stringtranslate.com

Вакуумный насос

Воздуходувка Рутса является одним из примеров вакуумного насоса.

Вакуумный насос — это тип насосного устройства, которое всасывает частицы газа из герметичного объема , чтобы оставить после себя частичный вакуум . Первый вакуумный насос был изобретен в 1650 году Отто фон Герике , и ему предшествовал всасывающий насос, который датируется античностью. [1]

История

Ранние насосы

Предшественником вакуумного насоса был всасывающий насос. Всасывающие насосы двойного действия были найдены в городе Помпеи . [ 2] Арабский инженер Аль-Джазари позже описал всасывающие насосы двойного действия как часть водоподъемных машин в 13 веке. Он также сказал, что всасывающий насос использовался в сифонах для выпуска греческого огня . [3] Всасывающий насос позже появился в средневековой Европе с 15 века. [3] [4] [5]

Студентка Смольного института Екатерина Молчанова с вакуумным насосом, Дмитрий Левицкий , 1776 г.

К XVII веку конструкции водяных насосов усовершенствовались до такой степени, что они производили измеримый вакуум, но это не было сразу понято. Было известно, что всасывающие насосы не могли вытягивать воду выше определенной высоты: 18 флорентийских ярдов согласно измерению, проведенному около 1635 года, или около 34 футов (10 м). [6] Этот предел был проблемой в ирригационных проектах, осушении шахт и декоративных фонтанах, запланированных герцогом Тосканским , поэтому герцог поручил Галилео Галилею исследовать эту проблему. Галилей ошибочно предположил в своих «Двух новых науках» (1638), что колонна водяного насоса сломается под собственным весом, когда вода поднимется на высоту 34 футов. [6] Другие ученые приняли вызов, включая Гаспаро Берти , который воспроизвел его, построив первый водяной барометр в Риме в 1639 году. [7] Барометр Берти создавал вакуум над водяным столбом, но он не мог этого объяснить. Прорыв был совершен учеником Галилея Эванджелистой Торричелли в 1643 году. Опираясь на заметки Галилея, он построил первый ртутный барометр и написал убедительное утверждение, что пространство наверху было вакуумом. Высота столба была тогда ограничена максимальным весом, который могло выдержать атмосферное давление; это предельная высота всасывающего насоса. [8]

В 1650 году Отто фон Герике изобрел первый вакуумный насос. [9] Четыре года спустя он провел свой знаменитый эксперимент с магдебургскими полушариями , показав, что упряжки лошадей не могут разделить два полушария, из которых был откачан воздух. Роберт Бойль усовершенствовал конструкцию Герике и провел эксперименты по свойствам вакуума. Роберт Гук также помог Бойлю создать воздушный насос, который помог создать вакуум.

К 1709 году Фрэнсис Хоуксби усовершенствовал конструкцию еще больше, создав двухцилиндровый насос, в котором два поршня работали через конструкцию реечной передачи, которая, как сообщается, «давала вакуум в пределах одного дюйма ртутного столба от идеального». [10] Эта конструкция оставалась популярной и лишь немного изменялась вплоть до девятнадцатого века. [10]

19 век

Вакуумный аппарат Теслы, опубликованный в 1892 году

Генрих Гейсслер изобрел ртутный насос вытеснения в 1855 году [10] и достиг рекордного вакуума около 10 Па (0,1 Торр ). На этом уровне вакуума стали наблюдаться некоторые электрические свойства, и это возобновило интерес к вакууму. Это, в свою очередь, привело к разработке вакуумной трубки . [11] Насос Шпренгеля был широко используемым производителем вакуума того времени. [10]

20 век

В начале 20 века было изобретено много типов вакуумных насосов, включая молекулярный насос , [10] диффузионный насос , [12] и турбомолекулярный насос . [13]

Типы

Насосы можно в целом классифицировать по трем методам: прямое вытеснение, передача импульса и захват. [14] [15] [16] Прямое вытеснение насосов использует механизм для многократного расширения полости, позволяет газам поступать из камеры, герметизирует полость и выпускает ее в атмосферу. Насосы передачи импульса, также называемые молекулярными насосами, используют высокоскоростные струи плотной жидкости или высокоскоростные вращающиеся лопасти для выбивания молекул газа из камеры. Улавливающие насосы захватывают газы в твердом или адсорбированном состоянии; сюда входят крионасосы , геттеры и ионные насосы . [14] [15]

