Фрэнк Мэрион Уонласс (17 мая 1933 года, Тэтчер , Аризона — 9 сентября 2010 года, Санта-Клара , Калифорния ) — американский инженер-электрик. Он наиболее известен изобретением логики КМОП (комплементарной МОП ) совместно с Чи-Тан Са в 1963 году. С тех пор КМОП стала стандартным процессом изготовления полупроводниковых приборов для МОП-транзисторов (полевых транзисторов металл-оксид-полупроводник). [1]
Он получил докторскую степень в Университете Юты . В 1963 году Ванласс изобрел логические схемы КМОП (комплементарные МОП ) совместно с Чи-Тан Са в период работы в Fairchild Semiconductor . [2] В 1967 году Ванласс получил патент США № 3,356,858 на «Комплементарные полевые схемы с низким энергопотреблением в режиме ожидания». [3]
В 1963 году, изучая структуры MOSFET (металл-оксид-полупроводниковый полевой транзистор), он заметил движение заряда через оксид на затвор . Хотя он не стал этим заниматься, эта идея позже стала основой для технологии EPROM (стираемое программируемое постоянное запоминающее устройство ). [4]
В 1964 году Ванласс перешёл в General Microelectronics (GMe), где создал первые коммерческие МОП- интегральные схемы , а год спустя — в General Instrument Microelectronics Division в Нью-Йорке, [5] где разработал четырёхфазную логику . [6]
Его также запомнили за вклад в решение проблемы стабильности порогового напряжения в МОП-транзисторах за счет дрейфа ионов натрия.
В 1991 году Уонласс был удостоен премии IEEE Solid-State Circuits Award . [7]
В 2009 году, в 50-ю годовщину как MOSFET, так и интегральной схемы, Фрэнк Уонласс был включен в Национальный зал славы изобретателей за изобретение логики КМОП. Он был частью класса 2009 года, чествующего пионеров полупроводников , вместе с изобретателями полупроводниковых технологий, таких как MOSFET ( Мохамед Аталла и Давон Канг ), планарный процесс ( Жан Эрни ), EPROM ( Дов Фроман ) и молекулярно-лучевая эпитаксия ( Альфред И. Чо ). [8] [1]
Уонласс умер 9 сентября 2010 года.