ASM (ранее известная как ASM International NV , первоначально расшифровывалась как Advanced Semiconductor Materials ) — голландская многонациональная корпорация со штаб-квартирой , которая специализируется на разработке, производстве, продаже и обслуживании оборудования для обработки полупроводниковых пластин для изготовления полупроводниковых устройств . Продукция ASM используется производителями полупроводников при предварительной обработке пластин на своих заводах по производству полупроводников . Технологии ASM включают атомно-слоевое осаждение , эпитаксию , химическое осаждение из паровой фазы и диффузию. [1]
Компания была основана Артуром дель Прадо (1931-2016) как «Передовые полупроводниковые материалы» в 1964 году. [2] С 2008 по 2020 год генеральным директором был сын Артура дель Прадо, Чак дель Прадо . Компания ASM стала пионером в важных аспектах многих признанных технологий обработки пластин, используемых в промышленности, включая литографию , осаждение , ионную имплантацию , эпитаксию одиночных пластин и, в последние годы, осаждение атомных слоев . Компании по производству полупроводникового оборудования ASML , ASM Pacific Technology (ASMPT) и Besi являются бывшими подразделениями ASM. [2] [3]
Штаб-квартира ASM находится в Алмере , Нидерланды . Компания имеет научно-исследовательские центры в Алмере (Нидерланды), Хельсинки (Финляндия), Левене (Бельгия, недалеко от IMEC ), Фениксе (Аризона), Таме (Япония) и Донгтане ( Южная Корея ). Производство в основном происходит в Сингапуре и Донтане ( Южная Корея ). ASM также имеет офисы продаж и обслуживания по всему миру, включая США , Южную Корею , Китай , Тайвань , Японию , Сингапур и Израиль . По состоянию на 2021 год в нем работает 3312 сотрудников в 14 странах. [1]
Акции компании котируются на бирже Euronext Amsterdam . В марте 2020 года ASM был переведен в индекс AEX . [4] ASM владеет миноритарной долей в ASM Pacific Technology , гонконгской компании, занимающейся сборкой, упаковкой и технологиями поверхностного монтажа полупроводников .
Для создания полупроводникового чипа выполняется множество отдельных этапов с использованием различных типов оборудования для обработки пластин , включая фотолитографическое нанесение рисунка, нанесение тонких слоев, травление для удаления материала, термическую обработку и другие этапы. Системы ASM предназначены для процессов осаждения, когда на пластину выращиваются или наносятся тонкие пленки или слои различных материалов. Наносится множество различных тонкопленочных слоев, чтобы завершить полную последовательность технологических этапов, необходимых для изготовления чипа.
Развитие технологий ASM обусловлено стремлением клиентов создавать более быстрые, дешевые и мощные полупроводниковые чипы с меньшим энергопотреблением. Эта цель приводит к необходимости уменьшать размеры компонентов на кристалле, стремясь удваивать количество компонентов на единицу площади чипа каждые два года ( закон Мура ). В рамках этого масштабирования размеров ASM поставляет своим клиентам – производителям микросхем – машины, которые наносят все более тонкие пленки полупроводниковых материалов. ASM также разрабатывает процессы осаждения новых материалов, которые будут использоваться в производстве полупроводников.
За последние 15 лет при производстве чипов было внедрено все больше новых материалов. [5] Эти новые материалы были необходимы для достижения необходимого улучшения производительности чипов, как это предусмотрено законом Мура. Например, в 2007 году в транзисторе MOSFET диэлектрик из оксида кремния был заменен на материал с высоким κ , который имеет более высокое электрическое сопротивление, чем оксид кремния. В данном конкретном случае компания ASM стала пионером в области химического процесса и нового метода осаждения, называемого атомно-слоевым осаждением, в течение почти десяти лет исследований и разработок. [6] [7] Кроме того, требуются все более точные методы осаждения компонентов на чипе, таких как транзисторы, переведенные из плоских в трехмерные структуры , как FinFET в последнее десятилетие. [8] ASM занимает лидирующие позиции в области осаждения атомно-слоевого слоя одной пластины (ALD). [7]
ASM предлагает ряд методов и сопутствующих машин для нанесения тонких пленок материалов. Компания старается максимально расширить сферу применения своих технологий и машин для осаждения. [9] НИОКР имеют решающее значение в этих усилиях. В 2021 году компания потратила на исследования и разработки 151 миллион евро (или 9% годовой выручки). [1] Деятельность в области исследований и разработок простирается от фундаментальных исследований новых материалов до применения новых материалов в производстве микросхем.
