stringtranslate.com

Нитрид галлия

Нитрид галлия ( Ga N ) представляет собой бинарный полупроводник с прямой запрещенной зоной III / V , широко используемый в синих светодиодах с 1990-х годов. Соединение представляет собой очень твердый материал с кристаллической структурой вюрцита . Широкая запрещенная зона 3,4  эВ придает ему особые свойства для применения в оптоэлектронных , [8] [9] мощных и высокочастотных устройствах. Например, GaN является подложкой, которая делает возможным создание фиолетовых (405 нм) лазерных диодов без необходимости нелинейного оптического удвоения частоты .

Его чувствительность к ионизирующему излучению низкая (как и у других нитридов группы III ), что делает его подходящим материалом для матриц солнечных батарей для спутников . Военные и космические приложения также могут выиграть, поскольку устройства продемонстрировали стабильность в условиях высокой радиации . [10]

Поскольку GaN-транзисторы могут работать при гораздо более высоких температурах и работать при гораздо более высоких напряжениях, чем транзисторы на основе арсенида галлия (GaAs), они являются идеальными усилителями мощности на микроволновых частотах. Кроме того, GaN предлагает многообещающие характеристики для ТГц устройств. [11] Из-за высокой плотности мощности и пределов пробоя по напряжению GaN также становится многообещающим кандидатом для применения в базовых станциях сотовой связи 5G. С начала 2020-х годов силовые GaN-транзисторы стали все чаще использоваться в источниках питания электронного оборудования, преобразуя сетевое электричество переменного тока в низковольтное постоянное напряжение .

Физические свойства

кристалл GaN

GaN — очень твердый ( твердость по Кнупу 14,21 ГПа [12] :4  ), механически стабильный широкозонный полупроводниковый материал с высокой теплоемкостью и теплопроводностью. [13] В чистом виде он устойчив к растрескиванию и может наноситься тонкой пленкой на сапфир или карбид кремния , несмотря на несоответствие их постоянных решетки . [13] GaN может быть легирован кремнием (Si) или кислородом [14] до n-типа и магнием (Mg) до p - типа . [15] [16] Однако атомы Si и Mg изменяют способ роста кристаллов GaN, создавая растягивающие напряжения и делая их хрупкими. [17] Соединения нитрида галлия также имеют тенденцию иметь высокую плотность дислокаций , порядка от 10 8 до 10 10 дефектов на квадратный сантиметр. [18]

Исследовательская лаборатория армии США (ARL) провела первое измерение скорости электронов в сильном поле в GaN в 1999 году. [19] Ученые из ARL экспериментально получили пиковую стационарную скорость,1,9 × 10 7  см/с со временем прохождения 2,5 пикосекунды, достигнутое при электрическом поле 225 кВ/см. С помощью этой информации была рассчитана подвижность электронов , что дало данные для проектирования устройств на основе GaN.

События

Один из первых синтезов нитрида галлия был осуществлен в лаборатории Джорджа Герберта Джонса в 1932 году. [20]

Ранний синтез нитрида галлия был осуществлен Робертом Джузой и Гарри Ханом в 1938 году. [21]

GaN с высоким кристаллическим качеством можно получить путем нанесения буферного слоя при низких температурах. [22] Столь высокое качество GaN привело к открытию GaN p-типа, [15] синих/УФ- светодиодов с p–n-переходом [15] и стимулированного излучения при комнатной температуре [23] (необходимого для лазерного воздействия). [24] Это привело к коммерциализации высокопроизводительных синих светодиодов и долговечных фиолетовых лазерных диодов, а также к разработке устройств на основе нитридов, таких как УФ-детекторы и высокоскоростные полевые транзисторы . [ нужна цитата ]

