Подготовка кристалла — это этап изготовления полупроводникового прибора , на котором подготавливается пластина для упаковки ИС и тестирования ИС. Процесс подготовки кристалла обычно состоит из двух этапов: монтаж пластины и нарезка пластины .
Монтаж пластины — это этап, который выполняется во время подготовки кристалла пластины в рамках процесса изготовления полупроводников . На этом этапе пластина монтируется на пластиковую ленту, прикрепленную к кольцу. Монтаж пластины выполняется непосредственно перед тем, как пластина разрезается на отдельные кристаллы . Клеевая пленка , на которой крепится пластина, обеспечивает надежное крепление отдельных кристаллов во время «нарезки», как называется процесс резки пластины.
На фотографии справа показана пластина диаметром 300 мм после ее монтажа и нарезки. Синий пластик — это клейкая лента. Пластина — это круглый диск посередине. В этом случае большое количество кристаллов уже было удалено.
В производстве микроэлектронных устройств высечка , нарезка или сингулярация — это процесс измельчения пластины , содержащей несколько идентичных интегральных схем, до отдельных кристаллов, каждый из которых содержит одну из этих схем.
В ходе этого процесса пластина с несколькими тысячами схем разрезается на прямоугольные части, каждая из которых называется кристаллом. Между этими функциональными частями схем предусмотрен тонкий нефункциональный зазор, где пила может безопасно разрезать пластину, не повреждая схемы. Этот зазор называется линией разметки или дорожкой пилы . Ширина разметки очень мала, обычно около 100 мкм . Поэтому для разрезания пластины на части требуется очень тонкая и точная пила. Обычно резка выполняется с помощью циркулярной пилы с водяным охлаждением и алмазными зубьями.
Наиболее распространенным составом используемого лезвия является металлическая или смоляная связка, содержащая абразивные зерна натурального или чаще синтетического алмаза или боразона в различных формах. В качестве альтернативы связка и зерно могут быть нанесены в качестве покрытия на металлическую форму. См. алмазные инструменты .