Насосы прямого вытеснения наиболее эффективны для низкого вакуума. Насосы прямого вытеснения в сочетании с одним или двумя насосами прямого вытеснения являются наиболее распространенной конфигурацией, используемой для достижения высокого вакуума. В этой конфигурации насос прямого вытеснения служит двум целям. Во-первых, он получает грубый вакуум в откачиваемом сосуде, прежде чем насос прямого вытеснения может быть использован для получения высокого вакуума, поскольку насос прямого вытеснения не может начать откачку при атмосферном давлении. Во-вторых, насос прямого вытеснения поддерживает насос прямого вытеснения, откачивая до низкого вакуума накопление перемещенных молекул в насосе прямого вакуума. Улавливающие насосы могут быть добавлены для достижения сверхвысокого вакуума, но они требуют периодической регенерации поверхностей, которые улавливают молекулы воздуха или ионы. Из-за этого требования их доступное время работы может быть неприемлемо коротким в низком и высоком вакууме, что ограничивает их использование сверхвысоким вакуумом. Насосы также различаются по таким параметрам, как допуски на изготовление, уплотнительный материал, давление, расход, допуск или не допуск паров масла, интервалы обслуживания, надежность, устойчивость к пыли, устойчивость к химикатам, устойчивость к жидкостям и вибрации. [14] [15] [16]

Насос объемного вытеснения

Ручной водяной насос поднимает воду из колодца, создавая вакуум, который вода устремляется заполнять. В некотором смысле, он действует как откачка колодца, хотя высокая скорость утечки грязи не позволяет поддерживать высококачественный вакуум в течение длительного времени.
Механизм спирального насоса

Частичный вакуум может быть создан путем увеличения объема контейнера. Чтобы продолжать вакуумирование камеры бесконечно, не требуя бесконечного роста, отсек вакуума может быть многократно закрыт, опустошен и снова расширен. Это принцип, лежащий в основе насоса прямого вытеснения , например, ручного водяного насоса. Внутри насоса механизм расширяет небольшую герметичную полость, чтобы снизить ее давление ниже атмосферного. Из-за перепада давления часть жидкости из камеры (или скважины, в нашем примере) выталкивается в небольшую полость насоса. Затем полость насоса герметично закрывается от камеры, открывается в атмосферу и сжимается обратно до крошечного размера. [14] [16]

Для большинства промышленных применений используются более сложные системы, но основной принцип циклического удаления объема тот же: [17] [18]

Базовое давление поршневой насосной системы с резиновым и пластиковым уплотнением обычно составляет от 1 до 50 кПа, в то время как спиральный насос может достигать 10 Па (если он новый), а роторный масляный насос с чистой и пустой металлической камерой может легко достичь 0,1 Па.

Вакуумный насос объемного вытеснения перемещает один и тот же объем газа за каждый цикл, поэтому его скорость откачки постоянна, если только она не преодолевается обратным потоком.

Насос передачи импульса

Разрез турбомолекулярного насоса высокого вакуума.

В насосе передачи импульса (или кинетическом насосе [16] ) молекулы газа ускоряются от вакуумной стороны к выпускной стороне (которая обычно поддерживается при пониженном давлении с помощью насоса прямого вытеснения). Перекачка импульса возможна только при давлениях ниже примерно 0,1 кПа. Материя течет по-разному при разных давлениях на основе законов гидродинамики . При атмосферном давлении и умеренном вакууме молекулы взаимодействуют друг с другом и толкают соседние молекулы в так называемом вязком потоке. Когда расстояние между молекулами увеличивается, молекулы взаимодействуют со стенками камеры чаще, чем с другими молекулами, и молекулярная перекачка становится более эффективной, чем перекачка прямого вытеснения. Этот режим обычно называется высоким вакуумом. [14] [16]

Молекулярные насосы выметают большую площадь, чем механические насосы, и делают это чаще, что делает их способными к гораздо более высоким скоростям откачки. Они делают это за счет уплотнения между вакуумом и их выпуском. Поскольку уплотнения нет, небольшое давление на выпуске может легко вызвать обратный поток через насос; это называется срывом. Однако в высоком вакууме градиенты давления оказывают незначительное влияние на потоки жидкости, и молекулярные насосы могут раскрыть свой полный потенциал.

