Эвристика, используемая при моделировании прохождения ионов через твердые тела
В физике конденсированного состояния приближение бинарных столкновений ( BCA ) является эвристикой, используемой для более эффективного моделирования глубины проникновения и образования дефектов энергичными ионами (с кинетической энергией в диапазоне килоэлектронвольт ( кэВ ) или выше) в твердых телах . В этом методе ион аппроксимируется для прохождения через материал, испытывая последовательность независимых бинарных столкновений с атомами образца ( ядрами ). Между столкновениями предполагается, что ион движется по прямой траектории, испытывая электронную тормозную способность , но не теряя энергии в столкновениях с ядрами. [1] [2] [3]
Подходы к моделированию
В подходе BCA одно столкновение между входящим ионом и атомом-мишенью (ядром) рассматривается путем решения классического интеграла рассеяния между двумя сталкивающимися частицами для параметра удара входящего иона. Решение интеграла дает угол рассеяния иона, а также его потерю энергии атомами образца, и, следовательно, какова энергия после столкновения по сравнению с энергией до него. [1]
Интеграл рассеяния определяется в системе координат центра масс (две частицы сводятся к одной частице с одним межатомным потенциалом) и связывает угол рассеяния с межатомным потенциалом .
Также возможно решить временной интеграл столкновения, чтобы узнать, сколько времени прошло во время столкновения. Это необходимо, по крайней мере, когда BCA используется в режиме «полного каскада», см. ниже.
Потери энергии электронами, т.е. электронная тормозная способность , можно рассматривать либо с помощью моделей электронного торможения, зависящих от параметров удара, [4],
вычитая тормозную способность, зависящую от скорости ионов только между столкновениями, [5], либо комбинируя эти два подхода.
Метод выбора параметра удара разделил коды BCA на две основные разновидности: коды BCA «Монте-Карло» и коды BCA-кристалла.
В так называемом подходе Монте-Карло BCA расстояние до и ударный параметр следующего сталкивающегося атома выбираются случайным образом из распределения вероятностей, которое зависит только от атомной плотности материала. Этот подход по сути имитирует прохождение ионов в полностью аморфном материале. (Обратите внимание, что некоторые источники называют эту разновидность BCA просто Монте-Карло, что вводит в заблуждение, поскольку название затем можно спутать с другими совершенно другими разновидностями моделирования Монте-Карло ). SRIM и SDTrimSP являются кодами Монте-Карло BCA.
Также возможно (хотя и сложнее) реализовать методы BCA для кристаллических материалов, так что движущийся ион имеет определенное положение в кристалле, а расстояние и параметр удара до следующего сталкивающегося атома определяются так, чтобы соответствовать атому в кристалле. В этом подходе BCA может использоваться также для моделирования движения атома во время каналирования . Такие коды, как MARLOWE, работают с этим подходом.
Приближение бинарных столкновений может быть также расширено для моделирования динамических изменений состава материала из-за длительного ионного облучения, т. е. из-за ионной имплантации и распыления . [6]
При низких энергиях ионов приближение независимых столкновений между атомами начинает рушиться. Эту проблему можно в некоторой степени решить, решив интеграл столкновений для нескольких одновременных столкновений. [3] [7]
Однако при очень низких энергиях (ниже ~1 кэВ, для более точной оценки см. [8] ) приближение BCA всегда рушится, и следует использовать подходы моделирования ионного облучения молекулярной динамики,
поскольку они могут, по замыслу, обрабатывать столкновения многих тел произвольного числа атомов. Моделирование MD может либо отслеживать только входящий ион ( приближение взаимодействия отдачи или RIA [9] ), либо моделировать все атомы, участвующие в каскаде столкновений
. [10]
Моделирование каскадных столкновений BCA
Моделирование BCA может быть далее подразделено по типу в зависимости от того, отслеживают ли они только входящий ион или также отслеживают отдачи, производимые ионом ( полный каскадный режим , например, в популярном коде BCA SRIM ). Если код не учитывает вторичные столкновения (отдачи), то количество дефектов затем рассчитывается с использованием расширения Робинсона модели Кинчина-Пиза.
