Удаленная плазма

Удаленная плазменная система.

Удаленная плазма ( также плазма нисходящего потока или плазма послесвечения ) — это метод обработки плазмы , при котором взаимодействие плазмы и материала происходит в месте, удаленном от плазмы, в плазменном послесвечении . ^{[1] [2]}

Смотрите также

• Химическое осаждение из паровой фазы
• Лечение короны
• Физическое осаждение из паровой фазы
• Активация плазмы
• Плазмохимия
• Плазменная очистка
• Плазменное активируемое связывание
• Реактивное ионное травление

Ссылки

1. Томми Кяариайнен; Дэвид Кэмерон; Марья-Леена Кяарияйнен; Артур Шерман (17 мая 2013 г.). Атомно-слоевое осаждение: принципы, характеристики и применение нанотехнологий. Уайли. стр. 21–. ISBN 978-1-118-74742-1.
2. Александр Фридман (5 мая 2008 г.). Плазменная химия. Cambridge University Press . стр. 532–. ISBN 978-1-139-47173-2.