Химическое соединение
Трифторсилан — это химическое соединение с формулой F 3 H Si . При стандартной температуре и давлении трифторсилан представляет собой бесцветный газ. [1] Обратите внимание, что свободный радикал F 3 Si часто также называют трифторсиланом, хотя правильнее называть его трифторсилилом.
Подготовка
Трифторсилан был очищен и разделен методом низкотемпературной высоковакуумной дистилляции. Один из методов приготовления включает продукты реакции между SbF 3 и HSiCl 3 . [2] HSiCl 3 получают катализируемой медью реакцией между HCl и кремнием при 200-400 °C.
Образование также было отмечено при некоторых операциях травления кремния. [3]
Характеристики
Электрический дипольный момент трифторсилана составляет 1,26 дебая . [4] Длина связи кремния с фтором составляет 1,555 Å, длина связи Si-H составляет 1,55 Å, а ∠FSiF составляет 110°. [5]
Ссылки
- ^ Перри, Дейл Л. (2011-06-15). Справочник неорганических соединений, второе издание . CRC Press. ISBN 9781439814628.
- ^ Цукерман, Дж. Дж. (2009-09-17). Неорганические реакции и методы, Образование связей с галогенами . John Wiley & Sons. ISBN 9780470145388.
- ^ Lippold, Marcus; Böhme, Uwe; Gondek, Christoph; Kronstein, Martin; Patzig-Klein, Sebastian; Weser, Martin; Kroke, Edwin (декабрь 2012 г.). «Травление кремния смесями HF-HNO 3 -H 2 SO 4 /H 2 O — беспрецедентное образование трифторсилана, гексафтордисилоксана и поверхностных групп Si-F». European Journal of Inorganic Chemistry . 2012 (34): 5714–5721. doi :10.1002/ejic.201200674. ISSN 1434-1948 . Получено 27 августа 2014 г.
- ^ Ghosh, SN; Trambarulo, Ralph; Gordy, Walter (февраль 1953 г.). «Электрические дипольные моменты нескольких молекул из эффекта Штарка». Журнал химической физики . 21 (2): 308–310. Bibcode : 1953JChPh..21..308G. doi : 10.1063/1.1698877.
- ^ Шеридан, Джон; Горди, Уолтер (1 марта 1950 г.). «Микроволновые спектры и молекулярные константы производных трифторсилана. SiF3H, SiF3CH3, SiF3Cl и SiF3Br». Physical Review . 77 (5): 719. Bibcode : 1950PhRv...77..719S. doi : 10.1103/PhysRev.77.719.
Дальнейшее чтение
- Demaison, J.; Margulès, L.; Breidung, J.; Thiel, W.; Bürger, H. (10 ноября 1999 г.). "Ab initio ангармоническое силовое поле, спектроскопические параметры и равновесная структура трифторсилана". Молекулярная физика . 97 (9): 1053–1067. Bibcode : 1999MolPh..97.1053D. doi : 10.1080/00268979909482906.