Edwards Ltd — британский многонациональный производитель вакуумных насосов и систем управления выхлопными газами. Его штаб-квартира находится в Берджесс-Хилл , Великобритания, и с 2014 года он входит в состав Atlas Copco Group. [12] [13] [1] Edwards владеет 1700 патентами , в том числе на сухие (безмасляные) вакуумные насосы , и производит оборудование, используемое для производства полупроводников , научных исследований, сублимационной сушки и других отраслей промышленности. Его насосы удаляют загрязняющие вещества на Большом адронном коллайдере ЦЕРНа . [14] [15] [1] [16] Производство в основном осуществляется дочерними предприятиями в Чешской Республике , Южной Корее, США и Китае. Глобальные научно-исследовательские и опытно-конструкторские мощности Edwards остаются в Великобритании. [4]
Основными клиентами в 2012 году были Samsung , Hynix , Agilent и LG . [4]
.jpg/1280px-Edwards_E2M2_2-Stage_Rotary_Vane_Vacuum_Pump_(15957733526).jpg)
В 1919 году физик и преподаватель университета Фредерик Дэвид Эдвардс и его отец Уильям основали свой одноименный бизнес в Кэмбервелле, Лондон , как Edwards Equipment and Services. Они продавали вакуумные насосы в исследовательские лаборатории Великобритании, Франции, Германии и США. [17] [3] [2]
Когда началась Вторая мировая война , немецкие патенты были аннулированы в Великобритании, что означало, что Edwards был отрезан от своих поставщиков. Это привело к тому, что компания начала производить собственную продукцию в 1939 году. Фирма была переименована в W Edwards and Co в 1940 году, затем в Edwards High Vacuum International Ltd в 1950 году и переехала из Лондона в Кроули в 1953 году. [2] [18] [3] [19]
В 1954 году Эдвардс приобрел итальянского производителя оборудования для сублимационной сушки Alto Vuoto SpA, а в 1958 году — фабрику Shoreham бывшего субподрядчика JH Holmes and Son Ltd. [18] [20] В 1960-х годах фирма была зарегистрирована как публичная компания и пострадала от забастовок . Ее основатель Ф. Д. Эдвардс умер, и из-за финансовых трудностей компания была продана BOC . [17]
За покупкой Edwards компанией BOC Group в 1968 году последовала международная экспансия, особенно в Азию, и инвестиции в объекты в Кроули , Истборне , Шорехэме и Берджесс-Хилле . [21] [2] [22] [23]
В 1984 году Edwards разработал и запатентовал первый практический высоковакуумный сухой (безмасляный) насос. Конструкция была принята на быстрорастущий рынок производства полупроводников . [17] В 1992 году Edwards приобрела системы управления выхлопными газами производства полупроводников Electrotech Ltd. Она базировалась в Нейлси, прежде чем переехать в Клеведон, Великобритания , чтобы добавить к технологии Эдвардса по снижению воздействия на окружающую среду производства полупроводников. [20] Четыре года спустя, в 1996 году, были открыты новые объекты в Берджесс-Хилле. В 1997 году BOC объединила свой бизнес по производству газов для электроники с Edwards в BOC Edwards. [18] [20]
В том же году компания приобрела Systems Chemistry Inc, поставщика систем управления для сверхчистых химикатов, используемых в производстве полупроводников, у Submicron Systems Corp из Аллентауна (США). Это стало химическим подразделением управления Edwards. Аллентаун, США . Это стало химическим подразделением управления Edwards. [24] [20] [25]
В 1999 году Edwards приобрела подразделение FSI International Inc, базирующееся в Миннеаполисе , за 38 миллионов долларов США. [24] За этим последовала покупка вакуумных эжекторных и деаэраторных установок Hick Hargreaves ; Wilhelm Klein GmbH; поршневых насосов Stokes и Hibon Inc за 12,8 миллионов фунтов стерлингов у Smiths Group . [26] В 2002 году они приобрели бизнес по производству турбомолекулярных насосов Seiko Industry за 70 миллионов фунтов стерлингов. [27]
Затем Эдвардс продал компании The Hibon, Hicks Hargreaves и Wilhelm Klein, занимающиеся производством компрессоров низкого давления, которые были проданы компании Ingersoll Rand в 2006 году. [28]
