Детектор Эверхарта -Торнли ( ET-детектор или ET-детектор ) представляет собой детектор вторичных электронов и обратно-рассеянных электронов , используемый в сканирующих электронных микроскопах (SEM). Он назван в честь своих создателей Томаса Э. Эверхарта и Ричарда Ф.М. Торнли, которые в 1960 году опубликовали свою конструкцию, направленную на повышение эффективности существующих детекторов вторичных электронов путем добавления световода для передачи фотонного сигнала от сцинтиллятора внутрь вакуумированной камеры для образцов. СЭМ к фотоумножителю вне камеры.[1] До этого Эверхарт усовершенствовал конструкцию обнаружения вторичных электронов Владимиром Зворыкиным и Яном А. Райхманом , заменив электронный умножитель на фотоумножитель. Детектор Эверхарта-Торнли со световодом и высокоэффективным фотоумножителем является наиболее часто используемым детектором в СЭМ.
Детектор состоит в основном из сцинтиллятора внутри клетки Фарадея внутри камеры для образцов микроскопа. К клетке Фарадея прикладывается низкое положительное напряжение для привлечения вторичных электронов с относительно низкой энергией (по определению менее 50 эВ ). Другие электроны внутри камеры образца не притягиваются этим низким напряжением и достигнут детектора только в том случае, если направление их движения приведет их к нему. Сцинтиллятор имеет высокое положительное напряжение (обычно 10 000 В) для ускорения поступающих к нему электронов, где они могут быть преобразованы в световые фотоны. [2] Направление их движения фокусируется на световоде с помощью металлического покрытия на сцинтилляторе, действующем как зеркало. В световоде фотоны выходят за пределы вакуумной камеры микроскопа в трубку фотоумножителя для усиления.
Детектор вторичных электронов ЭТ можно использовать в режиме обратно рассеянных электронов СЭМ, либо отключив клетку Фарадея, либо подав отрицательное напряжение на клетку Фарадея. Однако лучшие изображения обратно-рассеянных электронов получаются с помощью специальных детекторов BSE, а не с использованием ET-детектора в качестве детектора BSE.