Процесс производства полупроводников
Процесс 1 мкм (процесс 1 микрометра ) — это уровень технологии полупроводникового процесса MOSFET , который был коммерциализирован примерно в 1984–1986 годах [1] [2] такими компаниями, как NTT , NEC , Intel и IBM . Это был первый процесс, в котором КМОП был распространен (в отличие от NMOS ).
Процесс 1 мкм относится к минимальному размеру, который можно было надежно производить. Самые маленькие транзисторы и другие элементы схемы на чипе, изготовленные с помощью этого процесса, имели ширину около 1 микрометра.
Самый первый МОП-транзистор с длиной канала NMOS 1 мкм был изготовлен исследовательской группой под руководством Роберта Х. Деннарда , Хва-Ньена Ю и Ф. Х. Генсслена в исследовательском центре IBM TJ Watson в 1974 году. [3]
Изделия с технологией производства 1,0 мкм
- NTT представила 1 мкм процесс для своих чипов памяти DRAM , включая 64k в 1979 году и 256k в 1980 году. [4]
- Чип памяти DRAM емкостью 1 Мбит от NEC был изготовлен с использованием 1 мкм процесса в 1984 году. [5]
- Процессор Intel 80386, выпущенный в 1985 году, был изготовлен с использованием этого процесса. [1]
- Intel использует этот процесс в технологии CHMOS III-E . [6]
- Intel использует этот процесс в технологии CHMOS IV. [7]
Ссылки
- ^ ab Mueller, S (21 июля 2006 г.). «Микропроцессоры с 1971 года по настоящее время». informIT. Архивировано из оригинала 19 апреля 2015 г. Получено 11 мая 2012 г.
- ↑ Myslewski, R (15 ноября 2011 г.). «С 40-летием, Intel 4004!». TheRegister. Архивировано из оригинала 19 апреля 2015 г. Получено 19 апреля 2015 г.
- ^ Деннард, Роберт Х .; Ю, Хва-Ниен; Генслен, Ф.Х.; Райдаут, ВЛ; Басус, Э.; Леблан, Арканзас (октябрь 1974 г.). «Проектирование ионно-имплантированных МОП-транзисторов с очень малыми физическими размерами» (PDF) . Журнал IEEE твердотельных схем . 9 (5): 256–268. Бибкод : 1974IJSSC...9..256D. дои : 10.1109/JSSC.1974.1050511. S2CID 283984.
- ^ Gealow, Jeffrey Carl (10 августа 1990 г.). «Влияние технологии обработки на конструкцию усилителя считывания DRAM» (PDF) . Массачусетский технологический институт . стр. 149–166 . Получено 25 июня 2019 г. – через CORE .
- ^ "Память". STOL (Semiconductor Technology Online) . Получено 25 июня 2019 г.
- ^ Корпорация Intel, «Новый продукт: компоненты: двух- и четырехмегабитные EPROM-памяти — высокоплотные исполнители», Microcomputer Solutions, сентябрь/октябрь 1989 г., стр. 14
- ^ Корпорация Intel, «Новый фокус продукта: компоненты: новый ASSP подходит для мобильных приложений», Microcomputer Solutions, сентябрь/октябрь 1990 г., стр. 11
Внешние ссылки
- Краткая хронология развития микропроцессоров
