Электродная решетка — это конфигурация электродов, используемых для измерения электрического тока или напряжения . Некоторые электродные решетки могут работать в двунаправленном режиме, то есть их можно также использовать для создания стимулирующего рисунка электрического тока или напряжения .
Обычные массивы включают в себя:
Измерение сопротивления сыпучих материалов является частым применением электродных решеток. На рисунке показана решетка Веннера, один из возможных способов достижения этого. [1] Введение тока через электроды, отдельные от тех, которые используются для измерения потенциала, имеет преимущество в устранении любых неточностей, вызванных сопротивлением инжектирующей цепи, в частности контактным сопротивлением между зондом и поверхностью, которое может быть высоким. Предполагая, что материал однороден, удельное сопротивление в решетке Веннера определяется по формуле:
где - расстояние между зондами.
Электродные решетки широко используются для измерения удельного сопротивления в геофизических приложениях. [1] Они также используются в полупроводниковой промышленности для измерения объемного удельного сопротивления кремниевых пластин, которое, в свою очередь, может быть принято в качестве меры легирования , нанесенного на пластину, перед выполнением дальнейших производственных процессов. [2]
