IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing — ежеквартальный рецензируемый научный журнал , издаваемый IEEE. Он охватывает исследования в области производства полупроводниковых приборов , включая имитацию и моделирование от завода до уровня детального процесса, контроль дефектов, анализ и оптимизацию выхода годных, планирование и составление графиков производства, экологические проблемы в производстве полупроводников и улучшение технологичности. Главный редактор — Реха Узсой ( Университет штата Северная Каролина ). Согласно отчетам Journal Citation Reports , импакт-фактор журнала за 2020 год составляет 2,874. [1]
Журнал является совместным изданием Общества по твердотельным схемам IEEE , Общества по компонентам, упаковке и производственным технологиям IEEE , Общества по электронным приборам IEEE и Общества по надежности IEEE .