Физическая проверка — это процесс, в ходе которого проект компоновки интегральной схемы (ИС) проверяется с помощью программных средств EDA для обеспечения правильной электрической и логической функциональности и технологичности. Проверка включает проверку правил проектирования (DRC), компоновку по сравнению со схемой (LVS), XOR (исключающее ИЛИ), проверку антенн и проверку электрических правил (ERC). [1]
DRC проверяет, что макет соответствует всем ограничениям, налагаемым технологией. DRC также проверяет плотность слоев для химико-механической полировки (CMP). [1]
LVS проверяет функциональность проекта. Из макета выводится список соединений, который сравнивается с исходным списком соединений, полученным в результате логического синтеза или проектирования схем. [1]
Эта проверка обычно выполняется после спина металла, где сравниваются исходная и измененная базы данных. Это делается для подтверждения того, что желаемые изменения были сделаны и не было никаких нежелательных изменений, сделанных случайно. Этот шаг включает сравнение двух баз данных макетов/GDS с помощью операции XOR геометрий макетов. Результатом этой проверки является база данных, которая содержит все несовпадающие геометрии в обоих макетах.
Антенна в основном представляет собой металлическое соединение, т. е. проводник, такой как поликремний или металл, который электрически не соединен с кремнием или не заземлен во время этапов обработки пластины. [1] В процессе производства накопление заряда может происходить на антенне во время определенных этапов изготовления, таких как плазменное травление, которое использует высокоионизированное вещество для травления. Если соединение с кремнием отсутствует, заряды могут накапливаться на соединении до точки, в которой происходит быстрый разряд, и в результате тонкого оксида затвора транзистора возникают постоянные физические повреждения. Это быстрое и разрушительное явление известно как эффект антенны . Ошибки антенны можно исправить, добавив небольшой антенный диод для безопасной разрядки узла или разделив антенну путем прокладки вверх к другому металлическому слою, а затем снова вниз. [1]
Коэффициент антенны определяется как отношение физической площади проводников, составляющих антенну, к общей площади оксида затвора, к которому антенна электрически подключена.
ERC проверяет правильность подключения питания и заземления, а также то, что время передачи сигнала (нарастание), емкостные нагрузки и разветвления соответствующим образом ограничены. [1] Это может включать проверку
Вентили не должны подключаться напрямую к источникам питания; подключение должно осуществляться только через ячейки TIE high/low. Проверки ERC основаны на предположениях о нормальных условиях работы ASIC , поэтому они могут давать много ложных предупреждений о ASIC с множественными или отрицательными источниками питания. Они также могут проверять структуры, подверженные повреждению электростатическим разрядом (ESD).