Два основных типа молекулярных насосов — это диффузионный насос и турбомолекулярный насос . Оба типа насосов выдувают молекулы газа, которые диффундируют в насос, сообщая импульс молекулам газа. Диффузионные насосы выдувают молекулы газа струями масла или паров ртути, в то время как турбомолекулярные насосы используют высокоскоростные вентиляторы для проталкивания газа. Оба этих насоса остановятся и не смогут качать, если будут выкачаны напрямую до атмосферного давления, поэтому их необходимо выкачивать до более низкого уровня вакуума, создаваемого механическим насосом, в данном случае называемым форвакуумным насосом. [16]

Как и в случае с объемными насосами, базовое давление будет достигнуто, когда утечка, выделение газа и обратный поток будут равны скорости насоса, но теперь минимизировать утечку и выделение газа до уровня, сопоставимого с обратным потоком, становится гораздо сложнее.

Насос улавливания

Насос захвата может быть крионасосом , который использует низкие температуры для конденсации газов в твердое или адсорбированное состояние, химическим насосом, который реагирует с газами для получения твердого остатка, или ионным насосом , который использует сильные электрические поля для ионизации газов и продвижения ионов в твердый субстрат. Криомодуль использует крионасос. Другие типы — сорбционный насос , неиспарительный геттерный насос и титановый сублимационный насос (тип испаряющегося геттера, который можно использовать многократно). [14] [15]

Другие типы

Регенеративный насос

Регенеративные насосы используют вихревое поведение жидкости (воздуха). Конструкция основана на гибридной концепции центробежного насоса и турбонасоса. Обычно он состоит из нескольких наборов перпендикулярных зубцов на роторе, циркулирующих молекулы воздуха внутри неподвижных полых канавок, как многоступенчатый центробежный насос. Они могут достигать 1×10−5 мбар (0,001 Па) (при объединении с насосом Holweck) и напрямую выходить в атмосферное давление. Примерами таких насосов являются Edwards EPX [19] (техническая статья [20] ) и Pfeiffer OnTool™ Booster 150. [21] Иногда его называют насосом с боковым каналом. Благодаря высокой скорости откачки из атмосферы в высокий вакуум и меньшему загрязнению, поскольку подшипник может быть установлен на стороне выхлопа, этот тип насосов используется в замке нагрузки в процессах производства полупроводников.

Этот тип насоса страдает от высокого энергопотребления (~1 кВт) по сравнению с турбомолекулярным насосом (<100 Вт) при низком давлении, поскольку большая часть мощности потребляется для поддержания атмосферного давления. Это можно уменьшить почти в 10 раз, используя резервный насос небольшого размера. [22]

Еще примеры

Дополнительные типы насосов включают:

Показатели эффективности

Скорость откачки относится к объемному расходу насоса на его входе, часто измеряемому в единице объема времени. Насосы передачи импульса и улавливания более эффективны для некоторых газов, чем для других, поэтому скорость откачки может быть разной для каждого из откачиваемых газов, а средний объемный расход насоса будет меняться в зависимости от химического состава газов, остающихся в камере. [23]

Пропускная способность относится к скорости откачки, умноженной на давление газа на входе, и измеряется в единицах давление·объем/единица времени. При постоянной температуре пропускная способность пропорциональна количеству молекул, перекачиваемых за единицу времени, и, следовательно, массовому расходу насоса. При обсуждении утечки в системе или обратного потока через насос пропускная способность относится к объемной скорости утечки, умноженной на давление на вакуумной стороне утечки, поэтому пропускную способность утечки можно сравнить с пропускной способностью насоса. [23]

