stringtranslate.com

Ионный трек

Протравленные ионные дорожки в полиэтилентерефталате

Ионные треки представляют собой следы повреждений, создаваемые быстрыми тяжелыми ионами, проникающими через твердые тела, которые могут быть достаточно непрерывными для химического травления в различных кристаллических, стеклообразных и/или полимерных твердых телах. [1] [2] Они связаны с цилиндрическими областями повреждений диаметром в несколько нанометров [3] [4] и могут быть изучены с помощью спектрометрии обратного рассеяния Резерфорда (RBS), просвечивающей электронной микроскопии (TEM), малоуглового рассеяния нейтронов (SANS), малоуглового рассеяния рентгеновских лучей ( SAXS ) или газопроницаемости . [ 5]

Технология ионного трека

Технология ионных треков занимается производством и применением ионных треков в микротехнологии и нанотехнологии . [6] Ионные треки могут быть селективно протравлены во многих изолирующих твердых телах, что приводит к образованию конусов или цилиндров диаметром до 8 нанометров. [7] Протравленные цилиндры треков могут использоваться в качестве фильтров , [8] [9] микроканалов счетчика Коултера , [10] могут быть модифицированы монослоями , [11] или заполнены гальваническим способом . [12] [13]

Технология ионного трека была разработана для заполнения определенных ниш, где традиционная нанолитография не справляется, в том числе:

Материалы, восприимчивые к записи ионных треков

Класс материалов для записи ионных треков характеризуется следующими свойствами: [2]

Аппараты и методы облучения

В настоящее время используются несколько типов генераторов быстрых тяжелых ионов и схем облучения:

Формирование ионных треков

Когда быстрый тяжелый ион проникает через твердое тело, он оставляет за собой след нерегулярного и измененного материала, ограниченного цилиндром диаметром в несколько нанометров. Передача энергии между тяжелым ионом- снарядом и легкими электронами-мишенями происходит в бинарных столкновениях . Выбитые первичные электроны оставляют заряженную область позади, вызывая каскад вторичных электронных столкновений, включающий все большее число электронов с уменьшающейся энергией. Этот каскад электронных столкновений останавливается, когда ионизация больше невозможна. Оставшаяся энергия приводит к возбуждению атомов и вибрации, производя ( тепло ). Из-за большого отношения масс протона к электрону энергия снаряда постепенно уменьшается, и путь снаряда становится прямым. [29] Небольшая часть переданной энергии остается в виде ионного трека в твердом теле. Диаметр ионного трека увеличивается с увеличением радиационной чувствительности материала. Для описания образования ионного трека используется несколько моделей.

Модель теплового пика предполагает, что чувствительность различных материалов к излучению зависит от их теплопроводности и температуры плавления.

Методы травления

Селективное ионное травление

Селективное травление ионного трека [2] тесно связано с селективным травлением границ зерен и дислокаций кристаллов . Процесс травления должен быть достаточно медленным, чтобы различать облученный и исходный материал. Результирующая форма зависит от типа материала, концентрации травителя и температуры ванны для травления. В кристаллах и стеклах селективное травление происходит из-за пониженной плотности ионного трека. В полимерах селективное травление происходит из-за фрагментации полимера в ядре ионного трека. Зона ядра окружена гало трека, в котором сшивание может препятствовать травлению трека. После удаления сшитого гало трека радиус трека линейно растет со временем. Результатом селективного травления является впадина, пора или канал.

Травление, усиленное поверхностно-активными веществами

Травление, усиленное поверхностно-активным веществом, используется для изменения формы ионных треков. [34] Оно основано на самоорганизующихся монослоях . [11] Монослои полупроницаемы для сольватированных ионов травильной среды и уменьшают поверхностное воздействие. В зависимости от относительной концентрации поверхностно-активного вещества и травильной среды получаются поры ионных треков бочкообразной или цилиндрической формы. Этот метод можно использовать для увеличения соотношения сторон . [35]

Другая связанная терминология

Повторное облучение и обработка : двухэтапный процесс облучения и травления, используемый для создания перфорированных лунок.

Произвольные углы облучения вызывают анизотропию вдоль одной определенной оси симметрии.

Многоугольные каналы представляют собой взаимопроникающие сети, состоящие из двух или более канальных массивов в разных направлениях.

