Подготовка данных маски

Шаг изготовления фотомаски

Подготовка данных маски ( MDP ), также известная как постобработка макета , представляет собой процедуру перевода файла, содержащего предполагаемый набор полигонов из макета интегральной схемы, в набор инструкций, которые автор фотомаски может использовать для создания физической маски. Обычно изменения и дополнения к макету микросхемы выполняются с целью преобразования физического макета в данные для изготовления маски. ^[1]

Для подготовки данных маски требуется входной файл в формате GDSII или OASIS , и создается файл в собственном формате, специфичном для средства записи маски.

Процедуры MDP

Процедуры и этапы подготовки данных маски

Хотя исторически преобразование физического макета в данные для изготовления масок было относительно простым, более поздние процедуры MDP требуют различных процедур: ^[1]

• Чип-доводка , включающая нестандартные обозначения и конструкции для улучшения технологичности макета. Примерами последних являются уплотнительное кольцо и наполнители.
• Изготовление макета прицельной сетки с тестовыми шаблонами и метками совмещения.
• Подготовка макета к маске , которая дополняет данные макета графическими операциями и настраивает данные для маскировки производственных устройств. Этот шаг включает в себя технологии повышения разрешения (RET), такие как оптическая коррекция близости (OPC) или технология обратной литографии (ILT).

На каждом из этих шагов также необходимо уделить особое внимание, чтобы смягчить негативные последствия, связанные с огромными объемами данных, которые они могут предоставить; слишком большой объем данных иногда может стать проблемой для создателя маски, который не сможет создать маску за разумный промежуток времени.

Маска разрушения

MDP обычно включает в себя разрушение маски, при котором сложные многоугольники преобразуются в более простые формы, часто прямоугольники и трапеции, которые могут обрабатываться аппаратным обеспечением для записи маски. Поскольку разрушение маски является довольно распространенной процедурой во всем MDP, термин «разрыв», используемый как существительное, иногда используется ненадлежащим образом вместо термина «подготовка данных маски». Однако термин «перелом» точно описывает эту часть процедуры MDP.

Последняя сетка

Когда необходимо изготовить чип, отдельный штамп обычно повторяется несколько раз в виде матрицы на окончательной сетке. Эта схема сетки включает в себя горизонтальные и вертикальные разметочные линии, которые позволяют позднее отделить отдельные штампы после изготовления чипа. Размер этой матрицы зависит от максимального размера сетки для фотолитографического инструмента wafer fab.

Рекомендации

1. Й. Лиениг, Й. Шейбл (2020). «Глава 3.3: Данные маски: постобработка макета». Основы топологии электронных схем. Спрингер. стр. 102–110. дои : 10.1007/978-3-030-39284-0. ISBN 978-3-030-39284-0. S2CID  215840278.

дальнейшее чтение

• Шеффер Л., Лаваньо Л., Мартин Г. (2006). Справочник по автоматизации электронного проектирования интегральных схем . ЦРК Пресс. ISBN 0-8493-3096-3.{{cite book}}: CS1 maint: несколько имен: список авторов ( ссылка )Исследование области, на основе которой частично было получено это резюме, с разрешения.
• Линиг Дж., Шайбле Дж. (2020). Основы топологии электронных схем. Спрингер. дои : 10.1007/978-3-030-39284-0. ISBN 978-3-030-39284-0. S2CID  215840278.{{cite book}}: CS1 maint: несколько имен: список авторов ( ссылка )Глава 3.3 подробно описывает генерацию данных маски.