светодиоды

GaN-светодиоды (СИД) высокой яркости дополнили линейку основных цветов и сделали возможными такие применения, как полноцветные светодиодные дисплеи, видимые при дневном свете, белые светодиоды и синие лазерные устройства. В первых светодиодах высокой яркости на основе GaN использовалась тонкая пленка GaN, нанесенная методом газофазной эпитаксии из металлорганических соединений (MOVPE) на сапфир . Другими используемыми подложками являются оксид цинка с несоответствием постоянной решетки всего 2% и карбид кремния (SiC). [25] Нитридные полупроводники III группы в целом признаны одним из наиболее перспективных семейств полупроводников для изготовления оптических устройств видимого коротковолнового и УФ-диапазона. [ нужна цитата ]

GaN-транзисторы и силовые ИС

Очень высокие напряжения пробоя , [26] высокая подвижность электронов и скорость насыщения GaN также сделали его идеальным кандидатом для мощных и высокотемпературных микроволновых применений, о чем свидетельствует его высокая добротность Джонсона . Потенциальные рынки для мощных/высокочастотных устройств на основе GaN включают усилители мощности СВЧ -радиочастот (например, те, которые используются в высокоскоростной беспроводной передаче данных) и высоковольтные коммутационные устройства для электрических сетей. Потенциальным применением ВЧ- транзисторов на основе GaN на массовом рынке является источник микроволнового излучения для микроволновых печей , заменяющий используемые в настоящее время магнетроны . Большая запрещенная зона означает, что характеристики GaN-транзисторов сохраняются до более высоких температур (~ 400 °C [27] ), чем у кремниевых транзисторов (~ 150 °C [27] ), поскольку уменьшаются эффекты тепловой генерации носителей заряда , которые присущи любому полупроводнику. Первые металл-полупроводниковые полевые транзисторы на основе нитрида галлия (GaN MESFET ) были экспериментально продемонстрированы в 1993 году [28] и активно разрабатываются.

В 2010 году стали общедоступными первые GaN-транзисторы улучшенного режима . [29] Были доступны только n-канальные транзисторы. [29] Эти устройства были разработаны для замены силовых МОП-транзисторов в приложениях, где скорость переключения или эффективность преобразования энергии имеют решающее значение. Эти транзисторы изготавливаются путем выращивания тонкого слоя GaN поверх стандартной кремниевой пластины, которую производители часто называют GaN-on-Si. [30] Это позволяет полевым транзисторам сохранять затраты, аналогичные силовым кремниевым МОП-транзисторам, но с превосходными электрическими характеристиками, как у GaN. Другим, казалось бы, жизнеспособным решением для реализации HFET-транзисторов с GaN-каналом в улучшенном режиме является использование согласованного по решетке четверного слоя AlInGaN с приемлемо низким спонтанным поляризационным рассогласованием по отношению к GaN. [31]

Силовые ИС GaN монолитно объединяют GaN FET, схему управления на основе GaN и защиту схемы в одном устройстве для поверхностного монтажа. [32] [33] Интеграция означает, что контур управления затвором имеет практически нулевой импеданс, что еще больше повышает эффективность за счет практически устранения потерь при выключении полевого транзистора. Академические исследования по созданию низковольтных силовых ИС на основе GaN начались в Гонконгском университете науки и технологий (HKUST), а первые устройства были продемонстрированы в 2015 году. Коммерческое производство силовых ИС на основе GaN началось в 2018 году.

КМОП-логика

В 2016 году сообщалось о первой GaN- КМОП-логике с использованием PMOS- и NMOS-транзисторов с длиной затвора 0,5 мкм (ширина затвора PMOS- и NMOS-транзисторов составляла 500 мкм и 50 мкм соответственно). [34]

Приложения

Светодиоды и лазеры

Фиолетовые лазерные диоды на основе GaN используются для чтения дисков Blu-ray . Смесь GaN с In ( InGaN ) или Al ( AlGaN ) с шириной запрещенной зоны, зависящей от соотношения In или Al к GaN, позволяет изготавливать светодиоды ( СИД ) с цветами, которые могут переходить от красного до ультрафиолетового. . [25]

Транзисторы и силовые микросхемы

Транзисторы GaN с высокой подвижностью электронов (производства Ferdinand-Braun-Institut )

