Склеивание пластин — это технология упаковки на уровне пластины для изготовления микроэлектромеханических систем (МЭМС), наноэлектромеханических систем (НЭМС), микроэлектроники и оптоэлектроники , обеспечивающая механически стабильную и герметичную капсулу. Диаметр пластин варьируется от 100 до 200 мм (от 4 до 8 дюймов) для МЭМС/НЭМС и до 300 мм (12 дюймов) для производства микроэлектронных устройств. Пластины меньшего размера использовались на заре развития микроэлектронной промышленности: в 1950-х годах пластины имели диаметр всего 1 дюйм.
В микроэлектромеханических системах (MEMS) и наноэлектромеханических системах (NEMS) пакет защищает чувствительные внутренние структуры от воздействий окружающей среды, таких как температура, влажность, высокое давление и окислители. Долговременная стабильность и надежность функциональных элементов зависят от процесса инкапсуляции, как и общая стоимость устройства. [1] Пакет должен отвечать следующим требованиям: [2]
Наиболее распространенными и разработанными методами склеивания являются следующие:
Склеивание пластин требует особых условий окружающей среды, которые обычно можно определить следующим образом: [3]
Настоящая связь представляет собой взаимодействие всех этих условий и требований. Следовательно, применяемую технологию необходимо выбирать с учетом существующей подложки и определять технические характеристики, например макс. переносимая температура, механическое давление или желаемая газовая атмосфера.
Скрепленные пластины характеризуются с целью оценки выхода технологии, прочности соединения и уровня герметичности как для изготовленных устройств, так и для целей разработки процесса. Таким образом, появилось несколько различных подходов к характеристике облигаций . С одной стороны, неразрушающие оптические методы обнаружения трещин или межфазных пустот используются наряду с разрушительными методами оценки прочности соединения, такими как испытания на растяжение или сдвиг. С другой стороны, уникальные свойства тщательно выбранных газов или вибрационные характеристики микрорезонаторов, зависящие от давления, используются для испытаний на герметичность.