Насосы с положительным вытеснением и передачей импульса имеют постоянную объемную скорость потока (скорость откачки), но по мере падения давления в камере этот объем содержит все меньше и меньше массы. Таким образом, хотя скорость откачки остается постоянной, пропускная способность и массовый расход падают экспоненциально. Между тем, скорости утечки, испарения , сублимации и обратного потока продолжают обеспечивать постоянную пропускную способность в системе. [23]

Методы

Вакуумные насосы объединяются с камерами и рабочими процедурами в самые разные вакуумные системы. Иногда в одном приложении будет использоваться более одного насоса (последовательно или параллельно ) . Частичный вакуум, или грубый вакуум, может быть создан с помощью насоса прямого вытеснения, который транспортирует газовую нагрузку от впускного отверстия к выпускному (выхлопному) отверстию. Из-за своих механических ограничений такие насосы могут достигать только низкого вакуума. Для достижения более высокого вакуума затем должны использоваться другие методы, как правило, последовательно (обычно после первоначальной быстрой откачки с помощью насоса прямого вытеснения). Некоторые примеры могут быть использованием масляного уплотненного пластинчато-роторного насоса (наиболее распространенного насоса прямого вытеснения), поддерживающего диффузионный насос, или сухого спирального насоса, поддерживающего турбомолекулярный насос. Существуют и другие комбинации в зависимости от уровня искомого вакуума.

Достижение высокого вакуума затруднено, поскольку все материалы, подвергающиеся воздействию вакуума, должны быть тщательно оценены на предмет их свойств дегазации и давления паров . Например, масла, смазки и резиновые или пластиковые прокладки, используемые в качестве уплотнителей для вакуумной камеры, не должны испаряться при воздействии вакуума, иначе выделяемые ими газы будут препятствовать созданию желаемой степени вакуума. Часто все поверхности, подвергающиеся воздействию вакуума, должны быть подвергнуты обжигу при высокой температуре для удаления адсорбированных газов. [24]

Выделение газа также можно уменьшить просто путем осушки перед вакуумной откачкой. [24] Высоковакуумные системы обычно требуют металлических камер с металлическими прокладками, такими как фланцы Кляйна или фланцы ISO, а не резиновыми прокладками, более распространенными в уплотнениях низковакуумных камер. [25] Система должна быть чистой и свободной от органических веществ, чтобы свести к минимуму выделение газа. Все материалы, твердые или жидкие, имеют небольшое давление паров, и их выделение газа становится важным, когда давление вакуума падает ниже этого давления паров. В результате многие материалы, которые хорошо работают в низком вакууме, такие как эпоксидная смола , станут источником выделения газа при более высоком вакууме. При этих стандартных мерах предосторожности вакуум в 1 мПа легко достигается с помощью ассортимента молекулярных насосов. При тщательном проектировании и эксплуатации возможен 1 мкПа. [ необходима цитата ]

Несколько типов насосов могут использоваться последовательно или параллельно. В типичной последовательности откачки насос прямого вытеснения будет использоваться для удаления большей части газа из камеры, начиная с атмосферного (760 Торр , 101 кПа) до 25 Торр (3 кПа). Затем будет использоваться сорбционный насос для снижения давления до 10−4 Торр (10 мПа). Крионасос или турбомолекулярный насос будет использоваться для дальнейшего снижения давления до 10−8 Торр (1 мкПа). Дополнительный ионный насос может быть запущен ниже 10−6 Торр для удаления газов, которые не обрабатываются должным образом крионасосом или турбонасосом, такими как гелий или водород . [ необходима цитата ]

Сверхвысокий вакуум обычно требует изготовленного на заказ оборудования, строгих рабочих процедур и изрядного количества проб и ошибок. Сверхвысоковакуумные системы обычно изготавливаются из нержавеющей стали с вакуумными фланцами с металлическими прокладками . Система обычно запекается, предпочтительно в вакууме, чтобы временно повысить давление паров всех выделяющих газ материалов в системе и выпарить их. При необходимости, эта дегазация системы может также выполняться при комнатной температуре, но это занимает гораздо больше времени. После того, как основная часть выделяющих газ материалов выкипит и будет откачана, система может быть охлаждена для снижения давления паров, чтобы минимизировать остаточное выделение газа во время фактической работы. Некоторые системы охлаждаются значительно ниже комнатной температуры жидким азотом , чтобы остановить остаточное выделение газа и одновременно криооткачивать систему. [26]

