stringtranslate.com

Подготовка матрицы

Пластина, наклеенная на синюю ленту и разрезанная на части, с удаленными отдельными штампами.

Подготовка кристалла — это этап изготовления полупроводниковых устройств, во время которого подготавливается пластина для упаковки и тестирования ИС. Процесс подготовки матрицы обычно состоит из двух этапов: установка пластины и нарезка пластины кубиками .

Монтаж пластины

Монтаж пластины — это этап, который выполняется во время подготовки пластины в процессе производства полупроводников . На этом этапе пластина крепится на пластиковую ленту, прикрепленную к кольцу. Монтаж пластины осуществляется непосредственно перед ее разрезанием на отдельные матрицы . Клейкая пленка, на которую крепится пластина, гарантирует, что отдельные матрицы остаются на месте во время «нарезки кубиками», как называется процесс резки пластины.

На рисунке справа показана пластина диаметром 300 мм после того, как она была смонтирована и нарезана кубиками. Синий пластик — это клейкая лента. Вафля представляет собой круглый диск посередине. В этом случае уже было удалено большое количество штампов.

Высечка полупроводников

При производстве микроэлектронных устройств высечка , нарезка кубиками или разделение — это процесс уменьшения пластины , содержащей несколько идентичных интегральных схем , до отдельных штампов, каждый из которых содержит одну из этих схем.

В ходе этого процесса пластина, содержащая до тысяч цепей, разрезается на прямоугольные части, каждая из которых называется матрицей. Между этими функциональными частями схем предусмотрено небольшое нефункциональное пространство, где пила может безопасно разрезать пластину, не повреждая схемы. Этот интервал называется разметочной линией или пилой . Ширина писца очень мала, обычно около 100  мкм . Поэтому, чтобы разрезать пластину на кусочки, необходима очень тонкая и точная пила. Обычно нарезка кубиками выполняется циркулярной пилой с водяным охлаждением и алмазными зубьями.

Типы лезвий

Наиболее распространенной конструкцией лезвий является металлическая или смоляная связка, содержащая абразивные зерна природного или, чаще всего, синтетического алмаза или боразона в различных формах. Альтернативно, связка и зерно могут быть нанесены в качестве покрытия на металлическую форму. См. алмазные инструменты .

дальнейшее чтение