Вакуумная камера алюминирования в обсерватории Мон-Мегантик, используемая для повторного покрытия зеркал телескопа. [1]
Вакуумное осаждение — это группа процессов, используемых для нанесения слоев материала атом за атомом или молекула за молекулой на твердую поверхность. Эти процессы происходят при давлениях значительно ниже атмосферного давления (т.е. вакууме ). Осажденные слои могут иметь толщину от одного атома до миллиметров, образуя автономные структуры. Можно использовать несколько слоев различных материалов, например, для формирования оптических покрытий . Процесс можно оценить по источнику пара; При физическом осаждении из паровой фазы используется жидкий или твердый источник, а при химическом осаждении из паровой фазы используется химический пар. [2]
Описание
Вакуумная среда может служить одной или нескольким целям:
При реактивном осаждении осаждаемый материал реагирует либо с компонентом газовой среды (Ti + N → TiN), либо с соосаждающим веществом (Ti + C → TiC). Плазменная среда способствует активации газообразных частиц (N 2 → 2N) и разложению химических паров-прекурсоров (SiH 4 → Si + 4H). Плазму также можно использовать для подачи ионов для испарения путем распыления или для бомбардировки подложки для очистки распылением и для бомбардировки осаждаемого материала с целью уплотнения структуры и настройки свойств ( ионное осаждение ).
Типы
Когда источником пара является жидкость или твердое вещество, этот процесс называется физическим осаждением из паровой фазы (PVD). Когда источником является химический прекурсор из паровой фазы, этот процесс называется химическим осаждением из паровой фазы (CVD). Последний имеет несколько вариантов: химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении (LPCVD), химическое осаждение из паровой фазы с плазменным усилением (PECVD) и CVD с плазмой (PACVD). Часто в одних и тех же или связанных технологических камерах используется комбинация процессов PVD и CVD.
^ «Ежедневные события и изображения установки Нового солнечного телескопа BBSO». Солнечная обсерватория Биг-Бэар . Проверено 6 января 2020 г.
^ Кинтино, Луиза (2014). «Обзор технологий нанесения покрытий». Модификация поверхности методом твердотельной обработки . стр. 1–24. дои : 10.1533/9780857094698.1. ISBN9780857094681.
Библиография
SVC, «Материалы 51-й ежегодной технической конференции» (2008 г.) Публикации SVC ISSN 0737-5921 (предыдущие материалы доступны на компакт-диске)
Андерс, Андре (редактор) «Справочник по ионной имплантации и осаждению с помощью плазменной иммерсии» (2000) Wiley-Interscience ISBN 0-471-24698-0
Бах, Ганс и Дитер Краузе (редакторы) «Тонкие пленки на стекле» (2003) Springer-Verlag ISBN 3-540-58597-4
Буншах, Ройтан Ф (редактор). «Справочник по технологиям нанесения пленок и покрытий», второе издание (1994 г.)
Глейзер, Ханс Иоахим «Покрытие стекла большой площади» (2000) Von Ardenne Anlagentechnik GmbH ISBN 3-00-004953-3
Уилли, Рональд Р. «Практическое оборудование, материалы и процессы для производства тонких оптических пленок» (2007) Willey Optical, ISBN консультантов 978-0-615-14397-2