В системах сверхвысокого вакуума необходимо учитывать некоторые очень странные пути утечки и источники газовыделения. Водопоглощение алюминия и палладия становится неприемлемым источником газовыделения, и даже поглощающая способность твердых металлов, таких как нержавеющая сталь или титан, должна быть принята во внимание. Некоторые масла и смазки будут испаряться в экстремальных вакуумах. Возможно, придется учитывать пористость металлических стенок вакуумной камеры , а направление волокон металлических фланцев должно быть параллельным поверхности фланца. [26]

Необходимо учитывать влияние размера молекул. Более мелкие молекулы могут легче просачиваться и легче поглощаться определенными материалами, а молекулярные насосы менее эффективны при откачке газов с более низким молекулярным весом. Система может быть способна откачивать азот (основной компонент воздуха) до желаемого вакуума, но камера все еще может быть заполнена остаточным атмосферным водородом и гелием. Сосуды, облицованные высокогазопроницаемым материалом, таким как палладий (который является высокопроизводительной водородной губкой), создают особые проблемы с дегазацией. [26]

Приложения

Вакуумные насосы используются во многих промышленных и научных процессах, в том числе:

В области регенерации и повторной очистки масла вакуумные насосы создают низкий вакуум для обезвоживания масла и высокий вакуум для очистки масла. [44]

Вакуум может использоваться для питания или оказания помощи механическим устройствам. В гибридных и дизельных двигателях автомобилей насос, установленный на двигателе (обычно на распределительном валу ), используется для создания вакуума. В бензиновых двигателях , вместо этого, вакуум, как правило, получается как побочный эффект работы двигателя и ограничения потока, создаваемого дроссельной заслонкой, но может также дополняться электрическим вакуумным насосом для усиления помощи при торможении или улучшения расхода топлива. Этот вакуум затем может использоваться для питания следующих компонентов автомобиля: [45] вакуумный сервоусилитель для гидравлических тормозов , двигатели, которые перемещают заслонки в системе вентиляции, привод дроссельной заслонки в сервомеханизме круиз-контроля , дверные замки или открывания багажника.

В самолете источник вакуума часто используется для питания гироскопов в различных летных приборах . Чтобы предотвратить полную потерю приборов в случае отказа электрооборудования , приборная панель намеренно спроектирована с определенными приборами, работающими от электричества, и другими приборами, работающими от источника вакуума.

В зависимости от области применения некоторые вакуумные насосы могут иметь электрический привод (использующий электрический ток ) или пневматический привод (использующий давление воздуха ), или приводиться в действие и приводиться в действие другими способами . [46] [47] [48] [49]

Опасности

Старые масла для вакуумных насосов, которые были произведены до 1980 года, часто содержат смесь нескольких различных опасных полихлорированных бифенилов (ПХБ) , которые являются высокотоксичными , канцерогенными , стойкими органическими загрязнителями . [50] [51]

