Гибридные пиксельные детекторы — это тип детектора ионизирующего излучения , состоящий из массива диодов на основе полупроводниковой технологии и связанной с ними электроники. Термин «гибридный» происходит от того факта, что два основных элемента, из которых построены эти устройства, полупроводниковый датчик и считывающая микросхема (также известная как специализированная интегральная схема или ASIC), производятся независимо и позже электрически соединяются с помощью процесса соединения выступов . Ионизирующие частицы обнаруживаются, когда они создают пары электрон-дырка посредством взаимодействия с элементом датчика, обычно изготовленным из легированного кремния или теллурида кадмия . Считывающая ASIC сегментирована на пиксели, содержащие необходимую электронику для усиления и измерения электрических сигналов, индуцированных входящими частицами в сенсорном слое.
Гибридные пиксельные детекторы, предназначенные для работы в однофотонном режиме, известны как гибридные детекторы подсчета фотонов (Hybrid Photon Counting Detectors , HPCD). Эти детекторы предназначены для подсчета количества попаданий в течение определенного временного интервала. Они стали стандартом в большинстве источников синхротронного света и приложений для обнаружения рентгеновского излучения . [1]
Первые гибридные пиксельные детекторы были разработаны в 1980-х и 90-х годах для экспериментов по физике частиц высоких энергий в ЦЕРНе . [2] С тех пор многие крупные коллаборации продолжили разрабатывать и внедрять эти детекторы в свои системы, такие как эксперименты ATLAS , CMS и ALICE на Большом адронном коллайдере . [3] [4] [5] Используя кремниевые пиксельные детекторы как часть своих внутренних систем отслеживания, эти эксперименты способны определять траекторию частиц, образующихся во время столкновений высоких энергий, которые они изучают. [6]
Ключевым новшеством для создания таких больших пиксельных детекторов стало разделение датчика и электроники на независимые слои. Учитывая, что для датчиков частиц требуется кремний с высоким удельным сопротивлением, в то время как для считывающей электроники требуется низкое удельное сопротивление, внедрение гибридной конструкции позволило оптимизировать каждый элемент по отдельности, а затем соединить их вместе с помощью процесса соединения методом «шип-склеивания», включающего микроскопическую точечную пайку. [7]
Вскоре стало понятно, что та же гибридная технология может быть использована для обнаружения рентгеновских фотонов. К концу 1990-х годов первые гибридные детекторы подсчета фотонов (HPC), разработанные ЦЕРН и PSI, были испытаны с синхротронным излучением. [8] Дальнейшие разработки в ЦЕРН привели к созданию чипа Medipix и его вариаций.
Первый HPC-детектор большой площади был построен в 2003 году в PSI на основе считывающего чипа PILATUS. Второе поколение этого детектора с улучшенной считывающей электроникой и меньшими пикселями стало первым HPC-детектором, который регулярно работал на синхротроне. [9]
В 2006 году компания DECTRIS была основана как ответвление PSI и успешно коммерциализировала технологию PILATUS. С тех пор детекторы на основе систем PILATUS и EIGER широко использовались для малоуглового рассеяния , когерентного рассеяния , рентгеновской порошковой дифракции и спектроскопии . Основными причинами успеха HPC-детекторов являются прямое обнаружение отдельных фотонов и точное определение интенсивностей рассеяния и дифракции в широком динамическом диапазоне. [10]