Миграция напряжения — это механизм отказа, который часто возникает в металлизации интегральных схем ( алюминий , медь ). Пустоты образуются в результате миграции вакансий, вызванной градиентом гидростатического напряжения. Большие пустоты могут привести к разрыву цепи или неприемлемому увеличению сопротивления, что ухудшает работу ИС. «Миграцию напряжения часто называют образованием пустот под действием напряжения , образованием пустот, вызванных напряжением , или SIV .
Высокотемпературная обработка медных двойных дамасских структур оставляет медь с большим растягивающим напряжением из-за несоответствия коэффициента теплового расширения вовлеченных материалов. Напряжение может ослабевать со временем за счет диффузии вакансий, что приводит к образованию пустот и в конечном итоге к разрывам цепи. [1]