stringtranslate.com

Светочувствительное стекло

Ваза из светочувствительного стекла

Фоточувствительное стекло , также называемое фотоструктурируемым стеклом ( PSG ) или фотообрабатываемым стеклом , представляет собой стекло из семейства литий - силикатных стекол, на котором изображения могут быть вытравлены с использованием коротковолнового излучения , такого как ультрафиолетовое . [1] Фоточувствительное стекло было впервые обнаружено С. Дональдом Стуки в 1937 году. [2] [3] [4]

Процесс воздействия

Когда стекло подвергается воздействию УФ-излучения с длиной волны от 280 до 320 нм, формируется скрытое изображение . На этом этапе стекло остается прозрачным, но его способность поглощать УФ-излучение увеличивается. Это повышенное поглощение обнаруживается только с помощью УФ-спектроскопии пропускания и вызвано окислительно-восстановительной реакцией , которая происходит внутри стекла во время воздействия. Эта реакция заставляет ионы церия окисляться до более стабильного состояния, а ионы серебра восстанавливаются до серебра. [5]

Пост-экспозиционная термообработка

Скрытое изображение, запечатленное в стекле, становится видимым при нагревании. [6] [2] [4] Эта термическая обработка выполняется путем повышения температуры примерно до 500 °C, чтобы позволить окислительно-восстановительной реакции сформировать нанокластеры серебра. После этого температура повышается до 550–560 °C, и на нанокластерах серебра образуется метасиликат лития (Li 2 SiO 3 ). Этот материал формируется в кристаллической фазе. [6]

Химическое травление HF

Метасиликат лития в открытых областях стекла может быть протравлен плавиковой кислотой (HF) . Это формирует микроструктуры стекла с шероховатостью в диапазоне 5 мкм, что приводит к получению трехмерного изображения маски. [1] до 0,7 мкм. [6]

Смотрите также

Ссылки

  1. ^ аб Дитрих, TR; Эрфельд, В; Лачер, М; Кремер, М; Спейт, Б. (1996). «Технологии изготовления микросистем на основе фототравления стекла». Микроэлектронная инженерия . 30 (1–4): 497–504. дои : 10.1016/0167-9317(95)00295-2.
  2. ^ ab Paul, стр. 333
  3. ^ Британская энциклопедия, стр. 194–209.
  4. ^ ab Maluf, стр. 62–63
  5. ^ "Фотоопределяемая обработка стекла - khalidtantawi". sites.google.com .
  6. ^ abc «Обработка светочувствительных стеклянных структур APEX с гладкими и прозрачными боковыми стенками, авторы Халид Х. Тантави, Янечка Оутс, Реза Камали, Натан Бергквист и Джон Д. Уильямс, Журнал Micromech. & Microeng. 21 (2011)».

Библиография

Внешние ссылки