1) Сенсибилизаторы увеличивают коэффициент травления трека за счет разрыва связей или увеличения свободного объема.
2) Десенсибилизаторы уменьшают коэффициент травления трека. В качестве альтернативы ионные треки можно термически отжигать.
3) Типичный диапазон температур в травильной ванне. Скорость травления сильно увеличивается с концентрацией и температурой.
4) Осевое травление зависит от скорости травления трека v t , радиальное травление зависит от общей скорости травления v g .
5) Селективность (соотношение сторон, коэффициент травления трека) = скорость травления трека / общая скорость травления = v t / v g .
6) Этот метод требует удаления оставшихся отложений оксидов металлов водными растворами HCl.

Репликация

Протравленные ионные треки могут быть воспроизведены полимерами [37] или металлами . [12] [ 38] Реплика и шаблон могут быть использованы в качестве композита . Реплика может быть отделена от своего шаблона механически или химически. Полимерные реплики получаются путем заполнения протравленного трека жидким предшественником полимера и его отверждения . Отверждение может быть активировано катализатором , ультрафиолетовым излучением или теплом . Металлические реплики могут быть получены либо химическим осаждением , либо электроосаждением . Для репликации сквозных пор катодная пленка осаждается на одной стороне мембраны, а мембрана погружается в раствор соли металла. Катодная пленка отрицательно заряжена по отношению к аноду, который расположен на противоположной стороне мембраны. Положительные ионы металла притягиваются к катоду, где они захватывают электроны и осаждаются в виде компактной металлической пленки. В процессе электроосаждения каналы постепенно заполняются металлом, а длина нанопроводов контролируется временем осаждения. Быстрое осаждение приводит к поликристаллическим проводам, тогда как медленное осаждение приводит к монокристаллическим проводам. Свободно стоящая реплика получается путем удаления шаблона после осаждения пленки подшипника на анодной стороне мембраны.

Взаимопроникающие сети проводов изготавливаются путем электроосаждения в многоугловых, трековых мембранах. Получаются свободно стоящие трехмерные сети с настраиваемой сложностью и межпроводной связностью. [39]

Сегментированные нанопровода изготавливаются путем чередования полярности во время электроосаждения. [40] Длина сегмента регулируется длительностью импульса. Таким образом можно настраивать электрические, тепловые и оптические свойства.

Приложения

Микротехнология : Обычные механические инструменты макромира дополняются и дополняются, а в некоторых приложениях заменяются пучками частиц . Здесь пучки фотонов и электронов изменяют растворимость полимеров , чувствительных к радиации , так называемых « резистов », в то время как маскировка защищает выбранную область от воздействия радиации , химического воздействия и эрозии при атомном ударе . Типичными продуктами, производимыми таким образом, являются интегральные схемы и микросистемы . В настоящее время область микротехнологии расширяется в сторону нанотехнологии . Недавнее направление микропроизводства основано на манипулировании отдельными ионами .

Геология: Ионные треки полезны, поскольку они могут оставаться неизменными в течение миллионов лет в минералах. Их плотность дает информацию о времени, когда минерал затвердел из расплава, и используются в качестве геологических часов в датировании по трекам деления

Фильтры : Гомопористые фильтры были одними из первых применений [8] технологии ионных треков, и в настоящее время их производят несколько компаний. [41] Слюдяные мембраны с порами ионных треков использовались Беком и Шульцем для определения механизма затрудненной диффузии в нанопорах. [42] [43]

Классификация микро- и наночастиц : сопротивление канала, заполненного электролитом, зависит от объема проходящей через него частицы. [10] Этот метод применяется для подсчета и определения размера отдельных эритроцитов, бактерий и вирусных частиц.

Датчик pH : Заряженные каналы, заполненные электролитом , имеют поверхностную проводимость , в дополнение к обычной объемной проводимости электролита. Ионы, прикрепленные к заряженной поверхности, притягивают облако подвижных противоионов . Фиксированные и подвижные ионы образуют двойной слой . Для небольших каналов поверхностная проводимость отвечает за большую часть переноса заряда. Для небольших каналов поверхностная проводимость превышает объемную проводимость . Отрицательные поверхностные заряды могут быть заняты прочно связанными протонами. При низком pH (высокая концентрация протонов) заряд стенки полностью нейтрализуется. Поверхностная проводимость исчезает. Из-за зависимости поверхностной проводимости от pH канал становится датчиком pH. [44]