GaN-транзисторы подходят для высокочастотных, высоковольтных, высокотемпературных и высокоэффективных применений. [ нужна цитация ] GaN эффективен при передаче тока, и это в конечном итоге означает, что меньше энергии теряется на тепло. [35]

GaN -транзисторы с высокой подвижностью электронов (HEMT) коммерчески предлагаются с 2006 года и сразу же нашли применение в различных приложениях беспроводной инфраструктуры благодаря своей высокой эффективности и работе при высоком напряжении. Второе поколение устройств с более короткими длинами затворов будет предназначено для высокочастотных телекоммуникационных и аэрокосмических приложений. [36]

Транзисторы металл-оксид-полупроводник на основе GaN (MOSFET) и металл-полупроводниковый полевой транзистор (MESFET) также обладают преимуществами, включая меньшие потери в мощной электронике, особенно в автомобилях и электромобилях. [37] С 2008 года их можно формировать на кремниевой подложке. [37] Также производятся высоковольтные (800 В) диоды с барьером Шоттки (SBD). [37]

Более высокая эффективность и высокая удельная мощность интегрированных силовых ИС GaN позволяют им уменьшить размер, вес и количество компонентов приложений, включая зарядные устройства для мобильных устройств и ноутбуков, бытовую электронику, вычислительное оборудование и электромобили.

Электроника на основе GaN (а не чистого GaN) может значительно сократить потребление энергии не только в потребительских приложениях, но даже в коммунальных предприятиях по передаче электроэнергии .

В отличие от кремниевых транзисторов, которые отключаются из-за скачков напряжения, GaN-транзисторы обычно представляют собой устройства в режиме истощения (т.е. включены/резистивны, когда напряжение затвор-исток равно нулю). Было предложено несколько методов для достижения нормально выключенного (или E-режима), что необходимо для использования в силовой электронике: [38] [39]

Радары

Они также используются в военной электронике, такой как радары с активной решеткой с электронным сканированием . [40]

В 2010 году Thales Group представила радар Ground Master 400 , использующий технологию GaN. В 2021 году Thales ввела в эксплуатацию более 50 000 GaN-передатчиков на радиолокационных системах. [41]

Армия США профинансировала Lockheed Martin для включения технологии активных устройств GaN в радиолокационную систему AN/TPQ-53 для замены двух радиолокационных систем средней дальности, AN/TPQ-36 и AN/TPQ-37 . [42] [43] Радиолокационная система AN/TPQ-53 была разработана для обнаружения, классификации, отслеживания и определения местоположения вражеских систем непрямой наводки, а также беспилотных авиационных систем. [44] Радиолокационная система AN/TPQ-53 обеспечила улучшенные характеристики, большую мобильность, повышенную надежность и удобство обслуживания, более низкую стоимость жизненного цикла и уменьшенную численность экипажа по сравнению с системами AN/TPQ-36 и AN/TPQ-37. [42]

В 2018 году компания Lockheed Martin представила и другие тактические оперативные радары с технологией GaN, в том числе многоцелевую радиолокационную систему TPS-77, развернутую в Латвии и Румынии . [45] В 2019 году партнер Lockheed Martin, компания ELTA Systems Limited , разработала многоцелевой радар ELM-2084 на основе GaN , который способен обнаруживать и отслеживать воздушные суда и баллистические цели, одновременно обеспечивая управление огнем для перехвата ракет или артиллерии ПВО.

8 апреля 2020 года компания Saab провела испытания нового радара X-диапазона AESA , разработанного GaN , на истребителе JAS-39 Gripen . [46] Saab уже предлагает продукты с радарами на основе GaN, такие как радар Giraffe , Erieye , GlobalEye и Arexis EW. [47] [48] [49] [50] Saab также поставляет основные подсистемы, узлы и программное обеспечение для AN/TPS-80 (G/ATOR) [51]

Наномасштаб

Нанотрубки и нанопровода GaN предлагаются для применения в наноразмерной электронике , оптоэлектронике и биохимическом зондировании. [52] [53]

