CHMOS относится к одному из серии процессов Intel CMOS , разработанных на основе процесса HMOS . CHMOS означает «дополнительный высокоэффективный металл-оксид кремния». [1] Впервые он был разработан в 1981 году. [2]
CHMOS использовался в Intel 80C51BH, новой версии стандартного микроконтроллера MCS-51 . [3] Чип также использовался в более поздних версиях Intel 8086 и 80C88 , которые были полностью статической версией Intel 8088 . Intel 80386 был изготовлен из 1,5 мкм CHMOS III, а затем из 1,0 мкм CHMOS IV.
В CHMOS III использовалась 1,5-микронная литография , обработка p-лун, обработка n-лунков и два слоя металла. [4] [5]
CHMOS III-E используется для микропроцессора Intel 80C186 с частотой 12,5 МГц. [6] В этой технологии для EPROM используется процесс 1 мкм . [7]
В CHMOS IV (H означает High Speed) использовалась литография толщиной 1,0 мкм. Многие версии Intel 80486 были изготовлены из CHMOS IV толщиной 1,0 мкм. Intel использует эту технологию во встроенных процессорах 80C186EB и 80C188EB. [8]
В CHMOS V использовалась литография толщиной 0,8 мкм и 3 металлических слоя, и он использовался в более поздних версиях 80386, 80486 и i860 . [9]