Вентиляторный фильтрующий агрегат ( ФФУ ) — это тип моторизованного оборудования для фильтрации воздуха . Он используется для подачи очищенного воздуха в чистые помещения , лаборатории , медицинские учреждения или микросреды путем удаления вредных частиц из рециркулирующего воздуха. [1] Устройства устанавливаются внутри потолочной или напольной решетки системы. Большие чистые помещения требуют пропорционально большого количества FFU, которое в некоторых случаях может составлять от нескольких сотен до нескольких тысяч. [1] [2] Установки часто оснащены собственным фильтром предварительной очистки, HEPA- фильтром и вентилятором с внутренним управлением. [3]
FFU обычно изготавливаются в стальных корпусах размером 4 x 2 дюйма, 3 x 2 дюйма или 2 x 2 дюйма, которые можно размещать в отсеках потолочной решетки аналогичных размеров. [2] Установки часто содержат фильтр предварительной очистки, а также фильтр HEPA (высокоэффективный фильтр для твердых частиц), ULPA (воздушный фильтр со сверхнизким содержанием твердых частиц) или другой фильтр MERV (минимальное отчетное значение эффективности). Вентилятор с электроприводом используется для протягивания воздуха через фильтры для распределения по помещениям или закрытым рабочим местам, например, вытяжкам. [3] Скорость вентилятора обычно регулируется посредством ступенчатой или реостатной регулировки двигателя. [2] [3] Желаемый уровень чистоты определяет используемый фильтр: фильтры HEPA удаляют частицы размером 0,3 мкм и более с эффективностью 99,99 %, а фильтры ULPA удаляют частицы размером 0,12 мкм и более с эффективностью 99,999 %. [3] FFU разработаны для ламинарного потока воздуха, что требуется в критических условиях. Контролируемый воздух, текущий в одном направлении и с одинаковой скоростью (несущий микрочастицы), чище, чем турбулентный воздух, который течет в нескольких направлениях или с непостоянными скоростями. Завихрения, создаваемые турбулентным воздухом, заставляют загрязняющие микрочастицы оседать на чистых поверхностях.
FFU размером 4 x 2 фута или 2 x 2 фута предназначены для размещения в отсеках потолочной решетки аналогичных размеров. [3] Для устройства чистых помещений используются потолочные решетки с пролетами стандартных размеров, соответствующих размерам ФФУ. В зависимости от требований к чистоте контролируемого помещения к сети можно добавить дополнительные вентиляторные фильтры, чтобы соответствовать стандартам ISO по скорости воздушного потока и воздухообмену в час. [4]
FFU можно использовать вместо более традиционных установок рециркуляции воздуха, таких как канальная или приточная воздушная система. [1] [2] Поскольку для FFU требуется пространство над потолочной решеткой (13 дюймов для модуля FFU плюс еще 1–2 фута «пустого» пространства, заполненного воздухом), статические камеры обычно используются для чистых помещений с ограничениями по высоте; они единственные воздушные системы, которые работают в планировках с меньшими внутренними размерами пола [2] Кроме того, когда в помещении установлено менее 20 фильтров, HEPA, FFU с вентилятором обычно считается менее дорогим, чем более традиционная канальная подача. система [5]
Когда требуется микросреда чистого воздуха, FFU можно использовать для создания закрытых рабочих пространств или шкафов с ламинарным потоком. Применяя тот же принцип, что и более крупную решетку для чистых помещений, FFU можно разместить непосредственно в отдельно стоящей решетке над пространством, требующим чистого воздуха. Фактически, этот подход также используется для травления кремниевых пластин в полупроводниковой промышленности. [6]