Поры, выпрямляющие ток : асимметричные поры получаются путем одностороннего травления. Геометрическая асимметрия преобразуется в асимметрию проводимости. Это явление похоже на электрический клапан. Пора имеет два характерных состояния проводимости: открытое и закрытое. Выше определенного напряжения клапан открывается. Ниже определенного напряжения клапан закрывается. [45] [46]

Термочувствительный канал : получается путем покрытия канала термочувствительным гелем . [47]

Биосенсор : химическая модификация стенки канала изменяет ее взаимодействие с проходящими частицами. Различные покрытия стенок связываются с определенными молекулами и задерживают их прохождение. В этом смысле стенка распознает проходящую частицу. Например, фрагменты ДНК избирательно связываются своими комплементарными фрагментами. Прикрепленные молекулы уменьшают объем канала. Вызванное изменение сопротивления отражает концентрацию молекул. [48]

Анизотропная проводимость : платформа, покрытая множеством свободно стоящих проводов, действует как полевой излучатель большой площади. [49]

Магнитные многослойные материалы : нанопровода, состоящие из чередующихся магнитных/немагнитных слоев, действуют как магнитные датчики. Например, нанопровода кобальт/медь получают из электролита, содержащего оба металла. При низком напряжении осаждается чистая медь, в то время как кобальт сопротивляется электроосаждению. При высоком напряжении оба металла осаждаются в виде сплава. Если электролит содержит преимущественно кобальт, осаждается магнитный сплав кобальта и меди с высокой долей кобальта. Электропроводность многослойного провода зависит от приложенного внешнего магнитного поля. Магнитный порядок слоев кобальта увеличивается с приложенным полем. Без магнитного поля соседние магнитные слои предпочитают антипараллельный порядок. С магнитным полем магнитные слои предпочитают ориентацию, параллельную магнитному полю. Параллельная ориентация соответствует уменьшенному электрическому сопротивлению. Эффект используется в считывающих головках магнитных носителей информации («эффект GMR»). [50]

Спинтроника : структура спинового клапана состоит из двух магнитных слоев разной толщины. Толстый слой имеет более высокую магнитную стабильность и используется как поляризатор. Тонкий слой действует как анализатор. В зависимости от направления его намагничивания по отношению к поляризатору (параллельно или антипараллельно), его проводимость низкая или высокая соответственно. [51]

Текстуры : Наклонные текстуры с гидрофобным покрытием одновременно являются супергидрофобными и анизотропными, [18] и показывают предпочтительное направление транспорта. Было продемонстрировано, что эффект преобразует вибрацию в трансляцию. [52]

