Физическая проверка — это процесс, при котором конструкция компоновки интегральной схемы (схема IC) проверяется с помощью программных инструментов EDA для обеспечения правильной электрической и логической функциональности и технологичности. Проверка включает проверку правил проектирования (DRC), сравнение компоновки со схемой (LVS), исключающее ИЛИ (исключающее ИЛИ), проверку антенны и проверку электрических правил (ERC). [1]
DRC проверяет, соответствует ли планировка всем технологическим ограничениям. DRC также проверяет плотность слоя при химико-механической полировке (ХМП). [1]
LVS проверяет функциональность конструкции. На основе схемы получается список соединений, который сравнивается с исходным списком соединений, полученным в результате логического синтеза или проектирования схем. [1]
Эта проверка обычно запускается после проверки металла, когда сравниваются исходная и измененная базы данных. Это делается для подтверждения того, что желаемые изменения были внесены и не было сделано никаких нежелательных изменений случайно. Этот шаг включает в себя сравнение двух баз данных макетов/GDS с помощью операции XOR геометрии макета. В результате этой проверки создается база данных, содержащая все несовпадающие геометрии в обоих макетах.
Антенна по существу представляет собой металлическое межсоединение, т.е. проводник типа поликремния или металла, который не соединен электрически с кремнием и не заземлен на этапах обработки пластины. [1] В процессе производства на антенне может происходить накопление заряда на определенных этапах изготовления, например, при плазменном травлении, при котором для травления используется высокоионизированное вещество. Если соединение с кремнием отсутствует, на межсоединении могут накапливаться заряды до такой степени, что происходит быстрый разряд, что приводит к необратимому физическому повреждению тонкого оксида затвора транзистора. Это быстрое и разрушительное явление известно как эффект антенны . Ошибки антенны можно устранить, добавив небольшой антенный диод для безопасного разряда узла или разделив антенну, проложив ее вверх к другому металлическому слою, а затем снова вниз. [1]
Коэффициент антенны определяется как отношение физической площади проводников, составляющих антенну, к общей площади оксида затвора, к которому антенна электрически подключена.
ERC проверяет правильность подключения питания и заземления, а также правильность ограничения времени перехода сигнала (нарастания), емкостных нагрузок и разветвлений . [1] Это может включать проверку
Ворота не должны подключаться напрямую к источникам питания; соединение должно осуществляться только через ячейки TIE high/low. Проверки ERC основаны на предположениях о нормальных условиях работы ASIC , поэтому они могут выдавать множество ложных предупреждений о ASIC с множественными или отрицательными источниками питания. Они также могут проверить конструкции, подверженные повреждению электростатическим разрядом (ESD).