Потенциал спинтроники

При легировании подходящим переходным металлом, таким как марганец , GaN становится многообещающим материалом для спинтроники ( магнитные полупроводники ). [25]

Синтез

Объемные субстраты

Кристаллы GaN можно вырастить из расплавленного расплава Na/Ga, выдерживаемого под давлением N 2 100 атмосфер и температуре 750 °C. Поскольку Ga не будет реагировать с N 2 при температуре ниже 1000 °C, порошок должен быть изготовлен из чего-то более реакционноспособного, обычно одним из следующих способов:

2 Ga + 2 NH 3 → 2 GaN + 3 H 2 [54]
Ga 2 O 3 + 2 NH 3 → 2 GaN + 3 H 2 O [55]

Нитрид галлия также можно синтезировать путем введения газообразного аммиака в расплавленный галлий при900–980 °С при нормальном атмосферном давлении. [56]

Металлоорганическая парофазная эпитаксия

Синие, белые и ультрафиолетовые светодиоды выращиваются в промышленных масштабах методом MOVPE . [57] [58] Прекурсорами являются аммиак с триметилгаллием или триэтилгаллием , газом-носителем является азот или водород . Температура роста колеблется между800 и 1100 °С . Введение триметилалюминия и/или триметилиндия необходимо для выращивания квантовых ям и других видов гетероструктур .

Молекулярно-лучевая эпитаксия

В промышленных масштабах кристаллы GaN можно выращивать с использованием молекулярно-лучевой эпитаксии или газофазной эпитаксии из металлорганических соединений . Этот процесс можно дополнительно модифицировать для уменьшения плотности дислокаций. Сначала на поверхность роста наносится ионный луч, чтобы создать наноразмерную шероховатость. Затем поверхность полируется. Этот процесс происходит в вакууме. В методах полировки обычно используется жидкий электролит и УФ-облучение, чтобы обеспечить механическое удаление тонкого оксидного слоя с пластины. Были разработаны более поздние методы, в которых используются твердотельные полимерные электролиты , не содержащие растворителей и не требующие облучения перед полировкой. [59]

Безопасность

Пыль GaN раздражает кожу, глаза и легкие. Аспекты окружающей среды, здоровья и безопасности источников нитрида галлия (таких как триметилгаллий и аммиак ) и исследования по мониторингу промышленной гигиены источников MOVPE были представлены в обзоре 2004 года. [60]

Массовый GaN нетоксичен и биосовместим . [61] Таким образом, его можно использовать в электродах и электронике имплантатов живых организмов.

Смотрите также

[62]