Примечания

  1. ^ DA Young (1958). «Травление радиационных повреждений во фториде лития». Nature . 182 (4632): 375–377. Bibcode :1958Natur.182..375Y. doi :10.1038/182375a0. PMID  13577844. S2CID  4282512.
  2. ^ abcde RL Fleischer; PB Price; RM Walker (1975). Ядерные треки в твердых телах . Том 220. Издательство Калифорнийского университета . С. 30–9. doi :10.1038/scientificamerican0669-30. ISBN 978-0-520-02665-0. PMID  5769561. {{cite book}}: |journal=проигнорировано ( помощь )
  3. ^ ab F. Seitz; JS Koehler (1956). F. Seitz; D. Turnbull (ред.). "Физика твердого тела" . Academic Press : 307. LCCN  55012299. {{cite journal}}: Цитировать журнал требует |journal=( помощь )
  4. ^ M. Toulemonde; C. Dufour; A. Meftah; E. Paumier (2000). «Переходные тепловые процессы при облучении кристаллических неорганических изоляторов тяжелыми ионами». Nuclear Instruments and Methods B. 166–167: 903–912. Bibcode :2000NIMPB.166..903T. doi :10.1016/S0168-583X(99)00799-5.
  5. ^ G. Remmert; Y. Eyal; BE Fischer; R. Spohr (1995). «Газопроницаемость и поперечное сечение скрытых ионных треков в полимерах». Nuclear Instruments and Methods B. 105 ( 1–4): 197–199. Bibcode :1995NIMPB.105..197R. doi :10.1016/0168-583X(95)00576-5.
  6. ^ Р. Шпор (1990). Ионные треки и микротехнология. Посмотреть Верлаг . ISBN 978-3-528-06330-6. Архивировано из оригинала 2011-09-16 . Получено 2011-09-18 .
  7. ^ ab WD Williams; N. Giordano (1984). «Изготовление металлических проводов диаметром 80 Å». Review of Scientific Instruments . 55 (3): 410–412. Bibcode : 1984RScI...55..410W. doi : 10.1063/1.1137752.
  8. ^ ab RL Fleischer; PB Price; RM Walker (1963). «Метод формирования мелких отверстий почти атомных размеров». Review of Scientific Instruments . 34 (5): 510–512. Bibcode : 1963RScI...34..510F. doi : 10.1063/1.1718419.
  9. ^ P. Apel (2003). "Эффекты быстрых ионов в полимерах: промышленное применение". Ядерные приборы и методы в физических исследованиях, раздел B. 208 : 11–20. Bibcode : 2003NIMPB.208...11A. doi : 10.1016/S0168-583X(03)00634-7.
  10. ^ ab RW DeBlois; CP Bean (1970). «Подсчет и определение размеров субмикронных частиц методом резистивного импульса». Review of Scientific Instruments . 41 (7): 909–916. Bibcode : 1970RScI...41..909D. doi : 10.1063/1.1684724.
  11. ^ ab WJ Petzny; JA Quinn (1969). «Калиброванные мембраны с покрытыми стенками пор». Science . 166 (3906): 751–753. Bibcode :1969Sci...166..751P. doi :10.1126/science.166.3906.751. PMID  5823313. S2CID  1807195.
  12. ^ ab GE Possin (1970). "Метод формирования проводов очень малого диаметра". Review of Scientific Instruments . 41 (5): 772–774. Bibcode : 1970RScI...41..772P. doi : 10.1063/1.1684640.
  13. ^ J. Vetter. "Свободно стоящие металлические усы". GSI Darmstadt . Получено 27.04.2010 .
  14. ^ Y. Eyal; K. Gassan (1999). «Наблюдение скрытых треков тяжелых ионов в полиимиде с помощью просвечивающей электронной микроскопии». Ядерные приборы и методы в физических исследованиях B. 156 ( 1–4): 183–190. Bibcode :1999NIMPB.156..183E. doi :10.1016/S0168-583X(99)00269-4.
  15. ^ JF Ziegler (1980). Справочник по сечениям торможения для энергичных ионов во всех элементах . Pergamon Press . ISBN 978-0080216072.
  16. ^ "Остановка и расчет дальности". Srim.org . Получено 21.01.2013 .
  17. ^ M. Lindeberg; K. Hjort (2004). «Комплексное исследование ионного трека позволило создать микроструктуры с высоким соотношением сторон в гибких печатных платах». Microsystem Technologies . 10 (8–9): 608–621. doi :10.1007/s00542-003-0339-2. S2CID  109327888.
  18. ^ ab R. Spohr; G. Sharma; P. Forsberg; M. Karlsson; A. Hallén; L. Westerberg (2010). "Асимметрия хода наклонных супергидрофобных текстур ионных треков". Langmuir . 26 (9): 6790–6796. doi :10.1021/la904137t. PMID  20085343.