Linde AG приобрела BOC в 2006 году за 12,4 млрд евро, продав Edwards CCMP Capital и его азиатскому фонду в 2007 году за 901 млн долларов США. Edwards была переименована в Edwards Group Ltd, а затем в Edwards Group plc. Новая холдинговая компания с Каймановыми островами Edwards Group Ltd была зарегистрирована на NASDAQ в 2012 году через ADS под тикером EVAC с IPO на сумму 100 млн долларов США. Она была исключена из листинга в 2014 году, когда Atlas Copco приобрела операционную дочернюю компанию Edwards Ltd за 1 млрд фунтов стерлингов. [12] [2] [15] [14] [29] [30] [23] [4]
Производственные площадки были открыты в 2011 году в Чешской Республике для промышленных, фармацевтических, химических и научных рынков, а производственные площадки для рынка полупроводников были открыты в Южной Корее. Большая часть производственных мощностей Edwards в Великобритании была перемещена, а системы очистки остались в Клеведоне, что завершило планы, предложенные в рамках BOC в 2005 году. [4] [31]
В 2012 году Edwards получила свою седьмую Королевскую премию , а в 2013 году приобрела американскую компанию Gamma Vacuum, сохранив бренд до сих пор. [32] Gamma Vacuum специализируется на ионных и титановых сублимационных насосах, имея клиентов в основном в научной отрасли. [7]
Atlas Copco Group , шведская многонациональная промышленная компания, приобретает Edwards Vacuum. [12]
Edwards приобрела крионасосные подразделения Brooks Automation CTI-Cryogenics и Polycold, базирующиеся в Челмсфорде и Монтеррее, за 675 миллионов долларов США в 2018 году . [6] [33] В 2019 году Edwards отметила свой 100-летний юбилей. [34] В том же году открылся новый Североамериканский центр полупроводниковых технологий в Хиллсборо. [35] Edwards присоединилась к MIT.nano в качестве члена-основателя после его завершения в 2018 году. MIT.nano — это лаборатория площадью 214 000 квадратных футов, посвященная характеристике и изготовлению наноматериалов, структур, устройств и процессов. [36] В 2020 году компания открыла новый Центр сервисных технологий в Дублине . [37]
В 2022 году Edwards инвестировал в новый завод по производству продукции для полупроводниковой промышленности в Аризоне, США . [38] [39]
В том же году Edwards приобрела Ceres Technologies, Inc.. Ceres — американский производитель и разработчик оборудования для подачи газа и пара для полупроводниковой промышленности. [40] Она также приобрела HHV Pumps Pvt Ltd, разработчика и производителя вакуумных насосов, расположенного в Бангалоре, Индия , за 10,9 млн фунтов стерлингов. Atlas Copco также согласилась приобрести активы китайского производителя жидкостно-кольцевых вакуумных насосов Shandong Jinggong Pump Co Ltd, чтобы присоединиться к бизнесу вакуумных насосов Edwards. [41]
Вакуумная технология всегда была важной утилитой в производстве электроники. Первые технологии телевидения и радио появились в 1920-х и 1930-х годах, и Edwards Vacuum поставляла вакуумные насосы для производства ламповых усилителей, которые обеспечивали передачу и прием. [42] В первые годы своего существования Edwards Vacuum импортировала вакуумное оборудование из немецкой компании Leybold . [2] [3] Метод сублимационной сушки с использованием вакуумных камер был запатентован в 1930-х годах. Во время Второй мировой войны технология была усовершенствована и расширена до сублимационной сушки растворимого кофе, а также плазмы крови и пенициллина. Сам пенициллин также производился с использованием вакуумной технологии. [ необходима цитата ]
Вторая мировая война ознаменовала ускорение технологического развития вакуумной технологии. Производители вакуумных насосов обновили свою продукцию, и появились новые области применения вакуума. Это включало, но не ограничивалось, разработкой радиолокационных передатчиков и приемников, используемых в операциях, стеклянных покрытий биноклей и ветровых стекол , инфракрасных систем , используемых для ночных полетов и операций, фольгированного покрытия , которое сбивало с толку радиолокационные системы, и внедрение сублимационной сушки для удаления влаги, применяемой в различных фармацевтических процессах.
