Tokyo Electron Limited ( яп .東京エレクトロン株式会社, Хепбёрн : Tokyo Erekutoron Kabushiki-gaisha ) или TEL — японская компания по производству электроники и полупроводников со штаб-квартирой в Акасаке , Минато-ку, Токио , Япония . [4] Компания была основана в 1963 году как Tokyo Electron Laboratories, Inc. [7] TEL наиболее известна как поставщик оборудования для производства интегральных схем (ИС), плоских панельных дисплеев (FPD) и фотоэлектрических элементов (PV). [4] Tokyo Electron Device (東京エレクトロンデバイス株式会社, Tokyo Erekutoron Debaisu Kabushiki-gaisha , TYO :2760) , или TED , является дочерней компанией TEL, специализирующейся на полупроводниковых устройствах , электронных компонентах и сетевых устройствах . [4] По состоянию на 2011 год TEL была крупнейшим производителем оборудования для производства ИС и ПФД. [4] В 2024 году компания Tokyo Electron, зарегистрированная на Nikkei 225 , [8] имела рыночную капитализацию в размере 114,6 миллиардов долларов США, что делало ее третьей по стоимости компанией в Японии с точки зрения рыночной капитализации и 12-й компанией в мире, связанной с полупроводниками. [9]
11 ноября 1963 года Токуо Кубо и Тошио Кодака основали Tokyo Electron Laboratories Incorporated, в основном финансируемую Tokyo Broadcasting System (TBS), с капиталом более пяти миллионов иен . Позже в том же году их офис открылся в главном здании TBS и начал производить тысячи контрольно-измерительных и импортных диффузионных печей производства Thermco, а также продавать японские автомобильные радиоприемники. [7]
В 1965 году компания обратилась к быстрорастущему на рынке предприятию Fairchild Semiconductor Corporation и согласилась стать для них торговым агентством, увеличив их капитал до двадцати миллионов иен. Tokyo Electron начала экспортировать тестеры ИС, гнезда ИС , соединители ИС и другие подобные компьютерные компоненты. [7]
Компания открыла офис в Сан-Франциско, Калифорния , и свой новый филиал Pan Electron в 1968 году, зарекомендовав себя как единственный дистрибьютор импортных электронных компонентов в регионе. [7] Год спустя они открыли свой офис в Иокогаме и основали Teltron , крупного производителя и дистрибьютора автомобильных стереосистем, расширив свою штаб-квартиру, чтобы заполнить все здание TBS-2 и увеличив свой капитал до 100 миллионов иен. [7]
Американская электронная компания Genrad Inc. и Tokyo Electron Ltd. в 1981 году создали совместное производственное предприятие Tel-Genrad Ltd. для производства систем тестирования внутрисхемных плат в Японии. [10] В 1986 году газета New York Times описывала Tokyo Electron как производителя оборудования для производства полупроводников. [11]
В 1990 году Tokyo Electron конкурировала с японской компанией Dai Nippon Screen и американской компанией Silicon Valley Group за звание крупнейшего производителя оборудования для производства полупроводников. [12] В 1991 году Tokyo Electron была одной из пяти японских компаний, подвергшихся критике со стороны консорциума SEMATECH за то, что они якобы утаивали новые технологии от Соединенных Штатов, в частности «оборудование для точного нагрева», производимое Tokyo Electron Ltd. и Kokusai . [13] К началу 1990-х годов американский конкурент Tokyo Electron Applied Materials терял долю рынка и «обращался за помощью к правительству США в форме импортной квоты» на американский рынок. [14] В мае 1995 года Tokyo Electron Ltd. была крупнейшим в Японии поставщиком оборудования для производства полупроводников. [15]
После контроля импорта Applied Materials к 2001 году вдвое превысила Tokyo Electron, которая была ее следующим ближайшим конкурентом. [14] В 2001 году TEL приобрела Timbre Technologies Inc. во Фремонте, Калифорния , которая разработала технологию программного обеспечения для измерений. [16] В 2004 году TEL объявила об усовершенствовании своих продуктов для камер плазменного травления. [17] В 2005 году Tokyo Electron все еще была вторым по величине производителем оборудования для производства микросхем после Applied Materials и выше ASML . [18] В 2006 году Tokyo Electron имела исследовательский центр в комплексе Albany NanoTech , нанотехнологическом центре в Нью-Йорке. [19] В 2006 году компания основала венчурное подразделение TEL Venture Capital в Калифорнии. [20]
По состоянию на 2011 год TEL была крупнейшим производителем оборудования для производства ИС и FPD. [4] 24 сентября 2013 года Tokyo Electron и Applied Materials объявили о слиянии, [21] образовав новую компанию под названием Eteris. [22] [23] Eteris стала бы крупнейшим в мире поставщиком оборудования для обработки полупроводников с общей рыночной стоимостью около 29 миллиардов долларов. 26 апреля 2015 года слияние стоимостью 10 миллиардов долларов было отменено из-за проблем с антимонопольным регулированием в США. [24]
В июне 2023 года Tokyo Electron вошла в список крупнейших компаний мира Forbes Global 2000 [25] , на тот момент в ней работало около 12 742 сотрудников. [2] В конце 2023 года она была крупнейшим производителем полупроводникового оборудования в Азии. 43 процента своего дохода она получала из Китая. [26] В октябре 2023 года [27] компания объявила, что разработала новую технологию для улучшения усовершенствованной флэш-памяти 3D NAND , [9] что сделало ее единственным конкурентом Lam Research . [27]