  19. ^ C. Riedel; R. Spohr (1980). «Свойства пропускания ядерных трековых фильтров». Журнал мембранной науки . 7 (2): 225–234. doi :10.1016/S0376-7388(00)80083-6.
  20. ^ ab R. Spohr; C. Zet; BE Fischer; H. Kiesewetter; P. Apel; I. Gunko; L. Westerberg (2010). «Управляемое изготовление нанопроводов и каналов с ионными треками». Ядерные приборы и методы в исследованиях физики B . 268 (6): 676–686. Bibcode :2010NIMPB.268..676S. doi :10.1016/j.nimb.2009.12.017. hdl : 10069/32233 .
  21. ^ ab BE Fischer; M. Heiss; M. Cholewa (2003). «Об искусстве стрелять одиночными ионами». Ядерные приборы и методы в физических исследованиях B. 210 : 285–291. Bibcode : 2003NIMPB.210..285F. doi : 10.1016/S0168-583X(03)01038-3.
  22. ^ "Таблица нуклидов". Atom.kaeri.re.kr . Получено 21.01.2013 .
  23. ^ "Интерактивная карта нуклидов". Nndc.bnl.gov. Архивировано из оригинала 2016-01-09 . Получено 2013-01-21 .
  24. ^ 10 2 событий деления/с
  25. ^ "Brookhaven Tandem Van de Graaf". Архивировано из оригинала 2013-02-13 . Получено 2011-12-29 .
  26. ↑ GSI Irradiation Facilities Архивировано 13 марта 2008 г. на Wayback Machine
  27. ^ "High Volage Accelerator Systems". Highvolteng.com . Получено 21.01.2013 .
  28. ^ "Оценить кулоновский барьер". Physicsconsult.de . Получено 21.01.2013 .
  29. ^ Для железа массовое отношение M Fe /m e ~ 10 5
  30. ^ RL Fleischer; PB Price; RM Walker (1965). «Механизм ионного взрыва для образования треков заряженных частиц в твердых телах». Журнал прикладной физики . 36 (11): 3645–3652. Bibcode : 1965JAP....36.3645F. doi : 10.1063/1.1703059.)
  31. ^ К. Нордлунд, М. Гали, Р. С. Авербак, М. Катурла, Т. Диас де ла Рубиа, Дж. Тарус (1998). «Производство дефектов в каскадах столкновений в элементарных полупроводниках и FCC-металлах». Физический обзор B . 57 (13): 7556. Бибкод : 1998PhRvB..57.7556N. doi : 10.1103/PhysRevB.57.7556.{{cite journal}}: CS1 maint: multiple names: authors list (link))
  32. ^ Р. Кац (1978). «Теория структуры трека в радиобиологии и обнаружении радиации». Ядерное обнаружение треков . 2 (1): 1–28. doi :10.1016/0145-224X(78)90002-9.
  33. ^ M. Toulemonde; C. Dufour; A. Meftah; E. Paumier (2000). «Переходные тепловые процессы при облучении кристаллических неорганических изоляторов тяжелыми ионами». Nuclear Instruments and Methods B. 166–167: 903–912. Bibcode :2000NIMPB.166..903T. doi :10.1016/S0168-583X(99)00799-5.
  34. ^ PYApel, IV Blonskaya, AY Didyk, SN Дмитриев, OL Orelovitch, D. Root, LI Samoilova, VA Vutsadakis (2001). "Surfactant-enhanced control of track-etch pore morphology". Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B. 179 ( 1): 55–62. Bibcode :2001NIMPB.179...55A. doi :10.1016/S0168-583X(00)00691-1.{{cite journal}}: CS1 maint: multiple names: authors list (link)
  35. ^ LCT Man; P. Apel; T. Cheung; L. Westerberg; KN Yu; C. Zet; R. Spohr (2007). «Влияние поверхностно-активного вещества на травление одиночных ионным треков. Подготовка и манипулирование отдельными цилиндрическими микропроводами». Ядерные приборы и методы в физических исследованиях, раздел B. 265 ( 2): 621–625. Bibcode : 2007NIMPB.265..621M. doi : 10.1016/j.nimb.2007.09.029.
  36. ^ "P. Apel, R. Spohr: Введение в ионное трековое травление в полимерах". Ion-tracks.de. Архивировано из оригинала 2012-04-26 . Получено 2013-01-21 .
  37. ^ PB Price; GM Comstock; RL Fleischer; WR Giard; HR Hart; GE Nichols (1971). «Тропы космических лучей в пластике: эксперимент по дозиметрии шлема Apollo». Science . 172 (3979): 154–157. Bibcode :1971Sci...172..154C. doi :10.1126/science.172.3979.154. PMID  17735223. S2CID  13108585.
  38. ^ См.: гальванопокрытие и гальванопокрытие.