Рекомендации

  1. ^ abc Хейнс, Уильям М., изд. (2011). Справочник CRC по химии и физике (92-е изд.). Бока-Ратон, Флорида: CRC Press . п. 4.64. ISBN 1-4398-5511-0.
  2. ^ Харафудзи, Кенджи; Цучия, Таку; Кавамура, Кацуюки (2004). «Молекулярно-динамическое моделирование для оценки температуры плавления кристалла GaN вюрцитного типа». Журнал прикладной физики . 96 (5): 2501. Бибкод : 2004JAP....96.2501H. дои : 10.1063/1.1772878.
  3. ^ Фостер, Кори М.; Кольясо, Рамон; Ситар, Златко; Иванишевич, Албена (2013). «Реферат исследования NCSU: Водная стабильность Ga- и N-полярного нитрида галлия». Ленгмюр . 29 (1): 216–220. дои : 10.1021/la304039n. ПМИД  23227805.
  4. ^ Йохан Стридом; Майкл де Рой; Дэвид Ройш; Алекс Лидоу (2019). GaN-транзисторы для эффективного преобразования энергии (3-е изд.). Калифорния, США: Уайли. п. 3. ISBN 978-1-119-59442-0.
  5. ^ Мион, Кристиан (2005). «Исследование термических свойств нитрида галлия с использованием метода трех омега», диссертация, Университет штата Северная Каролина.
  6. ^ Бугров В., Левинштейн М.Е., Румянцев С.Л., Зубрилов А., в сб. Свойства перспективных полупроводниковых материалов GaN, AlN, InN, BN, SiC, SiGe . Ред. Левинштейн М.Е., Румянцев С.Л., Шур М.С., John Wiley & Sons, Inc., Нью-Йорк, 2001, 1–30.
  7. ^ Хейнс, Уильям М., изд. (2011). Справочник CRC по химии и физике (92-е изд.). Бока-Ратон, Флорида: CRC Press . п. 5.12. ISBN 1-4398-5511-0.
  8. ^ Ди Карло, А. (2001). «Настройка оптических свойств наноструктур на основе GaN путем экранирования заряда». Физический статус Солиди А. 183 (1): 81–85. Бибкод : 2001PSSAR.183...81D. doi :10.1002/1521-396X(200101)183:1<81::AID-PSSA81>3.0.CO;2-N.
  9. ^ Аракава, Ю. (2002). «Прогресс в области квантовых точек на основе GaN для приложений оптоэлектроники». Журнал IEEE по избранным темам квантовой электроники . 8 (4): 823–832. Бибкод : 2002IJSTQ...8..823A. дои : 10.1109/JSTQE.2002.801675.
  10. ^ Лидов, Александр; Ведьмак, Дж. Брэндон; Смолли, Кен (март 2011 г.). «Характеристики полевого транзистора нитрида галлия (eGaN) в режиме улучшения в условиях длительной нагрузки» (PDF) . Техническая конференция GOMAC.
  11. ↑ Ахи, Киараш (сентябрь 2017 г.). «Обзор устройств на основе GaN для работы в терагерцовом диапазоне». Оптическая инженерия . 56 (9): 090901. Бибкод : 2017OptEn..56i0901A. doi : 10.1117/1.OE.56.9.090901 – через SPIE.
  12. ^ «Нитрид галлия как электромеханический материал. RZ. IEEE 2014» (PDF) .
  13. ^ аб Акасаки, И.; Амано, Х. (1997). «Рост кристаллов и контроль проводимости нитридных полупроводников группы III и их применение в коротковолновых излучателях света». Японский журнал прикладной физики . 36 (9A): 5393. Бибкод : 1997JaJAP..36.5393A. дои : 10.1143/JJAP.36.5393 .
  14. ^ Ветцель, К.; Суски, Т.; Агер, Свидетель Иеговы III; Фишер, С.; Мейер, БК; Гжегоры, И.; Поровски, С. (1996) Сильно локализованный донорный уровень в нитриде галлия, легированном кислородом, Международная конференция по физике полупроводников, Берлин (Германия), 21–26 июля 1996 г.
  15. ^ abc Амано, Х.; Кито, М.; Хирамацу, К.; Акасаки, И. (1989). «Проводимость P-типа в легированном магнием GaN, обработанном облучением низкоэнергетическим электронным пучком (LEEBI)». Японский журнал прикладной физики . 28 (12): Л2112. Бибкод : 1989JaJAP..28L2112A. дои : 10.1143/JJAP.28.L2112 .
