CHMOS относится к одному из серии процессов Intel CMOS , разработанных на основе процесса HMOS . CHMOS означает «дополнительный высокопроизводительный металл-оксид кремния». [1] Впервые он был разработан в 1981 году. [2]
CHMOS использовался в Intel 80C51BH, новой версии стандартного микроконтроллера MCS-51 . [3] Чип также использовался в более поздних версиях Intel 8086 и 80C88 , которые были полностью статической версией Intel 8088 . Intel 80386 был изготовлен в 1,5 мкм CHMOS III, а затем в 1,0 мкм CHMOS IV.
В CHMOS III использовалась 1,5-микронная литография , обработка p-лун, обработка n-лунков и два слоя металла. [4] [5]
CHMOS III-E использовался для микропроцессора Intel 80C186 с частотой 12,5 МГц. [6] В этой технологии для EPROM используется процесс 1 мкм . [7]
В CHMOS IV (H означает High Speed) использовалась литография толщиной 1,0 мкм. Многие версии Intel 80486 были изготовлены в формате CHMOS IV 1,0 мкм. Intel использует эту технологию во встроенных процессорах 80C186EB и 80C188EB. [8]
В CHMOS V использовалась литография толщиной 0,8 мкм и 3 металлических слоя, и он использовался в более поздних версиях 80386, 80486 и i860 . [9]