stringtranslate.com

Позиционирование, ориентированное на функции

Позиционирование по признакам ( FOP ) [1] [2] [3] [4] [5] — это метод точного перемещения зонда сканирующего микроскопа по исследуемой поверхности. При этом методе в качестве опорных точек для крепления зонда микроскопа используются поверхностные особенности (объекты). Фактически, FOP является упрощенным вариантом сканирования по признакам (FOS). При FOP не получается топографического изображения поверхности. Вместо этого перемещение зонда по поверхностным особенностям осуществляется только от начальной точки поверхности A (окрестности начальной особенности) до конечной точки B (окрестности конечной особенности) по некоторому маршруту, который проходит через промежуточные особенности поверхности. Метод может также называться другим названием — объектно-ориентированное позиционирование (OOP).

Различают «слепой» FOP, когда координаты объектов, используемых для перемещения зонда, заранее неизвестны, и FOP по существующей «карте» объектов, когда известны относительные координаты всех объектов, например, в случае, если они были получены в ходе предварительного FOS. Перемещение зонда по навигационной структуре представляет собой комбинацию указанных выше методов.

Метод FOP может быть использован в нанопроизводстве снизу вверх для реализации высокоточного перемещения зонда нанолитографа/ наноассемблера вдоль поверхности подложки. Более того, однажды выполненное по некоторому маршруту, FOP затем может быть точно повторено необходимое количество раз. После перемещения в заданном положении осуществляется воздействие на поверхность или манипуляция поверхностным объектом ( наночастицей , молекулой , атомом ). Все операции выполняются в автоматическом режиме. При использовании многозондовых инструментов подход FOP позволяет последовательно применять любое количество специализированных технологических и/или аналитических зондов к поверхностному элементу/объекту или к заданной точке окрестности элемента/объекта. Это открывает перспективу построения сложной нанопроизводства, состоящей из большого количества технологических, измерительных и проверочных операций.

Смотрите также

Ссылки

  1. ^ Р. В. Лапшин (2004). «Методология сканирования с ориентацией на признаки для зондовой микроскопии и нанотехнологии» (PDF) . Нанотехнология . 15 (9). Великобритания: IOP: 1135–1151. Bibcode :2004Nanot..15.1135L. doi :10.1088/0957-4484/15/9/006. ISSN  0957-4484.
  2. ^ Р. В. Лапшин (2011). «Фигура-ориентированная сканирующая зондовая микроскопия». В HS Nalwa (ред.). Энциклопедия нанонауки и нанотехнологий (PDF) . Том 14. США: American Scientific Publishers. С. 105–115. ISBN 978-1-58883-163-7.
  3. ^ Р. Лапшин (2014). «Особенно-ориентированная сканирующая зондовая микроскопия: прецизионные измерения, нанометрология, нанотехнологии снизу вверх» (PDF) . Электроника: Наука, Технологии, Бизнес (Спецвыпуск «50 лет Институту Физических Проблем»). Российская Федерация: Издательство Техносфера: 94–106. ISSN  1992-4178.(на русском языке).
  4. ^ Д. В. Поль, Р. Мёллер (1988). "«Трекинговая» туннельная микроскопия». Обзор научных приборов . 59 (6). США: AIP Publishing: 840–842. Bibcode : 1988RScI...59..840P. doi : 10.1063/1.1139790. ISSN  0034-6748.
  5. ^ BS Swartzentruber (1996). «Прямое измерение поверхностной диффузии с использованием сканирующей туннельной микроскопии с отслеживанием атомов». Physical Review Letters . 76 (3). США: Американское физическое общество: 459–462. Bibcode : 1996PhRvL..76..459S. doi : 10.1103/PhysRevLett.76.459. ISSN  0031-9007. PMID  10061462.

Внешние ссылки