  16. ^ «Открытие нитрида галлия - ключевого фактора энергоэффективной электроники» . Корнеллские хроники . Проверено 20 октября 2022 г.
  17. ^ Терао, С.; Ивая, М.; Накамура, Р.; Камияма, С.; Амано, Х.; Акасаки, И. (2001). «Разрушение гетероструктуры Al x Ga 1−x N/GaN – зависимость от состава и примесей –». Японский журнал прикладной физики . 40 (3А): Л195. Бибкод : 2001JaJAP..40..195T. дои :10.1143/JJAP.40.L195. S2CID  122191162.
  18. ^ Пройсс, Пол (11 августа 2000 г.). Исследования синих диодов приближают день крупномасштабных твердотельных источников света. Лаборатория Беркли, lbl.gov.
  19. ^ Врабак, М.; Шен, Х.; Каррано, Джей Си; Коллинз, CJ; Кэмпбелл, Дж. К.; Дюпюи, РД; Шурман, MJ; Фергюсон, IT (2000). «Измерение электроабсорбции с временным разрешением характеристики поля скоростей электронов в GaN». Письма по прикладной физике . 76 (9): 1155–1157. Бибкод : 2000ApPhL..76.1155W. дои : 10.1063/1.125968.
  20. ↑ Ахмад, Маджид (23 мая 2023 г.). «Краткая история полупроводников нитрида галлия (GaN)». ЭДН . Проверено 31 августа 2023 г.
  21. ^ Джуза, Роберт; Хан, Гарри (1938). «Über die Kristallstrukturen von Cu3N, GaN и InN, металламиды и нитриды металлов». Zeitschrift für Anorganische und Allgemeine Chemie . 239 (3): 282–287. дои : 10.1002/zaac.19382390307.
  22. ^ Амано, Х.; Саваки, Н.; Акасаки, И.; Тойода, Ю. (1986). «Эпитаксиальный рост из газовой фазы металлорганических соединений высококачественной пленки GaN с использованием буферного слоя AlN». Письма по прикладной физике . 48 (5): 353. Бибкод : 1986ApPhL..48..353A. дои : 10.1063/1.96549. S2CID  59066765.
  23. ^ Амано, Х.; Асахи, Т.; Акасаки, И. (1990). «Стимулированное излучение в ближнем ультрафиолете при комнатной температуре из пленки GaN, выращенной на сапфире методом MOVPE с использованием буферного слоя AlN». Японский журнал прикладной физики . 29 (2): L205. Бибкод : 1990JaJAP..29L.205A. дои :10.1143/JJAP.29.L205. S2CID  120489784.
  24. ^ Акасаки, И.; Амано, Х.; Сота, С.; Сакаи, Х.; Танака, Т.; Масаёшикойке (1995). «Стимулированное излучение путем введения тока из устройства с квантовой ямой AlGaN / GaN / GaInN». Японский журнал прикладной физики . 34 (11Б): Л1517. Бибкод : 1995JaJAP..34L1517A. дои :10.1143/JJAP.34.L1517.
  25. ^ abc Моркоч, Х.; Страйт, С.; Гао, Великобритания; Лин, Мэн; Свердлов Б.; Бернс, М. (1994). «Технологии полупроводниковых устройств на основе SiC с большой запрещенной зоной, нитридов III – V и ZnSe II – VI». Журнал прикладной физики . 76 (3): 1363. Бибкод : 1994JAP....76.1363M. дои : 10.1063/1.358463.
  26. ^ Дора, Ю.; Чакраборти, А.; Маккарти, Л.; Келлер, С.; Денбаарс, СП; Мишра, Великобритания (2006). «Высокое напряжение пробоя, достигнутое на HEMT AlGaN / GaN со встроенными наклонными пластинами поля». Письма об электронных устройствах IEEE . 27 (9): 713. Бибкод : 2006IEDL...27..713D. дои : 10.1109/LED.2006.881020. S2CID  38268864.
  27. ^ ab «Почему системы GaN».
  28. ^ Асиф Хан, М.; Кузня, Ю.Н.; Бхаттараи, Арканзас; Олсон, Д.Т. (1993). «Металл-полупроводниковый полевой транзистор на основе монокристалла GaN». Письма по прикладной физике . 62 (15): 1786. Бибкод : 1993ApPhL..62.1786A. дои : 10.1063/1.109549.
  29. ^ Аб Дэвис, Сэм (март 2010 г.). «Режим улучшения GaN MOSFET обеспечивает впечатляющие характеристики». Электронный дизайн . 36 (3).
