Onto Innovation Inc. — американская полупроводниковая компания, образованная в 2019 году в результате слияния компаний Rudolph Technologies, Inc. и Nanometrics Incorporated. Компания Onto Innovation торгуется как NYSE : ONTO на Нью-Йоркской фондовой бирже . Компания является поставщиком оборудования и программного обеспечения для управления процессами и процессами для микроэлектронной промышленности (в первую очередь полупроводниковой). В ассортимент продукции компании входят автоматизированные системы контроля дефектов и метрологии, системы тестирования и анализа карт датчиков, а также системы пошаговой литографии. Кроме того, Onto Innovation предлагает широкий спектр программных продуктов, предназначенных для повышения производительности, контроля процессов и снижения производственных затрат.
Компания Rudolph Technologies, Inc. (RTI) ведет свою историю с 1940 года, когда Отто Курт Рудольф основал OC Rudolph & Sons, Inc. [1] Первоначально импортировавшая микроскопы и научные инструменты, этот предшественник RTI был переименован в октябре 1970 года в Rudolph Research Corporation. . Компания проектировала оптическое оборудование для лабораторий и университетов.
Компания, основанная Отто Рудольфом, продолжала развиваться, совершая прорывы в области эллипсометрии, включая первый ориентированный на производство эллипсометр для измерений на тонких прозрачных пленках. Компания продолжила разработку своей метрологической продукции, попутно получая новые патенты.
Компания Nanometrics была основана в 1975 году и была пионером и новатором в области оптической метрологии. В 1984 году компания начала публичную торговлю.
В июне 1996 года Ричард Спэньер, доктор философии, главный исполнительный директор Rudolph Research, заключил партнерское соглашение с базирующейся в Бостоне компанией Riverside Partners [2] и базирующейся в Нью-Йорке Liberty Partners [3] , которые вместе с другими инвестировали в компания. В то время доктор Спэньер оставил свою активную роль в компании, а генеральным директором был назначен ветеран полупроводниковой промышленности Пол Ф. Маклафлин. В августе 1999 года название компании было изменено на Rudolph Technologies, Inc.
В ноябре 1999 года RTI провела первичное публичное размещение обыкновенных акций. Выручка резко выросла, достигнув рекордных $38,1 млн. В начале года открылось новое предприятие, и компания выпустила новый продукт — линейку инструментов для измерения медной пленки MetaPULSE®.
В июле 2002 года RTI согласилась приобрести базирующуюся в Ричардсоне, штат Техас, компанию по контролю дефектов ISOA, Inc. ISOA, дочернее предприятие Международного центра исследований информатики Техасского технологического университета, в течение примерно 16 лет лицензировала технологии для полупроводниковой промышленности, предлагая программное обеспечение для обнаружения дефектов. Сделка была завершена в сентябре, когда ISOA стала группой RTI по метрологии урожайности.
Несколько месяцев спустя RTI расширила свою деятельность в Китае, открыв офис в промышленном районе Пудун в Шанхае. В последующие годы компания открыла дополнительные офисы во всех регионах мира, производящих полупроводники, включая Японию, Европу, Южную Корею, Тайвань и Сингапур.
В 2006 году произошло слияние с базирующейся в Миннесоте August Technology Corporation, в результате чего штат Рудольфа увеличился до 550 человек. Это приобретение вывело Рудольфа на «конечную часть» производственного процесса.
В 2007 году компания приобрела полупроводниковый бизнес у компании Applied Precision LLC, расположенной в Вашингтоне, добавив в портфель компании тестирование и анализ карточных датчиков . В 2008 году было объявлено о приобретении компании RVSI Inspection LLC и ее системы контроля Wafer Scanner. В 2009 году была приобретена компания Adventa Control Technologies, Inc., поставщик программного обеспечения для управления технологическими процессами, а также приобретение бизнеса Yield Dynamics компании MKS Instruments, Inc. было завершено в 2010 году. Рудольф объявил о двух приобретениях в 2012 году: NanoPhotonics GmbH, Майнц, Германия (контроль пластин без шаблонов); и Azores Corp., Уилмингтон, Массачусетс (выход Rudolph на рынки современной упаковки и литографии FPD). В 2013 году Рудольф объявил о приобретении отдельных активов компании Tamar Technology, Ньюбери-Парк, Калифорния, поставщика технологий 3D-метрологии. Рудольф приобрел технологию контроля Stella Alliance в 2015 году, добавив патенты для расширения возможностей проверки.
В ноябре 2015 года Рудольф объявил об уходе Пола Ф. Маклафлина и назначении Майкла Плисински генеральным директором и директором. [4]
По состоянию на 19 января 2017 года рыночная капитализация Rudolph Technologies Inc. составляла около 713 миллионов долларов. [5]
В январе 2017 года компания Voce Capital Management LLC в письме инвесторам призвала к слиянию производителей полупроводникового оборудования Rudolph Technologies Inc. и Nanometrics Inc. [5] В конечном итоге слияние произошло и завершилось 30 октября 2019 года. [6] По данным Joint В официальном заявлении, в котором объявляются условия слияния, переговоры начались в первом квартале 2016 года и продолжались в 2017 году. Nanometrics и Rudolph участвовали в обсуждениях относительно потенциального объединения бизнеса между двумя компаниями, которое будет структурировано как сделка слияния на равных, которая обсуждается. между сторонами называются дискуссиями 2017 года. В связи с дискуссиями 2017 года в феврале 2016 года Nanometrics и Rudolph заключили соглашение о взаимной конфиденциальности, которое впоследствии было продлено в январе 2017 года. [7]
25 октября 2019 года Рудольф объединился с Nanometrics Incorporated и образовал Onto Innovation , торгующуюся как NYSE : ONTO. [6]
В настоящее время штаб-квартира компании находится в Уилмингтоне, штат Массачусетс , а дополнительные офисы в США расположены в Нью-Джерси, Миннесоте, Калифорнии, Техасе, Орегоне и Вашингтоне. Производство инспекционной и некоторой метрологической продукции сосредоточено в Миннесоте; большая часть метрологических производственных предприятий находится в Калифорнии; Производство шаговых двигателей расположено в Уилмингтоне, штат Массачусетс.
Производство полупроводниковых устройств — это процесс, используемый для создания интегральных схем , которые используются в широко используемых электронных устройствах и электрооборудовании. Это многоэтапный процесс, в ходе которого электронные схемы постепенно строятся путем добавления элементов и слоев материала на подложку из чистого кремния или различных соединений в случае специализированных применений. Прежде чем требуются сотни шагов, выполняемых специализированными технологическими инструментами. пластина перемещается на предприятие окончательной упаковки.
При упаковке и сборке основное внимание уделяется обеспечению электрического соединения кристалла с печатной платой, герметизации корпуса для обеспечения его механической целостности и устойчивости к температурным изменениям. Эпоха тонких устройств форм-фактора, таких как смартфоны, предполагает высокий уровень функциональности при очень плотной занимаемой площади. Из-за этих требований проблемы упаковки, сборки и испытаний значительно возросли, и необходимы передовые методы упаковки, такие как ударная или сквозная силиконовая упаковка .