Смотрите также

Ссылки

  1. ^ Крафт, Фриц (2013). Отто фон Герикес Neue (Sogenannte) Magdeburger Versuche über den Leeren Raum (на немецком языке). Спрингер-Верлаг. п. 55. ИСБН 978-3-662-00949-9.
  2. ^ "Помпеи: Технология: Рабочие модели: IMSS".
  3. ^ ab Дональд Рутледж Хилл (1996), История инженерии в классические и средневековые времена , Рутледж , стр. 143 и 150-2
  4. ↑ Дональд Рутледж Хилл , «Машиностроение на средневековом Ближнем Востоке», Scientific American , май 1991 г., стр. 64-69 ( см. Дональд Рутледж Хилл , Машиностроение)
  5. ^ Ахмад Й Хассан . "Происхождение всасывающего насоса: Аль-Джазари 1206 г. н. э.". Архивировано из оригинала 26 февраля 2008 г. Получено 16 июля 2008 г.
  6. ^ ab Gillispie, Charles Coulston (1960). Грань объективности: эссе по истории научных идей. Принстон, Нью-Джерси: Princeton University Press. стр. 99–100. ISBN 0-691-02350-6.
  7. ^ "Самый большой барометр в мире". Архивировано из оригинала 2008-02-16 . Получено 2008-04-30 .
  8. ^ Калверт 2000, «Максимальная высота, на которую может быть поднята вода всасывающим насосом».
  9. ^ Харш, Виктор (ноябрь 2007 г.). «Отто фон Герике (1602–1686) и его новаторские эксперименты с вакуумом». Авиационная, космическая и экологическая медицина . 78 (11): 1075–1077. дои : 10.3357/asem.2159.2007. ISSN  0095-6562. ПМИД  18018443.
  10. ^ abcdef da C. Andrade, EN (1953). «История вакуумного насоса». Вакуум . 9 (1): 41–47. doi :10.1016/0042-207X(59)90555-X.
  11. ^ Окамура, С., изд. (1994). История электронных ламп. Токио: Омша. стр. 7–11. ISBN 90-5199-145-2. OCLC  30995577.
  12. ^ Дейтон, BB (1994). «История развития термоядерных насосов». В Redhead, PA (ред.). Вакуумная наука и технология: пионеры 20-го века: история вакуумной науки и технологии, том 2. Нью-Йорк, Нью-Йорк: AIP Press для Американского вакуумного общества. С. 107–13. ISBN 1-56396-248-9. OCLC  28587335.
  13. ^ Redhead, PA, ред. (1994). Вакуумная наука и технология: пионеры 20-го века: история вакуумной науки и технологии, том 2. Нью-Йорк, Нью-Йорк: AIP Press для Американского вакуумного общества. стр. 96. ISBN 1-56396-248-9. OCLC  28587335.
  14. ^ abcdef Ван Атта, CM; М. Хабланиан (1991). «Вакуум и вакуумная технология». В Rita G. Lerner ; George L. Trigg (ред.). Энциклопедия физики (второе изд.). VCH Publishers Inc. стр. 1330–1333. ISBN 978-3-527-26954-9.
  15. ^ abcd Ван дер Хайде, Пол (2014). Вторичная ионная масс-спектрометрия: введение в принципы и практику. Хобокен, Нью-Джерси. С. 253–7. ISBN 978-1-118-91677-3. OCLC  879329842.{{cite book}}: CS1 maint: отсутствует местоположение издателя ( ссылка )
  16. ^ abcdef Halliday, BS (1998). "Глава 3: Насосы". В Chambers, A. (ред.). Основы вакуумной технологии . RK Fitch, BS Halliday (2-е изд.). Бристоль: Institute of Physics Pub. ISBN 0-585-25491-5. OCLC  45727687.
  17. ^ Ekenes, Rolf N. (2009). Справочник по южному морскому машиностроению. Соединенные Штаты: Xlibris Corp., стр. 139–40. ISBN 978-1-4415-2022-7. OCLC  757731951.
  18. ^ Coker, A. Kayode (2007). Прикладное проектирование процессов Людвига для химических и нефтехимических заводов. Том 1. Ernest E. Ludwig (4-е изд.). Амстердам: Elsevier Gulf Professional. стр. 562. ISBN 978-0-08-046970-6. OCLC  86068934.
  19. ^ "EPX on-tool High Vacuum Pumps". Архивировано из оригинала 20.02.2013 . Получено 16.01.2013 .