  30. ^ «GaN-на-кремнии позволяет использовать силовую электронику GaN, но к 2020 году будет охватывать менее 5% производства светодиодов» (PDF) . Соединения и усовершенствованный кремний . Полупроводник СЕГОДНЯ. 9 (апрель/май 2014 г.).
  31. ^ Рахбардар Мохавер, Хасан; Госслен, Жан-Лу; Вализаде, Пуя (27 июня 2017 г.). «Использование двухслойного барьера AlInGaN с согласованной решеткой для улучшения ограничения несущей в канале полевых транзисторов с гетероструктурой AlInGaN/GaN улучшенного режима». Журнал прикладной физики . 121 (24): 244502. Бибкод : 2017JAP...121x4502R. дои : 10.1063/1.4989836. ISSN  0021-8979.
  32. ^ "Источники питания GaN" . Навитас .
  33. ^ «Интегральные схемы GaN». ЭПК .
  34. ^ «HRL Laboratories заявляет о первом изготовлении КМОП-транзистора на основе нитрида галлия» . www.semiconductor-today.com .
  35. ^ «Компактное зарядное устройство Apple GaN мощностью 30 Вт» . Проверено 30 апреля 2022 г.
  36. ^ 2010 IEEE Intl. Симпозиум, Технический реферат, Сессия TH3D, стр. 164–165.
  37. ^ abc Дэвис, Сэм (1 ноября 2009 г.). «SiC и GaN соперничают за кусок пирога электромобилей». Силовая электроника . Проверено 3 января 2016 г. Эти устройства обеспечивают меньшие потери при преобразовании энергии и эксплуатационные характеристики, превосходящие традиционные кремниевые аналоги.
  38. ^ «Создание нового кремния: электроника на основе нитрида галлия может значительно сократить потребление энергии» . Проверено 28 июня 2018 г.
  39. ^ Менегини, Маттео; Хилт, Оливер; Вюрфль, Иоахим; Менегессо, Гауденцио (25 января 2017 г.). «Технология и надежность нормально выключенных GaN HEMT с затвором p-типа». Энергии . 10 (2): 153. дои : 10.3390/en10020153 . hdl : 11577/3259344 .
  40. ^ «Модули на основе нитрида галлия устанавливают новый 180-дневный стандарт для работы на высокой мощности». Нортроп Грумман , 13 апреля 2011 г.
  41. ^ Покок, Крис. «Сильный экспортный рынок для наземного радара Thales». Международные авиационные новости . Проверено 28 мая 2021 г.
  42. ↑ Аб Браун, Джек (16 октября 2018 г.). «GaN расширяет радиус действия армейской радиолокационной системы Q-53». Микроволновые печи и радиочастоты . Проверено 23 июля 2019 г.
  43. ^ Мартин, Локхид. «Армия США заключает контракт с Lockheed Martin на увеличение дальности действия радара AN / TPQ-53» . Локхид Мартин . Проверено 23 июля 2019 г.
  44. ^ Мартин, Локхид. «Радиолокационная система AN/TPQ-53». Локхид Мартин . Проверено 23 июля 2019 г.
  45. ^ Мартин, Локхид. «Lockheed Martin демонстрирует зрелую, проверенную радиолокационную технологию во время проверки армии США». Локхид Мартин . Проверено 23 июля 2019 г.
  46. ^ «Gripen C/D впервые летает с новым радаром AESA Saab» . Архивировано из оригинала 2 мая 2020 года.
  47. ^ «Saab первым в своей отрасли вывел GaN на рынок» . Архивировано из оригинала 6 февраля 2016 года.
  48. ^ «Радар Saab Giraffe 1X обеспечивает переносную дальность обнаружения 75 км» . Архивировано из оригинала 23 августа 2020 года.
  49. ^ «Saab получает шведский заказ на радары Giraffe 4A и Arthur» . Архивировано из оригинала 5 декабря 2018 года.
  50. ^ «Арексис - перехитрить угрозы с помощью электронной атаки» . Архивировано из оригинала 23 августа 2020 года.
