Оксид иридия (IV) , IrO 2 , является единственным хорошо изученным оксидом иридия. Это сине-черное твердое вещество. Соединение имеет структуру рутила TiO 2 , включающую шесть координат иридия и три координаты кислорода. [1]
Он используется вместе с другими редкими оксидами в покрытии анодных электродов для промышленного электролиза и в микроэлектродах для электрофизиологических исследований. [2]
По словам его первооткрывателей, его можно получить путем обработки зеленой формы трихлорида иридия кислородом при высоких температурах:
Известна также гидратированная форма. [3]
Диоксид иридия может быть использован в качестве анодного электрода для промышленного электролиза и в качестве микроэлектрода для электрофизиологических исследований. [4]
Диоксид иридия можно использовать для изготовления покрытых электродов. [5]
Оксидные материалы обычно твердые и хрупкие, что означает, что они могут разрушаться под нагрузкой без значительной предварительной деформации. [6] Оксид иридия также является жестким материалом и нелегко деформируется под нагрузкой. [7] Поскольку применение оксида иридия сосредоточено на электродных покрытиях и каталитических материалах для электролиза, обсуждение механических свойств связано с этими применениями.
Модуль Юнга — это свойство материала, которое измеряет жесткость материала. Экспериментально измеряя модуль Юнга, люди могли бы понять, насколько материал будет деформироваться под определенной нагрузкой, что имеет важное значение при проектировании конструкций и предотвращении деформаций. [8] Для пленок оксида иридия данные о модуле Юнга имеют решающее значение для точного моделирования и проектирования электромеханических устройств, где механические свойства материала электрода существенно влияют на производительность устройства.
Поэтому исследователи использовали метод изгиба кантилевера для определения модуля Юнга тонкой пленки оксида иридия. [7] Сначала оксид иридия был нанесен на кремниевую пластину и изготовлен в виде консольных балок. Используя атомно-силовой микроскоп (АСМ), тонкий наконечник выравнивается по свободному концу балки и прикладывается крошечная сила. Приложенная сила и полученное отклонение были точно измерены для расчета жесткости, а затем модуля Юнга оксида иридия. Сообщается, что экспериментальное измерение модуля Юнга тонкой пленки оксида иридия составляет 300 ± 15 ГПа. [7] По сравнению с металлическим иридием, модуль Юнга которого составляет 517 ГПа, [9] окисление иридия снижает жесткость материала.
Трещины и расслоение являются хорошо известными проблемами при изготовлении устройств, включающих пленку оксида иридия. Расслоение обычно возникает из-за напряжений, которые возникают между слоем IrO 2 и его подложкой в ходе производственных процессов.
Одной из возможных причин расслоения является несоответствие решеток между оксидом иридия и материалом подложки. Оксид иридия имеет тетрагональную решетку с параметрами решетки 4,5Å и 3,15Å. [10] Напротив, популярные подложки, такие как золото и платина, имеют постоянные решетки приблизительно 4,08 Å и 3,92 Å соответственно. [11] Разница в параметрах решетки может привести к деформации на границе между слоем оксида иридия и подложкой, что приведет к разрушению и расслоению иридиевой пленки. Распыление оксида иридия на жидкокристаллический полимер может быть потенциальным способом избежать расслоения. [12]
Другой причиной расслоения является включение высокотемпературных процессов во время изготовления, таких как отжиг . Отжиг включает в себя нагрев оксида иридия до высокой температуры, но ниже точки плавления (около 750-900 °C), а затем охлаждение, снимая внутренние напряжения и улучшая кристалличность и механические свойства оксида иридия. [13] Однако, если параметр решетки слоя оксида иридия значительно изменяется по сравнению с подложкой после отжига, это может привести к большему несоответствию решетки, что увеличивает поверхностное натяжение и способствует образованию длинных трещин (аналогично механически напряженным трещинам, о которых сообщают Мэйли и др. [14] ). Трещины создают точку разрыва, где снимается поверхностная деформация, что приводит к расслоению и другим типам механических разрушений.
Даже если пленка оксида иридия остается неповрежденной в условиях равновесия, она все равно может расслоиться во время работы. Коган и др. сообщили, что распыленные пленки оксида иридия могут расслоиться после нескольких циклов циклической вольтамперометрии , что предполагает, что пленка может расслоиться под рабочими нагрузками. [15] Затем группа ограничивает максимальное смещение потенциала до 0,9 В, и никакого видимого расслоения не происходит.