Харви К. Натансон (22 октября 1936 г. — 22 ноября 2019 г.) — американский инженер-электрик , который совместно с инженером Робертом А. Викстромом изобрел первое устройство МЭМС (микроэлектромеханические системы), которое сейчас можно встретить в самых разных продуктах — от iPhone до автомобилей.
Устройства MEMS, которые производятся с использованием технологий изготовления интегральных схем , состоят из небольших движущихся механических элементов, размер которых обычно составляет от 1 до 100 микрометров (от 0,001 до 0,1 мм). Типичные устройства MEMS включают акселерометры , используемые в смартфонах и контроллерах видеоигр, а также гироскопы, используемые в автомобилях и носимых устройствах .
Натансон и Викстром спроектировали первое устройство MEMS в 1965 году, чтобы использовать его в качестве тюнера для микроэлектронных радиоприемников. [1] Оно было разработано также совместно с Уильямом Э. Ньюэллом в исследовательской лаборатории Westinghouse в Питтсбурге, штат Пенсильвания, и запатентовано как микроэлектрический частотно-селективный аппарат. [2]
Усовершенствованная версия устройства впоследствии была запатентована как транзистор с резонансным затвором. [3]
В своей работе по разработке подобных устройств Натансон, Викстром и их команда впервые применили метод серийного производства, при котором слои изоляторов и металла на кремниевых пластинах формируются и прорезаются с помощью масок и жертвенных слоев, процесс, который впоследствии стал основой производства МЭМС. [4]
В 1973 году он запатентовал использование миллионов микроскопически малых движущихся зеркал для создания видеодисплея того типа, который сейчас используется в цифровых проекторах. [5]
В 2000 году Натансон был награжден Медалью тысячелетия Институтом инженеров электротехники и электроники за «выдающийся вклад в общество и в область электронных приборов». [6]
Выпускник Университета Карнеги-Меллона , он имеет более 50 патентов в области твердотельной электроники. [7]