  39. ^ M. Rauber; I. ​​Alber; S. Müller; R. Neumann; O. Picht; C. Roth; A. Schöckel; ME Toimil-Molares; W. Ensinger (2011). «Высокоупорядоченные безопорные трехмерные нанопроволочные сети с настраиваемой сложностью и межпроводной связью для интеграции устройств». Nano Letters . 11 (6): 2304–2310. Bibcode : 2011NanoL..11.2304R. doi : 10.1021/nl2005516. PMID  21608990.
  40. ^ M. Rauber; J. Brötz; J. Duan; J. Liu; S. Müller; R. Neumann; O. Picht; ME Toimil-Molares; W. Ensinger (2010). «Сегментированные полностью платиновые нанопроволоки с контролируемой морфологией посредством манипулирования локальным распределением электролита в жидкостных наноканалах во время электроосаждения». Журнал физической химии C. 114 ( 51): 22502–22507. doi :10.1021/jp108889c.
  41. ^ "Ion track companies". Physicsconsult.de. 2011-07-04 . Получено 2013-01-21 .
  42. ^ Бек, RE; Шульц, JS (1970-12-18). «Затрудненная диффузия в микропористых мембранах с известной геометрией пор». Science . 170 (3964): 1302–1305. Bibcode :1970Sci...170.1302B. doi :10.1126/science.170.3964.1302. ISSN  0036-8075. PMID  17829429. S2CID  43124555.
  43. ^ Бек, Роберт Э.; Шульц, Джером С. (январь 1972 г.). «Препятствие диффузии растворенных веществ внутри мембран, измеренное с помощью микропористых мембран с известной геометрией пор». Biochimica et Biophysica Acta (BBA) - Биомембраны . 255 (1): 273–303. doi :10.1016/0005-2736(72)90028-4. hdl : 2027.42/34175 . PMID  4334681.
  44. ^ A. Wolf; N. Reber; P. Yu. Apel; BE Fischer; R. Spohr (1995). "Перенос электролитов в заряженных капиллярах с одиночными ионными дорожками". Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 105 ( 1–4): 291–293. Bibcode :1995NIMPB.105..291W. doi :10.1016/0168-583X(95)00577-3.
  45. ^ PY Apel, YE Korchev, Z. Siwy, Z.; R. Spohr, M. Yoshida (2001). «Диодоподобная одноионная трековая мембрана, приготовленная с помощью электроторможения». Ядерные приборы и методы в исследованиях физики B. 184 ( 3): 337–346. Bibcode : 2001NIMPB.184..337A. doi : 10.1016/S0168-583X(01)00722-4.{{cite journal}}: CS1 maint: multiple names: authors list (link)
  46. ^ P. Ramirez; P.Yu. Apel; J. Cervera; S. Mafe (2008). "Структура пор и функция синтетических нанопор с фиксированными зарядами: форма кончика и свойства выпрямления". Нанотехнология . 19 (31): 315707. Bibcode : 2008Nanot..19E5707R. doi : 10.1088/0957-4484/19/31/315707. PMID  21828799. S2CID  43193256.
  47. ^ M. Tamada; M. Yoshida; M. Asano; H. Omichi; R. Katakai; R. Spohr; J. Vetter (1992). "Термоотклик пор ионных треков в сополимерных пленках метакрилоил-L-аланинметилэфира и диэтиленгликоль-бис-аллилкарбоната (CR-39)". Polymer . 33 (15): 3169–3172. doi :10.1016/0032-3861(92)90230-T.
  48. ^ LT Sexton; LP Horne; CR Martin (2007). «Разработка синтетических конических нанопор для биосенсорных приложений». Molecular BioSystems . 3 (10): 667–685. doi :10.1039/b708725j. PMID  17882330.
  49. ^ F. Maurer; A. Dangwal; D. Lysenkov; G. Müller; ME Toimil-Molares; C. Trautmann; J. Brötz; H. Fuess (2006). «Полевая эмиссия медных нанопроводов, выращенных в полимерных ионно-трековых мембранах». Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 245 ( 1): 337–341. Bibcode :2006NIMPB.245..337M. doi :10.1016/j.nimb.2005.11.124.
  50. ^ Л. Пиро; Дж. М. Джордж; Ж. Ф. Депре; К. Лерой; Э. Ферейн; Р. Легра; К. Унаджела; А. Ферт (1994). «Гигантское магнитосопротивление в магнитных многослойных нанопроводах». Письма по прикладной физике . 65 (19): 2484–2486. Бибкод : 1994ApPhL..65.2484P. дои : 10.1063/1.112672.
  51. ^ B. Doudin; JP Ansermet (1997). «Наноструктурные материалы для спиновой электроники». Europhysics News . 28 (1): 14–17. Bibcode : 1997ENews..28...14D. doi : 10.1007/s00770-997-0014-8 . S2CID  123078833.
  52. ^ "Преобразование вибрации в трансляцию" . Получено 21.01.2013 .

Внешние ссылки