  20. ^ "Edwards - Edwards Vacuum" (PDF) . 15 сентября 2013 г. Архивировано из оригинала (PDF) 15 сентября 2013 г.
  21. ^ Pfeiffer Vacuum. "Насос с боковым каналом, вакуумный насос для высокого вакуума - Pfeiffer Vacuum". Pfeiffer Vacuum . Архивировано из оригинала 7 октября 2014 года . Получено 30 сентября 2022 года .
  22. ^ Ширинов, А.; Обербек, С. (2011). «Высоковакуумный насос с боковым каналом, работающий против атмосферы». Вакуум . 85 (12): 1174–1177. Bibcode :2011Vacuu..85.1174S. doi :10.1016/j.vacuum.2010.12.018.
  23. ^ abc Hablanian, MH (1997). "Глава 3: Поток жидкости и концепции накачки". Высоковакуумная технология: практическое руководство (2-е изд., перераб. и расширен. изд.). Нью-Йорк: Marcel Dekker. стр. 41–66. ISBN 0-585-13875-3. OCLC  44959885.
  24. ^ ab Hablanian, MH (1997). "Глава 4: Вакуумные системы". Высоковакуумная технология: практическое руководство (2-е изд.). Нью-Йорк: Marcel Dekker. стр. 77–136. ISBN 0-585-13875-3. OCLC  44959885.
  25. ^ РАО, В В. (2012). "Глава 5: Вакуумные материалы и компоненты". ВАКУУМНАЯ НАУКА И ТЕХНОЛОГИЯ. [Sl]: ALLIED PUBLISHERS PVT LTD. стр. 110–48. ISBN 978-81-7023-763-1. OCLC  1175913128.
  26. ^ abc Weston, GF (1985). Практика сверхвысокого вакуума. Лондон: Butterworths. ISBN 978-1-4831-0332-7. OCLC  567406093.
  27. ^ Розато, Доминик В. (2000). Справочник по литью под давлением. Дональд В. Розато, Марлен Г. Розато (3-е изд.). Бостон, Массачусетс: Springer US. стр. 874. ISBN 978-1-4615-4597-2. OCLC  840285544.
  28. ^ Лессард, Филип А. (2000). «Сухие вакуумные насосы для полупроводниковых процессов: Руководство по выбору первичного насоса». Журнал «Вакуумная наука и технология» A: Вакуум, поверхности и пленки . 18 (4): 1777–1781. Bibcode : 2000JVSTA..18.1777L. doi : 10.1116/1.582423. ISSN  0734-2101.
  29. ^ Yoshimura, Nagamitsu (2020). Обзор: сверхвысоковакуумная технология для электронных микроскопов. Лондон. ISBN 978-0-12-819703-5. OCLC  1141514098.{{cite book}}: CS1 maint: отсутствует местоположение издателя ( ссылка )
  30. ^ Мюллер, Д. (19 июня 2020 г.). «Вакуумные технологии в медицинских приложениях». Vacuum Science World . Получено 30 сентября 2022 г.
  31. ^ Снайдер, Райан (2016-05-03). «Оценка распространения лазерной технологии обогащения урана третьего поколения». Наука и всеобщая безопасность . 24 (2): 68–91. Bibcode : 2016S&GS...24...68S. doi : 10.1080/08929882.2016.1184528 . ISSN  0892-9882. S2CID  37413408.
  32. ^ Ginzton, Edward L.; Nunan, Craig S. (1985). «История микроволновых линейных ускорителей электронов для радиотерапии». Международный журнал радиационной онкологии, биологии, физики . 11 (2): 205–216. doi :10.1016/0360-3016(85)90141-5. PMID  3918962.
  33. ^ Клемм, Денис; Хоффманн, Фолькер; Эдельманн, Кристиан (2009). «Управление анализаторами материалов типа GD-OES с помощью кривых откачки». Вакуум . 84 (2): 299–303. Bibcode :2009Vacuu..84..299K. doi :10.1016/j.vacuum.2009.06.058.
  34. ^ Гудвин, Д.; Кэмерон, А.; Рамсден, Дж. (2005). «Соображения относительно первичной вакуумной откачки в системах масс-спектрометрии». Спектроскопия . 20 (1). и др.
  35. ^ Mattox, DM (2003). Основы технологии вакуумного покрытия: [краткий обзор открытий, изобретений и людей, стоящих за вакуумным покрытием, в прошлом и настоящем]. Норвич, Нью-Йорк: Noyes Publications/William Andrew Pub. ISBN 978-0-8155-1925-6. OCLC  310215197.