Если начальная масса отдачи/иона мала, а материал, в котором происходит каскад, имеет низкую плотность (т.е. комбинация отдачи-материала имеет низкую тормозную способность ), столкновения между начальным отдачей и атомами образца происходят редко и могут быть хорошо поняты как последовательность независимых бинарных столкновений между атомами. Этот вид каскада теоретически может быть хорошо обработан с помощью BCA.
Оценки ущерба
Моделирование BCA естественным образом дает глубину проникновения ионов, боковое распространение и распределение энергии ядерного и электронного осаждения в пространстве. Их также можно использовать для оценки повреждений, произведенных в материалах, используя предположение, что любая отдача, которая получает энергию выше пороговой энергии смещения материала, создаст стабильный дефект.
Однако этот подход следует использовать с большой осторожностью по нескольким причинам. Например, он не учитывает ни термически активированную рекомбинацию повреждений, ни общеизвестный факт, что в металлах производство повреждений при высоких энергиях составляет всего около 20% от предсказания Кинчина-Пиза. [11] Более того, этот подход только предсказывает производство повреждений, как если бы все дефекты были изолированными парами Френкеля , тогда как в действительности во многих случаях каскады столкновений производят кластеры дефектов или даже дислокации в качестве начального состояния повреждений. [12] [13]
Однако коды BCA можно расширить с помощью моделей кластеризации повреждений и рекомбинации, которые улучшают их надежность в этом отношении. [14] [15]
Наконец, средняя пороговая энергия смещения не очень точно известна в большинстве материалов.
BCA-коды
SRIM [16] предлагает графический пользовательский интерфейс и, вероятно, является наиболее используемым кодом BCA в настоящее время. Его можно использовать для моделирования каскадов линейных столкновений в аморфных материалах для всех ионов во всех материалах вплоть до энергии ионов 1 ГэВ . Однако следует отметить, что SRIM не обрабатывает такие эффекты, как каналирование , повреждение из-за электронного энерговыделения (необходимое, например, для описания быстрого повреждения тяжелыми ионами в материалах) или повреждение, вызванное возбужденными электронами. Рассчитанные выходы распыления могут быть менее точными, чем у других кодов. [17]
MARLOWE [2] [3] — это большой код, который может работать с кристаллическими материалами и поддерживать множество различных физических моделей.
TRIDYN [6] , более новые версии, известные как SDTrimSP, представляют собой код BCA, способный обрабатывать динамические изменения композиции.
DART, французский код, разработанный CEA (Commisariat à l'Energie Atomique) в Сакле. Отличается от SRIM своей электронной тормозной способностью и аналитическим разрешением интеграла рассеяния (количество дефектов определяется из упругих сечений и атомных концентраций атомов). Ядерная тормозная способность исходит из универсального межатомного потенциала (потенциал ZBL), тогда как электронная тормозная способность выводится из уравнения Бете для протонов и Линдхарда-Шарфа для ионов.
^ ab R. Smith (ред.), Атомные и ионные столкновения в твердых телах и на поверхностях: теория, моделирование и приложения, Cambridge University Press, Кембридж, Великобритания, 1997 ISBN 0-521-44022-X
^ ab Robinson, M (1992). "Computer simulation studies of high-energy collision cascades1". Ядерные приборы и методы в физических исследованиях, раздел B. 67 ( 1–4): 396–400. Bibcode : 1992NIMPB..67..396R. doi : 10.1016/0168-583X(92)95839-J.
^ abc Робинсон, Марк; Торренс, Ян (1974). «Компьютерное моделирование каскадов атомных смещений в твердых телах в приближении бинарных столкновений». Physical Review B. 9 ( 12): 5008. Bibcode :1974PhRvB...9.5008R. doi :10.1103/PhysRevB.9.5008.
