stringtranslate.com

Буль (кристалл)

Буля монокристаллического кремния

Буля — это монокристаллический слиток, полученный синтетическим путем. [1]

Буля кремния является исходным материалом для большинства интегральных схем, используемых сегодня. В полупроводниковой промышленности синтетические були могут быть изготовлены рядом методов, таких как метод Бриджмена [2] и процесс Чохральского , которые приводят к цилиндрическому стержню материала.

В процессе Чохральского требуется затравочный кристалл для создания более крупного кристалла или слитка. Этот затравочный кристалл погружается в чистый расплавленный кремний и медленно извлекается. Расплавленный кремний растет на затравочном кристалле в кристаллической форме. По мере извлечения затравки кремний затвердевает, и в конечном итоге получается большая цилиндрическая буля. [3]

Буля полупроводникового кристалла обычно разрезается на круглые пластины с помощью алмазной пилы с внутренним отверстием или алмазной проволочной пилы , и каждая пластина шлифуется и полируется, чтобы обеспечить подложку, подходящую для изготовления полупроводниковых приборов на ее поверхности. [4]

Этот процесс также используется для создания сапфиров , которые используются в качестве подложек при производстве синих и белых светодиодов , оптических окон в специальных приложениях и в качестве защитных покрытий для часов . [5]

Ссылки

  1. ^ Кимото, Цуненобу; Купер, Джеймс А. (24 ноября 2014 г.). Основы технологии карбида кремния: рост, характеристика. John Wiley & Sons. ISBN 9781118313527. Получено 1 марта 2017 г. .
  2. ^ Дханарадж, Говиндхан; Бираппа, Куллайя; Прасад, Вишванатх; Дадли, Майкл (2010). Справочник Springer по выращиванию кристаллов. Спрингер. ISBN 9783540747611. Получено 25 февраля 2017 г. .
  3. ^ Rea, Samuel N. (1978). "Непрерывное развитие процесса Чохральского" . Получено 1 марта 2017 г.
  4. ^ BOSE (2013). Технология изготовления ИС. McGraw Hill Education (India) Pvt Ltd. стр. 53. ISBN 978-1-259-02958-5.
  5. ^ J.-P. Colinge (29 февраля 2004 г.). Технология «Кремний-на-изоляторе»: Материалы для СБИС: Материалы для СБИС. Springer Science & Business Media. стр. 12. ISBN 978-1-4020-7773-9.