Биморфные кантилеверы, используемые в качестве микромеханического линейного привода: 1 - подложка 2 - пьезоэлектрический слой 3 - пассивный слой 4 - область механического контакта 5 - дорожка
Биморф — это консоль , используемая для приведения в действие или считывания, которая состоит из двух активных слоев. Он также может иметь пассивный слой между двумя активными слоями. В отличие от этого, пьезоэлектрический униморф имеет только один активный (т. е. пьезоэлектрический) слой и один пассивный (т. е. непьезоэлектрический) слой.
Пьезоэлектрический биморф
Термин «биморф» чаще всего используется в отношении пьезоэлектрических биморфов. В актуаторных приложениях один активный слой сжимается, а другой расширяется, если подается напряжение, таким образом, биморф изгибается. В сенсорных приложениях изгиб биморфа создает напряжение, которое может быть использовано, например, для измерения смещения или ускорения. Этот режим также может использоваться для сбора энергии . [1]
Биметаллический биморфный
Биметалл можно рассматривать как термически активированный биморф. Первая теория об изгибе термически активированных биморфов была дана Стоуни. [2] Более новые разработки также позволили использовать электростатически активированные биморфы в микроэлектромеханических системах . [3]
^ Аль-Аштари, В.; Ханстиг, М..; Хемсель, Т.; Секстро, В. (14 июля 2013 г.), Характеристики пьезоэлектрических накопителей энергии в автономных системах. Труды 10-го Международного семинара по пьезоэлектрическим материалам и их применению и 8-го семинара по сбору энергии (PDF) , получено 31 января 2016 г.[ постоянная мертвая ссылка ]
^ Стоуни, Г. Джеральд (6 мая 1909 г.). «Натяжение металлических пленок, осажденных электролизом». Труды Лондонского королевского общества . 82 (553): 172–175. Bibcode : 1909RSPSA..82..172S. doi : 10.1098/rspa.1909.0021 .
^ Конрад, Хольгер (11 декабря 2015 г.). «Электростатический микроактюатор с малым зазором для больших отклонений». Nature Communications . 6 : 10078. Bibcode : 2015NatCo...610078C. doi : 10.1038/ncomms10078. PMC 4682043. PMID 26655557 .