После войны некоторые из изобретений нашли новое применение. Первый транзисторный радиоприемник был выпущен в 1954 году, и его производственный процесс использовал вакуумные насосы . [43]
Первая интегральная схема или «чип» появилась на рынке в конце 1950-х годов, и вакуумные насосы снова сыграли важную роль в их производстве. Эти ранние изобретения стали первыми шагами Эдвардса в электронику и полупроводниковую промышленность, которая и по сей день является крупнейшим рынком компании. Чипы становились все меньше на протяжении десятилетий, что увеличивало важность чистоты вакуума. [43]
Научные и медицинские рынки всегда были важны для Эдвардса. Внедрение рентгеновской технологии потребовало использования вакуума. Вакуумная технология также сыграла важную роль в развитии нейровизуализации (сканеров мозга), таких как МРТ , КТ и ПЭТ-сканеры .
Первые домашние компьютеры появились на рынке в 1970-х годах, и с тех пор развитие компьютерных технологий не остановить. Массовое производство ЭЛТ-дисплеев и интегральных схем потребовало от электронных компаний расширения масштабов, при этом вакуумные установки становились больше, а спрос на чистоту вакуума увеличивался.
В 1970-х годах Edwards Vacuum также сотрудничала с Seiko Seiki для изобретения магнитно-подвешенных турбонасосов. Эти молекулярные турбонасосы используют магнитно-левитирующие подшипники, которые исключают риск загрязнения вакуума, требуют меньшего обслуживания и характеризуются более низким уровнем шума и вибрации. Этот тип технологии особенно подходит для научных приложений и жестких процессов в производстве полупроводников. [44]
Недавно появившиеся сухие насосы и турбомолекулярные насосы поддерживали инновации на рынках научных приборов в течение следующих нескольких десятилетий. Рынок научных приборов в настоящее время является вторым по величине рынком для Edwards Vacuum после полупроводниковой и электронной промышленности.
Компакт -диск был изобретен в 1980-х годах, изначально для хранения и воспроизведения цифровых аудиозаписей, но несколько лет спустя и как общее хранилище данных. Вакуум используется для металлизации поверхностей компакт-дисков.
В 1984 году Генри Уайклифф из Edwards изобрел сухой насос Drystar с кулачковыми зубьями, запатентованный Edwards. Drystar был насосом с положительным вытеснением, которому не требовалось масло для смазки. В частности, полупроводниковая промышленность быстро отказалась от насосов с масляным уплотнением в пользу новых сухих насосов. В жестких полупроводниковых процессах насосы с масляным уплотнением требовали частого обслуживания и замены масла: эта новая технология сухих насосов позволила реализовать более сложные производственные процессы в полупроводниковой промышленности. [17]
Рамочная конвенция ООН об изменении климата вступила в силу в 1994 году, обусловив необходимость экологических решений в электронной промышленности. Двумя годами ранее, в 1992 году, Edwards Vacuum приобрела небольшую стартап-компанию, специализирующуюся на сокращении выбросов отходящих газов в процессе производства полупроводников, что позволило сделать процесс производства полупроводников более экологически чистым.
Технология плоских дисплеев началась в 2000-х годах, заменив дисплеи с электронно-лучевой трубкой предыдущего столетия. В последующие годы технологии развивались, и дисплеи становились все тоньше, выше разрешение и больше. В результате требуемые композитные структуры становились все более сложными, а методы производства — более требовательными. Edwards Vacuum участвует в производстве плоских дисплеев со своими турбомолекулярными насосами, которые обеспечивают высокий уровень вакуума, необходимый для процесса производства и покрытия этих дисплеев. Установки по очистке удаляют глобальное потепление, токсичные, пирофорные и едкие газы безопасным, нормативным способом. [ необходима цитата ]
Вакуумное покрытие используется в других отраслях, включая фотоэлектрические солнечные элементы. Они производятся с помощью таких процессов, как кристаллический кремний , CdTe, CIGS или технология тонких пленок кремния, все из которых требуют вакуума. Литий-ионные аккумуляторы — это быстрорастущий рынок, который также требует большого количества вакуума на различных этапах своего производства.