^ Л. М. Кишиневский, Сечения неупругих атомных столкновений, Известия АН СССР, Физическая серия 26, 1433 (1962)
^ Дж. Ф. Циглер, Дж. П. Бирсак и У. Литтмарк, Остановка и пробег ионов в веществе, 1985 ISBN 0-08-022053-3 и приведенные там ссылки.
^ ab Moller, W; Eckstein, W (1984). "Tridyn — код моделирования TRIM, включающий динамические изменения состава". Ядерные приборы и методы в физических исследованиях, раздел B. 2 ( 1–3): 814–818. Bibcode :1984NIMPB...2..814M. doi :10.1016/0168-583X(84)90321-5.
^ Gartner, K (1995). "Round Robin computer simulation of ion transmission through crystal layers". Ядерные приборы и методы в физических исследованиях, раздел B. 102 ( 1–4): 183–197. Bibcode : 1995NIMPB.102..183G. doi : 10.1016/0168-583X(95)80139-D.
^ Хоблер, Г. (2001). «О полезной области применения моделирования молекулярной динамики в приближении взаимодействия отдачи». Ядерные приборы и методы в исследованиях физики, раздел B. 180 ( 1–4): 203–208. Bibcode : 2001NIMPB.180..203H. doi : 10.1016/S0168-583X(01)00418-9.
^ Нордлунд, К (1995). «Моделирование молекулярной динамики пробегов ионов в диапазоне энергий 1–100 кэВ». Computational Materials Science . 3 (4): 448–456. doi :10.1016/0927-0256(94)00085-Q.
^ Де Ла Рубиа, Т.; Авербак, Р.; Бенедек, Р.; Кинг, В. (1987). «Роль тепловых пиков в каскадах энергетических смещений». Physical Review Letters . 59 (17): 1930–1933. Bibcode :1987PhRvL..59.1930D. doi :10.1103/PhysRevLett.59.1930. PMID 10035371.
^ RS Averback и T. Diaz de la Rubia, Displacement damage in radiationd metals and semiconductors, in Solid State Physics , ed. H. Ehrenfest and F. Spaepen, volume 51, pp. 281–402, Academic Press, New York, 1998. ISBN 0-12-607751-7
^ Nordlund, K.; Ghaly, M.; Averback, R.; Caturla, M.; Diaz De La Rubia, T.; Tarus, J. (1998). "Производство дефектов в каскадах столкновений в элементарных полупроводниках и ГЦК-металлах" (PDF) . Physical Review B . 57 (13): 7556. Bibcode :1998PhRvB..57.7556N. doi :10.1103/PhysRevB.57.7556. Архивировано из оригинала (PDF) 2011-07-16.
^ Нордлунд, К.; Гао, Ф. (1999). «Формирование тетраэдров дефектов упаковки в каскадах столкновений». Applied Physics Letters . 74 (18): 2720. Bibcode : 1999ApPhL..74.2720N. doi : 10.1063/1.123948.
^ Heinisch, HL (1990). «Компьютерное моделирование каскадов смещений высокой энергии». Радиационные эффекты и дефекты в твердых телах . 113 (1–3): 53–73. doi :10.1080/10420159008213055.
^ Пугачева, Т; Джурабекова, Ф; Хвалиев, С (1998). «Эффекты каскадного смешивания, распыления и диффузии при облучении нитрида бора легкими ионами высокой дозы». Ядерные приборы и методы в физических исследованиях, раздел B. 141 ( 1–4): 99–104. Bibcode : 1998NIMPB.141...99P. doi : 10.1016/S0168-583X(98)00139-6.
^ Веб-сайт SRIM
^ Хофсэсс, Х.; Чжан, К.; Муцке, А. (2014). «Моделирование ионно-лучевого распыления с помощью SDTrimSP, TRIDYN и SRIM». Applied Surface Science . 314 : 134–141. Bibcode :2014ApSS..310..134H. doi :10.1016/j.apsusc.2014.03.152. hdl : 11858/00-001M-0000-0023-C776-9 .
Внешние ссылки
Медиа, связанные с Двоичное столкновение аппроксимация на Wikimedia Commons