластин и нелинейных оптических устройств . Другие области применения — маски для разработки полупроводников , включая ионную имплантацию, оптическую литографию и реактивное ионное травление . [2] [3] [4]

Смотрите также

Рекомендации

  1. ^ Гимжевски, Джеймс К.; Уэлланд, Мэн, ред. (май 1995 г.). Предельные пределы изготовления и измерения. Спрингер. стр. 13, 14, 15. doi :10.1007/978-94-011-0041-0. ISBN 978-0-7923-3504-7.* Материалы семинара НАТО по перспективным исследованиям, Кембридж, Великобритания, 1–3 апреля 1994 г. Серия: НАТО Science Series E: (закрыто), Vol. 292
  2. ^ ab Они также используются в стоматологических и медицинских рентгеновских датчиках, оптически связанных со сцинтиллятором или имеющих внутреннее покрытие для повышения эффективности. «Наноканальные стеклянные материалы». Военно-морская исследовательская лаборатория. Офис трансфера технологий, код 1004 . Проверено 4 июля 2011 г.
  3. ^ аб Тонуччи, Рональд Дж.; Хаблер, Грэм К. (2007). «Характеристика материалов и методы нанопроизводства - материалы наноканального стекла». В Сибилии — Кончита; Виерсма, Дидерик С. (ред.). Материалы конференции AIP . Том. 959. стр. 59–71. дои : 10.1063/1.2821605. ISBN 978-0-7354-0473-1.
  4. ^ Пирсон, Д.Х.; Тонуччи, Р.Дж. (1995). «Наноканальные реплики стекла». Наука . 270 (5233): 68–70. Бибкод : 1995Sci...270...68P. дои : 10.1126/science.270.5233.68. S2CID  220110394.

дальнейшее чтение