В документах содержалась оговорка: «ITRS разработан и предназначен только для оценки технологий и не принимает во внимание какие-либо коммерческие соображения, касающиеся отдельных продуктов или оборудования».
Документы представляют собой наиболее объективное мнение о направлениях исследований и временных рамках на перспективу примерно до 15 лет для следующих областей технологий:
Системные драйверы/дизайн
Тестовое и испытательное оборудование
Процессы на переднем крае
Интеграция процессов, устройств и структур
Радиочастотные и аналоговые/смешанные сигнальные технологии
Создание интегральной схемы или любого полупроводникового устройства требует ряда операций — фотолитографии, травления, осаждения металла и т. д. По мере развития отрасли каждая из этих операций обычно выполнялась специализированными машинами, созданными различными коммерческими компаниями. Эта специализация может потенциально затруднить развитие отрасли, поскольку во многих случаях для одной компании невыгодно представлять новый продукт, если другие необходимые шаги недоступны примерно в то же время. Технологическая дорожная карта может помочь в этом, дав представление о том, когда потребуется определенная возможность. Затем каждый поставщик может нацелить эту дату на свою часть головоломки. [2] [3] [4]
С прогрессивной экстернализацией производственных инструментов поставщикам специализированного оборудования участники определили необходимость четкой дорожной карты для прогнозирования развития рынка и планирования и контроля технологических потребностей производства ИС. В течение нескольких лет Ассоциация полупроводниковой промышленности (SIA) передала эту ответственность за координацию Соединенным Штатам, что привело к созданию дорожной карты в американском стиле, Национальной технологической дорожной карты для полупроводников (NTRS). [5]
В 1998 году SIA сблизилась со своими европейскими, японскими, корейскими и тайваньскими коллегами, создав первую глобальную дорожную карту: Международную технологическую дорожную карту для полупроводников (ITRS). Эта международная группа насчитывает (по состоянию на издание 2003 года) 936 компаний, которые были связаны с рабочими группами в рамках ITRS. [6]
Организация была разделена на Технические рабочие группы (TWG), число которых в конечном итоге выросло до 17, каждая из которых сосредоточилась на ключевом элементе технологии и связанной с ней цепочки поставок. Традиционно дорожная карта ITRS обновлялась в четные годы и полностью пересматривалась в нечетные годы. [7]
Последняя редакция дорожной карты ITRS была опубликована в 2013 году. Методология и физика, лежащие в основе результатов масштабирования для таблиц 2013 года, описаны в прогнозе дорожной карты транзисторов с использованием предиктивного полнодиапазонного атомистического моделирования, которое охватывает двухзатворные МОП-транзисторы на протяжении 15 лет до 2028 года.
В апреле 2014 года комитет ITRS объявил, что он реорганизует дорожную карту ITRS, чтобы лучше соответствовать потребностям отрасли. План состоял в том, чтобы взять все элементы, включенные в 17 технических рабочих групп, и сопоставить их с семью фокусными темами: [7]
Это тема, посвященная дизайну, в которой рассматриваются архитектуры и способы интеграции разнородных блоков.
Внешняя системная связь
Основное внимание уделяется беспроводным технологиям , принципам их работы и выбору наилучшего решения.
Гетерогенная интеграция
Основное внимание будет уделяться интеграции отдельно изготовленных технологий в новый блок, чтобы они функционировали лучше, чем отдельные детали по отдельности, при этом позволяя использовать такие компоненты, как камеры и микрофоны.
Разнородные компоненты
Основное внимание уделяется различным устройствам, образующим гетерогенные системы, таким как МЭМС , генераторы электроэнергии и сенсорные устройства.
Основное внимание уделяется устройствам, обеспечивающим электронику, но не основанным на КМОП-технологии , таким как спинтроника , мемристоры и другие.
Больше Мура
Поскольку предстоит еще много работы, эта группа займется дальнейшим сокращением КМОП.
Интеграция завода
Основное внимание будет уделено новым инструментам и процессам, позволяющим обеспечить гетерогенную интеграцию всех этих вещей.
Главы по каждой теме были опубликованы в 2015 году. [9] [10]
Ссылки
^ Жирнов, Виктор (2022). «Исследовательские снимки 40-го года существования Semiconductor Research Corporation». MRS Advances . 7 (29): 629. Bibcode : 2022MRSAd...7..629Z. doi : 10.1557/s43580-022-00357-5.
^ Гарджини, П. (2000). «Международная технологическая дорожная карта для полупроводников (ITRS): прошлое, настоящее и будущее». 22-й ежегодный симпозиум по интегральным схемам на основе арсенида галлия (GaAs IC) . IEEE. стр. 3–5. doi :10.1109/GAAS.2000.906261.
^ Шаллер, Р. Р. (2004). Технологические инновации в полупроводниковой промышленности: исследование международной технологической дорожной карты для полупроводников (ITRS) (PDF) (Ph.D.). Университет Джорджа Мейсона.
^ Шаллер, Р. (2001). «Технологические инновации в полупроводниковой промышленности: исследование Международной технологической дорожной карты для полупроводников (ITRS)». Управление инженерией и технологиями, 2001. PICMET'01. Портлендская международная конференция по . Том 1. IEEE. стр. 195. doi :10.1109/PICMET.2001.951917.Статья, обобщающая тезисы одноименной диссертации.
^ Спенсер, В. Дж.; Зайдель, Т. Э. (1995). «Национальные технологические дорожные карты: опыт США в области полупроводников». Технология твердотельных схем и интегральных схем, 1995 г., 4-я международная конференция по . IEEE. стр. 211–220. doi :10.1109/ICSICT.1995.500069.
^ ab von Trapp, Francoise. "Executive Interview: Bill Bottoms Talks about Revamping the ITRS Roadmap". 3D InCites . 3D InCites . Получено 14 апреля 2015 г. .
^ Объявление о запуске IRDS 4 МАЯ 2016
^ Отчеты ITRS 2.0
^ Главы ITRS 2.0
Дальнейшее чтение
Беннетт, Герберт С. (январь–февраль 2007 г.). «Будут ли удовлетворены будущие потребности полупроводниковой промышленности в измерениях?» (PDF) . Журнал исследований Национального института стандартов и технологий . 112 (1): 25–38. doi :10.6028/jres.112.002. PMC 4654602 . PMID 27110452. Архивировано из оригинала (PDF) 2011-10-17.
Esmaeilzadeh, H.; Blem, E.; Amant, RS; Sankaralingam, K.; Burger, D. (2011). «Темный кремний и конец многоядерного масштабирования» (PDF) . 2011 38-й ежегодный международный симпозиум по компьютерной архитектуре (ISCA) . стр. 365–376. CiteSeerX 10.1.1.210.8363 . ISBN 9781450304726.