  36. ^ Розанов, Л.Н. (4 апреля 2002 г.). Вакуумная техника (0-е изд.). ЦРК Пресс. дои : 10.1201/9781482288155. ISBN 978-1-4822-8815-5.
  37. ^ Номура, Такахиро; Окинака, Нориюки; Акияма, Томохиро (2009). «Пропитка пористого материала материалом с изменяемой фазой для хранения тепловой энергии». Химия и физика материалов . 115 (2–3): 846–850. doi :10.1016/j.matchemphys.2009.02.045.
  38. ^ Латтифф, Фаркад А.; Атия, Мохаммед А.; Аль-Хемири, Адель А. (2019). «Испытание адсорбционного солнечного кондиционирования воздуха с использованием вакуумных трубчатых коллекторов в климатических условиях Ирака». Возобновляемая энергия . 142 : 20–29. Bibcode : 2019REne..142...20L. doi : 10.1016/j.renene.2019.03.014. S2CID  116823643.
  39. ^ Джонсон, Джефф; Мартен, Адам; Теллез, Гильерно (2012-07-15). "Проект высокоэффективного пресса для отходов расплавленного пластика с высокой производительностью". 42-я Международная конференция по экологическим системам . Международная конференция по экологическим системам (ICES). Сан-Диего, Калифорния: Американский институт аэронавтики и астронавтики. doi :10.2514/6.2012-3544. ISBN 978-1-60086-934-1.
  40. ^ Берман, А. (1992). Расчеты, формулы и решенные упражнения в области вакуумной техники. Оксфорд: Elsevier Science. ISBN 978-0-323-14041-6. OCLC  829460307.
  41. ^ Батлер, Дэвид (2018). «Глава 14: Насосные системы». Городской дренаж. Крис Дигман, Христос Макропулос, Джон В. Дэвис (4-е изд.). Бока-Ратон, Флорида. С. 293–314. ISBN 978-1-4987-5059-2. OCLC  1004770084.{{cite book}}: CS1 maint: отсутствует местоположение издателя ( ссылка )
  42. ^ Хасли, Питер (2018). Сублимационная сушка. Георг-Вильгельм Этьен (3-е изд.). Вайнхайм, Германия. ISBN 978-3-527-80894-6. OCLC  1015682292.{{cite book}}: CS1 maint: отсутствует местоположение издателя ( ссылка )
  43. ^ Николас, Натан; Шаффер, Брайс (24 февраля 2020 г.). «Цельнометаллический спиральный вакуумный насос для систем обработки трития». Fusion Science and Technology . 76 (3): 366–372. Bibcode : 2020FuST...76..366N. doi : 10.1080/15361055.2020.1712988. S2CID  214329842. Получено 2 июня 2021 г.
  44. ^ Спейт, Джеймс; Эксалл, Дуглас (2014). Очистка отработанных смазочных масел . Бока-Ратон: CRC Press . ISBN 9781466551503.
  45. ^ "UP28 Universal Electric Vacuum Pump". Hella. Архивировано из оригинала 3 апреля 2014 года . Получено 14 июня 2013 года .
  46. ^ "Вакуумные насосы". Vacuum Knowledge . J. Schmalz GmbH . Получено 30 сентября 2022 г. .
  47. ^ "Вакуумные генераторы". Vacuum Knowledge . J. Schmalz GmbH . Получено 30 сентября 2022 г. .
  48. ^ "Как работает вакуумный насос". Arizona Pneumatic . Получено 30 сентября 2022 г.
  49. ^ Ботт, Д. «Внутри и снаружи вакуумных генераторов». Доктор Вакуум . Dan Bott Consulting LLC . Получено 30 сентября 2022 г.
  50. ^ Мартин Г. Бродхерст (октябрь 1972 г.). «Использование и заменяемость полихлорированных бифенилов». Environmental Health Perspectives . 2 : 81–102. doi :10.2307/3428101. JSTOR  3428101. PMC 1474898. PMID  4628855 . 
  51. ^ CJ McDonald & RE Tourangeau (1986). ПХБ: Руководство по вопросам и ответам относительно полихлорированных бифенилов. Правительство Канады: Министерство охраны окружающей среды Канады. ISBN 978-0-662-14595-0. Получено 2007-11-07 .

Библиография

Внешние ссылки

На Викискладе есть медиафайлы по теме «Вакуумные насосы» .