Крионасосы и криоохладители Edwards CTI-Cryogenics и Edwards Polycold играют свою роль в криогенных областях: аппараты МРТ, использующие жидкий гелий и требующие криогенного охлаждения, хранение больших объемов продуктов питания, замораживание образцов крови и тканей, а также полупроводники, поскольку их технологии и конструкции становятся все более сложными.
Серия лекций Эдвардса является самой продолжительной серией лекций в Сити, Лондонский университет , которая достигла своего 44-го выпуска в 2023 году. Лекция посвящена работе физика и основателя Edwards Vacuum Ф. Д. Эдвардса, сотрудника предшественника Сити, Лондонского университета, Нортгемптонского института, и бывшего мастера Worshipful Company of Scientific Instrument Makers. [45]
Лекция имеет выдающуюся историю, и на протяжении многих лет ее читали пять лауреатов Нобелевской премии (профессор Денис Габор, профессор сэр Гарри Крото , профессор сэр Питер Мэнсфилд, профессор сэр Пол Нерс и профессор Карло Руббиа ), а также несколько членов Королевского общества и членов Королевской инженерной академии.
В 2005 году Nominet определил, что доменное имя bocedwards.co.uk было незаконно зарегистрировано компанией Eaton Engineering (Herts) Ltd, и постановил передать его компании BOC Group Ltd, тогдашним владельцам Edwards. [22]
В 2019 году Hoffman Instrumentation Supply Inc была поставщиком компонентов для Edwards' US , дочерней компании Edwards Vacuum LLC , и вела переговоры о том, чтобы стать эксклюзивным поставщиком для некоторых позиций. Также было предложено, что Hoffman будет создавать подузлы и полные системы, но только для Edwards. [46]
Один из ключевых клиентов Hoffman поинтересовался, может ли он предоставить вакуумную систему, которая будет работать с насосами, отличными от Edwards. Hoffman проинформировал Edwards, который в ответ предложил купить Hoffman. Информация о Hoffman была предоставлена Edwards для комплексной проверки , в соответствии с соглашением о неразглашении , с целью продвижения приобретения. Она включала технические характеристики для вакуумной системы, независимой от насоса, и структуры затрат Hoffman. [46]
Стороны не пришли к согласию по условиям покупки Hoffman, и Edwards вышел из процесса. [46]
Группа сотрудников покинула Edwards, чтобы работать на Hoffman, и в 2020 году Edwards добился судебного запрета против Hoffman, чтобы предотвратить неправомерное использование коммерческой тайны бывших сотрудников . [47] [46]
Хоффман в ответ заявил, что Эдвардс использовал конфиденциальную информацию о комплексной проверке, чтобы предлагать свою продукцию ключевому клиенту Хоффмана по ценам чуть ниже предполагаемого уровня Хоффмана, а также требовать от поставщиков снижения цен до уровня, полученного Хоффманом. [46]
Хоффман утверждал, что Edwards использовала монопольную практику в нарушение Закона Шермана , поскольку она имела 70% доли на рынке интегрированных систем рам вакуумных насосов в США и подавляла конкуренцию, навязывая своим поставщикам соглашения о неконкуренции и занимаясь запугиванием сотрудников, угрозами клиентам и недобросовестными судебными разбирательствами. [46]
В мае 2021 года Эдвардс получил частичный временный запрет на продажу Хоффманом компонента сильфона . Решение суда отклонило ходатайство Эдвардса о применении доктрины Ноэрра–Пеннингтона для отклонения [48] встречного иска Хоффмана о нарушении антиконкурентных прав. [47] [49] [50]
В июне 2022 года стороны заключили Конфиденциальное соглашение об урегулировании, в соответствии с которым претензии обеих сторон были отклонены с предубеждением . [51]