Компания ASM разрабатывает и продает как инструменты для осаждения одной пластины, в которых процесс выполняется по одной пластине за раз, так и так называемые инструменты периодического действия , в которых осаждение выполняется на нескольких пластинах одновременно. Цены на системы компании различаются, но обычно кратны миллионам евро за систему. По методу осаждения продукцию ASM можно разделить на следующие категории:
Атомно-слоевое осаждение — это послойное осаждение тонких пленок по одному атомному слою за раз строго контролируемым образом. Слои формируются в ходе реакционных циклов путем попеременной подачи прекурсоров и реагентов и продувки инертным газом между каждым импульсом. ASM предлагает инструменты ALD для одной пластины в двух технологических сегментах: термический ALD и плазменный ALD (PEALD). Инструменты ALD ASM включают Synergis, Pulsar и EmerALD. Инструменты PEALD включают Eagle XP8 и XP8 QCM. [1]
Эпитаксия — это процесс, который используется для нанесения точно контролируемых слоев на основе кристаллического кремния, которые важны для электрических свойств полупроводниковых устройств. Процесс эпитаксии кремния можно использовать для изменения электрических характеристик поверхности пластины для создания высокопроизводительных транзисторов при производстве полупроводниковых чипов. Инструменты для эпитаксии ASM представляют собой инструменты для одной пластины и включают Intrepid и Epsilon. [1]
Химическое осаждение из паровой фазы — это процесс химического осаждения, при котором пластина подвергается воздействию одного или нескольких летучих предшественников, которые реагируют и/или разлагаются на поверхности подложки с образованием желаемой пленки. В рамках химического осаждения из паровой фазы (CVD) компания ASM предлагает два типа инструментов: CVD с плазменным усилением на одной пластине (PECVD) и периодическое CVD низкого давления (LPCVD). ASM обеспечивает процессы PECVD для одной пластины в инструменте Dragon XP8. Компания ASM обеспечивает периодические процессы LPCVD/диффузии на вертикальной печи A400 DUO и новейших инструментах Sonora. [1]
1960-е : В 1964 году Артур дель Прадо основывает компанию ASM как компанию «Передовые полупроводниковые материалы» в Билтховене, Нидерланды. [10] Первоначально компания работала в качестве агента по продажам технологий производства полупроводников в Европе. В 1968 году компания была официально зарегистрирована как частная компания с ограниченной ответственностью.
1970-е : ASM начинает проектировать, производить и продавать оборудование для химического осаждения из паровой фазы . [9] В 1974 году компания приобретает Fico Toolings, голландского производителя полупроводниковых форм . Офис продаж ASM Asia в Гонконге , ныне известный и продаваемый как ASM Pacific Technology, основан в 1975 году. ASM America основана в Финиксе, штат Аризона , в 1976 году. Продажа горизонтальных печей химического осаждения из паровой фазы с плазменным усилением ASM стимулирует рост компании.
1980-е : После первичного публичного размещения акций на Nasdaq в мае 1981 года компания расширяется. В 1982 году основана компания ASM Japan. [2] ASM инвестирует в новые технологии производства полупроводников, такие как литография, ионная имплантация, эпитаксия и сварка проводов . В 1988 году компания продает ASML Holding NV , ASM Ion Implant и в 1989 году регистрирует свою деятельность в Гонконге как ASM Pacific Technology на Гонконгской фондовой бирже .
1990-е : В период с 1991 по 1994 год компания проводит полную реорганизацию. [3] В 1993 году ASM продает ASM Fico холдингу Berliner Electro Holding, ныне известному как Besi . ASM специализируется на вертикальных печах химического осаждения из паровой фазы низкого давления от ASM Europe, химическом осаждении из паровой фазы с плазмой одной пластины от ASM Japan и эпитаксии одиночных пластин от ASM America. С 1996 года компания также котируется на бирже Euronext в Амстердаме . ASM сохраняет за собой контрольный пакет акций ASM Pacific Technology.
2000-е : ASM снова расширяется за счет инвестиций в технологию 300-мм пластин и осаждение атомных слоев . В 2007 году компания успешно перенесла атомно-слоевое осаждение из исследований и разработок в крупносерийное производство с помощью применения металлических затворов с высоким κ . [7] В то же время хедж-фонды ставят под сомнение долю компании в ASM Pacific Technology. [11] В 2008 году на посту генерального директора Артура дель Прадо сменил его сын Чак дель Прадо. [10] В 2009 году штаб-квартира переезжает из Билтховена в Алмере , Нидерланды .
2010-е : Компания возвращается к структурной прибыльности после выполнения всемирной программы реструктуризации, которая включает в себя создание организации, ориентированной на продукцию, единой глобальной организации продаж, консолидацию производства в Сингапуре и создание глобальной системы управления персоналом , финансами и ИТ. , операционное совершенство и организация окружающей среды, здоровья и безопасности . Применение осаждения атомных слоев (с плазменным усилением) для создания множественных рисунков и металлических затворов с высоким κ стимулирует рост ASM. [6] [7] Другие продукты включают эпитаксии, PECVD и вертикальные печи. Ее доля в ASM Pacific Technology снижается до 25%.
2020-е : В 2020 году на Euronext компания включена в индекс AEX . в который входят топ-25 компаний, котирующихся на фондовой бирже Euronext Amsterdam. [4] В том же году, после 12 лет работы на посту генерального директора, Чак дель Прадо решил уйти в отставку, и его место занял Бенджамин Ло. В период с 2020 по 2022 год компания ASM обновила линейку продукции вертикальных печей A400DUO (пластины 200 мм) и Sonora (пластины 300 мм).
ASM продает свое оборудование производителям полупроводников по всему миру, при этом большая часть доходов поступает от азиатских клиентов. В 2021 году 1,41 млрд евро из общей выручки в 1,73 млрд евро было получено за счет продажи оборудования, остальная часть пришлась на запасные части и сервисное обслуживание.
Акции ASM торгуются на бирже Euronext с 1996 года. С марта 2020 года ASM включена в индекс AEX . [4] Рыночная капитализация ASM Pacific Technology больше не консолидируется после того, как доля ASM в ASM Pacific Technology снизилась до 25 процентов в 2013 году. В период с 1981 по 2015 год компания ASM также котировалась на Nasdaq .
В 2018 году средняя цена акций составила 48,62 евро, в результате чего средняя рыночная капитализация составила 2,53 миллиарда евро. В 2019 году средняя цена закрытия составила 68,98 евро, в результате чего средняя рыночная капитализация составила 3,38 миллиарда евро. [12] Рыночная капитализация на конец 2021 года составила 18,88 млрд евро, исходя из цены акций на момент закрытия торгов на Euronext Amsterdam 31 декабря 2021 года в 388,70 евро.
