Форвакуумный насос — это любой вакуумный насос (обычно механический), используемый для первоначальной откачки вакуумной системы в качестве первого этапа на пути к достижению высокого или сверхвысокого вакуума . Термин «форвакуумный насос» происходит от диапазона вакуума, в котором он работает, «грубый вакуум», выше 1x10−3 торр ( 0,1 Па ). Насосы, работающие в диапазонах высокого вакуума, обычно не работают или работают неэффективно при атмосферном давлении , тогда как насосы, работающие эффективно при атмосферном давлении, обычно не могут создавать вакуум ниже примерно 1x10−3 торр .
Одним из соображений при выборе форвакуумного насоса является то, использует ли насос смазочное масло , которое подвергается воздействию вакуума. Эта проблема «обратного потока углеводородов», когда насосное масло в виде газа попадает в вакуумную камеру, привела к появлению на рынке конструкций насосов без масла.
Два основных типа форвакуумных насосов — это масляные форвакуумные насосы и сухие форвакуумные насосы. В пределах этих двух категорий существуют различные типы конструкций, различия между которыми основаны на проблемах обслуживания, первоначальных затратах, сроке службы насоса и уровне вакуума. На ранних этапах производства сухие насосы были значительно дороже масляных насосов, однако со временем разрыв в стоимости сократился.
Преимущества и недостатки каждого из них следующие: