FSI International, Inc. ( FSI ) — американская производственная компания со штаб-квартирой в г. Часка, штат Миннесота , которая поставляет технологическое оборудование, используемое для производства микроэлектроники, включая полупроводниковые приборы .
История компании началась с основания Fluoroware, Inc. в 1966 году, компании, которая производила приспособления для удержания кремниевых пластин на месте во время различных процессов, связанных с производством полупроводниковых приборов. Когда руководство Fluoroware попросили разработать сушильный аппарат, оно согласилось сделать это и основало FSI International в 1973 году для продвижения этого нового продукта.
Предложения компании расширились, чтобы удовлетворить потребность рынка в оборудовании, используемом в производстве микроэлектроники . В 1990-х годах компания переехала из своего первоначального предприятия с видом на озеро Хазелтайн на более крупную площадку неподалеку.
В 1999 году FSI International объявила о соглашении о приобретении YieldUP International Corp. [1] В октябре 2012 года Tokyo Electron приобрела FSI International, Inc. и переименовала подразделение в TEL FSI. [2] [3]
FSI International поставляла оборудование для очистки пластин с использованием мокрых, криогенных или других химических методов. [4] [5] [6] [7] Компания также продавала системы микролитографии с использованием фоторезистивных процессов. [8] Компания предоставляет услуги по обновлению, замене и другие услуги поддержки. Пять основных серий оборудования, производимого компанией: ZETA, MERCURY, ORION, ANTARES и POLARIS, а в предыдущие годы компания также производила системы обработки SATURN и NEPTUNE. Некоторые из продуктов компании включают системы распылительной очистки, системы очистки отдельных пластин, системы криогенной обработки и системы очистки погружением. [9]