Силицид — это тип химического соединения , которое сочетает в себе кремний и обычно более электроположительный элемент.
Кремний более электроположителен , чем углерод . По своим физическим свойствам силициды структурно ближе к боридам , чем к карбидам . Однако из-за различий в размерах силициды не изоструктурны боридам и карбидам. [1]
Связи в силицидах варьируются от проводящих металлоподобных структур до ковалентных или ионных . Описаны силициды всех непереходных металлов, кроме бериллия . Силициды используются в межсоединениях . [2]
Атомы кремния в силицидах могут иметь множество возможных организаций:
Большинство силицидов получают путем прямого соединения элементов. [1]
Силицид, полученный методом самовыравнивания, называется салицидом . Это процесс, при котором силицидные контакты образуются только на тех участках, где наплавленный металл (который после отжига становится металлической составляющей силицида) находится в непосредственном контакте с кремнием, следовательно, процесс является самовыравнивающимся. Обычно он реализуется в процессах МОП/ КМОП для омических контактов истока, стока и затвора из поли-кремния.
Силициды групп 1 и 2, например Na 2 Si и Ca 2 Si, реагируют с водой, образуя водород и/или силаны.
Силицид магния реагирует с соляной кислотой с образованием силана :
Силициды группы 1 еще более реакционноспособны. Например, силицид натрия Na 2 Si быстро реагирует с водой с образованием силиката натрия Na 2 SiO 3 и газообразного водорода . Силицид рубидия пирофорен , воспламеняется при контакте с воздухом. [3]
Силициды переходных металлов обычно инертны по отношению к водным растворам. При красном калении они реагируют с гидроксидом калия , фтором и хлором . Ртуть , таллий , висмут и свинец не смешиваются с жидким кремнием.
Тонкие силицидные пленки находят применение в микроэлектронике из-за большого содержания кремния, высокой электропроводности , высокой температурной стабильности и коррозионной стойкости. [4]