Осаждение с помощью ионного пучка ( IBAD или IAD ) — это метод материаловедения , который сочетает ионную имплантацию с одновременным распылением или другим методом физического осаждения из паровой фазы . Помимо обеспечения независимого управления параметрами, такими как энергия ионов, температура и скорость прибытия атомных видов во время осаждения, этот метод особенно полезен для создания постепенного перехода между материалом подложки и осажденной пленкой, а также для осаждения пленок с меньшей встроенной деформацией , чем это возможно с помощью других методов. Эти два свойства могут привести к получению пленок с гораздо более прочной связью с подложкой. Опыт показал, что некоторые метастабильные соединения , такие как кубический нитрид бора (c-BN), могут быть образованы только в тонких пленках при бомбардировке энергичными ионами во время процесса осаждения.