Журнал «Вакуумная наука и технология» — рецензируемый научный журнал, издаваемый в двух частях, A и B , Американским институтом физики от имени Американского вакуумного общества . Он был основан в 1964 году, а главным редактором является Эрай Айдил ( Университет Миннесоты ).
Часть A охватывает прикладную науку о поверхности , электронные материалы и обработку, технологию термоядерного синтеза, плазменную технологию, науку о поверхности , тонкие пленки , вакуумную металлургию и вакуумную технологию. Согласно отчетам Journal Citation Reports , журнал имеет импакт-фактор 2015 года 1,724. [1]
Часть B охватывает вакуумную и плазменную обработку различных материалов, их структурную характеристику, микролитографию , а также физику и химию субмикрометровых и нанометровых структур и устройств. Согласно отчетам Journal Citation Reports , журнал имеет импакт-фактор 2014 года 1,398. [2]