  51. ^ «Saab поставит ключевые компоненты для поддержки программы наземных и воздушных радаров Корпуса морской пехоты США (G/ATOR)» . 12 февраля 2015 г. Архивировано из оригинала 31 октября 2020 г.
  52. ^ Голдбергер, Дж.; Ее.; Чжан, Ю.; Ли, С.; Ян, Х.; Чой, HJ; Ян, П. (2003). «Монокристаллические нанотрубки нитрида галлия». Природа . 422 (6932): 599–602. Бибкод : 2003Natur.422..599G. дои : 10.1038/nature01551. PMID  12686996. S2CID  4391664.
  53. ^ Чжао, Чао; Альфарадж, Насир; Субеди, Рам Чандра; Лян, Цзянь Вэй; Алатави, Абдулла А.; Альхамуд, Абдулла А.; Эбаид, Мохамед; Псевдоним, Мохд Шаризал; Нг, Тьен Хи; Оой, Бун С. (2019). «III – нитридные нанопроволоки на нетрадиционных подложках: от материалов к применениям в оптоэлектронных устройствах». Прогресс в квантовой электронике . 61 : 1–31. doi : 10.1016/j.pquantelec.2018.07.001 . hdl : 10754/628417 .
  54. ^ Ральф Ридель, И-Вэй Чен (2015). Керамическая наука и технология, Том 2: Материалы и свойства . Вили-Вч. ISBN 978-3527802579.
  55. ^ Цзянь-Джанг Хуан, Хао-Чунг Куо, Шых-Чан Шен (2014). Нитридные полупроводниковые светоизлучающие диоды (СИД) . Вудхед. п. 68. ИСБН 978-0857099303.{{cite book}}: CS1 maint: несколько имен: список авторов ( ссылка )
  56. ^ М. Сибата, Т. Фуруя, Х. Сакагути, С. Кума (1999). «Синтез нитрида галлия путем введения аммиака в расплав галлия». Журнал роста кристаллов . 196 (1): 47–52. Бибкод : 1999JCrGr.196...47S. дои : 10.1016/S0022-0248(98)00819-7.{{cite journal}}: CS1 maint: несколько имен: список авторов ( ссылка )
  57. ^ US8357945B2, Д'Эвелин, Марк Филип; Пак, Донг-Сил и ЛеБёф, Стивен Фрэнсис и др., «Кристалл нитрида галлия и метод его изготовления», выпущено 22 января 2013 г. 
  58. ^ «Патенты Google». патенты.google.com . Проверено 20 октября 2022 г.
  59. ^ Мурата, Дзюнджи; Нисигути, Ёсито; Ивасаки, Такеши (1 декабря 2018 г.). «Безэлектролитное электрохимическое оксидирование поверхности GaN с использованием твердого полимерного электролита в направлении электрохимической механической полировки». Электрохимические коммуникации . 97 : 110–113. дои : 10.1016/j.elecom.2018.11.006 . ISSN  1388-2481.
  60. ^ Шенай-Хатхате, ДВ; Гойетт, Р.Дж.; Дикарло, Р.Л. младший; Дриппс, Г. (2004). «Вопросы окружающей среды, здоровья и безопасности для источников, используемых при выращивании сложных полупроводников методом MOVPE». Журнал роста кристаллов . 272 (1–4): 816–21. Бибкод : 2004JCrGr.272..816S. doi :10.1016/j.jcrysgro.2004.09.007.
  61. ↑ Шипман, Мэтт и Иванишевич, Албена (24 октября 2011 г.). «Исследования показывают, что нитрид галлия нетоксичен и биосовместим – это перспективно для биомедицинских имплантатов». Государственный университет Северной Каролины
  62. ^ Мусумечи, Сальваторе; Паницца, Марко; Стелла, Фаусто; Перро, Франсуа (июнь 2020 г.). «Монолитный двунаправленный переключатель на основе инжекторных транзисторов с затвором GaN»: 1045–1050. doi : 10.1109/ISIE45063.2020.9152230. {{cite journal}}: Требуется цитировать журнал |journal=( помощь )

[1]

Внешние ссылки

Викискладе есть медиафайлы по теме нитрида галлия .
  1. ^ Мусумечи, Сальваторе; Паницца, Марко; Стелла, Фаусто; Перро, Франсуа (июнь 2020 г.). «Монолитный двунаправленный переключатель на основе инжекторных транзисторов с затвором GaN»: 1045–1050. doi : 10.1109/ISIE45063.2020.9152230. {{cite journal}}: Требуется цитировать журнал |journal=( помощь )