В начале 2024 года компания заявила, что повысит начальную зарплату своих сотрудников на 40%, чтобы обеспечить таланты и конкурировать со ставками оплаты труда иностранных компаний. [28] В феврале 2024 года рыночная капитализация Tokyo Electron закрылась на уровне 114,6 млрд долларов США, что сделало ее третьей по стоимости компанией в Японии с точки зрения рыночной капитализации, обойдя Sony Group . Она также стала 12-й среди компаний, связанных с полупроводниками, по показателю рыночной капитализации во всем мире. [9] Она по-прежнему котируется на Nikkei 225. [8] В 2024 году Тошики Каваи был президентом и генеральным директором, а Ёсикадзу Нунокава был председателем совета директоров. [29]
Поставляя оборудование для изготовления интегральных схем (ИС), плоских дисплеев (FPD) и фотоэлектрических элементов (PV), [4] по данным Barron's в 2024 году, Tokyo Electron Ltd. занимается «разработкой, производством и продажей оборудования для производства полупроводников и промышленной электроники для оборудования для производства плоских дисплеев». У него есть три сегмента: оборудование для производства полупроводников (SPE), оборудование для производства плоских дисплеев (FPD) и другие. Другие включают логистику, управление объектами и страхование. [30] В 2023 году сообщалось, что бизнес компании FPD стал «второстепенным» в ее доходах, в то время как ее сегмент SPE неуклонно рос. [31] Сегмент SPE компании TEL разрабатывает и продает SPE, такие как устройства для нанесения покрытий/проявки, системы плазменного травления , системы термической обработки, системы осаждения отдельных пластин, системы очистки и зондовые устройства пластин. Сегмент FPD фокусируется на SPE для плоских дисплеев. [30] В 2024 году услуги, перечисленные компанией, включали полевые решения, инжиниринговые услуги, ремонт и запасные части, модернизацию и модификацию, а также капитальный ремонт бывших в употреблении изделий. [32]
В 2012 году TEL производила SPE для различных целей. [4] Среди этих целей была термическая обработка, включающая осаждение тонких слоев диэлектрического материала между транзисторами на поверхность кремниевой пластины с использованием процесса химического осаждения из паровой фазы при низком давлении (LPCVD) или окисления. [33] Также в 2012 году продукция включала нанесение фоторезистивного покрытия и проявку для проецирования микроскопического рисунка схемы на пластину в фотолитографии . [34] Также было плазменное травление, [35] и продукция, ориентированная на влажную подготовку поверхности с использованием очистки для удаления загрязнений, таких как пыль. [36] Другие области продукции в 2012 году включали химическое осаждение из паровой фазы на одну пластину , включающее осаждение тонких слоев различных материалов, таких как вольфрам , силицид вольфрама , титан , нитрид титана и оксид тантала . [37] Пробоотборники TEL для пластин проверяли функциональность и производительность каждого кристалла на пластине, [38] в то время как другие продукты позволяли корректирующее травление и обрезку тонких пленок, таких как кремний , нитрид кремния , диоксид кремния , нитрид алюминия и металлы. [39] Также в 2012 году компания продавала интегрированную метрологию (совместно разработанную TEL и KLA Tencor ), [40] а также продукты для модификации материалов и поверхностей и легирования с использованием технологии пучка газовых кластерных ионов (GCIB). [41] В 2016 году компания участвовала в продаже Advanced Packaging. [42]
Tokyo Electron Group состоит из TEL и следующих дочерних компаний: [3] [43]
Передовой центр разработки технологических процессов TEL расположен в Нирасаки, Яманаси . TEL также имеет технологический центр Kansai в Амагасаки , префектура Хёго , и центр проектирования и разработки Sendai в Сендае , префектура Мияги . TEL Technology Center, America, LLC в Олбани, штат Нью-Йорк, является научно-исследовательским центром в Соединенных Штатах . TEL является одним из партнеров IMEC , исследовательского центра микроэлектроники и наноэлектроники в Лёвене, Бельгия . [3]
В июле 2014 года TEL объявила о создании совместной сборочной лаборатории с Институтом микроэлектроники в Сингапуре. Лаборатория сосредоточена на исследованиях и разработках в области упаковки и сборки на уровне пластин, чтобы удовлетворить потребность Интернета вещей в устройствах с высокой производительностью и низким энергопотреблением. [44]
В 2023 году компания продала свою американскую штаб-квартиру в юго-восточном Остине, штат Техас , под руководством генерального директора Тошики Каваи. [45] В 2024 году компания арендовала новую американскую штаб-квартиру в Остине. [46] Ожидается, что в 2025 году Tokyo Electron Technology Solutions, производственное дочернее предприятие компании, построит завод по производству чипов стоимостью 170 миллионов долларов в Ошу , Япония. [47]
TEL поддерживает футбольные ассоциации Японии, спонсируя J-лигу в целом и футбольный клуб Ventforet Kofu, базирующийся в Кофу и Нирасаки, а также в остальной части префектуры Яманаси .
Компания приобрела права на наименование двух многофункциональных залов:
