Полевой транзистор ( FET ) — это тип транзистора , который использует электрическое поле для управления током через полупроводник . Он бывает двух типов: полевой транзистор с переходом (JFET) и металл-оксид-полупроводник полевой транзистор (MOSFET). Полевые транзисторы имеют три вывода: исток , затвор и сток . Полевые транзисторы управляют током, прикладывая напряжение к затвору, что, в свою очередь, изменяет проводимость между стоком и истоком.
Полевые транзисторы также известны как униполярные транзисторы , поскольку они работают по принципу одностороннего переноса заряда. То есть полевые транзисторы используют в качестве носителей заряда либо электроны (n-канал), либо дырки (p-канал) , но не оба сразу. Существует множество различных типов полевых транзисторов. Полевые транзисторы обычно демонстрируют очень высокое входное сопротивление на низких частотах. Наиболее широко используемым полевым транзистором является МОП-транзистор (полевой транзистор металл-оксид-полупроводник).
Концепция полевого транзистора (FET) была впервые запатентована физиком австро-венгерского происхождения Юлиусом Эдгаром Лилиенфельдом в 1925 году [1] и Оскаром Хейлем в 1934 году, но они не смогли построить работающее практическое полупроводниковое устройство на основе этой концепции. Позднее транзисторный эффект наблюдали и объясняли Джон Бардин и Уолтер Хаузер Браттейн, работавшие под руководством Уильяма Шокли в Bell Labs в 1947 году, вскоре после истечения срока действия 17-летнего патента. Первоначально Шокли пытался построить работающий FET, пытаясь модулировать проводимость полупроводника , но потерпел неудачу, в основном из-за проблем с поверхностными состояниями , оборванной связью и материалами на основе германия и меди . В ходе попыток понять таинственные причины неудач в создании рабочего полевого транзистора Бардин и Браттейн вместо этого изобрели в 1947 году точечно-контактный транзистор , за которым в 1948 году последовал биполярный транзистор Шокли. [2] [3]
Первым успешно построенным устройством на основе полевого транзистора был полевой транзистор с переходом (JFET). [2] Впервые полевой транзистор с переходом был запатентован Генрихом Велькером в 1945 году. [4] Статический индукционный транзистор (SIT), тип полевого транзистора с переходом с коротким каналом, был изобретен японскими инженерами Дзюнъити Нисидзавой и Ё. Ватанабе в 1950 году. После теоретического рассмотрения Шокли полевого транзистора с переходом в 1952 году, работающий практический полевой транзистор с переходом был построен Джорджем К. Дейси и Яном М. Россом в 1953 году. [5] Однако у полевого транзистора с переходом все еще были проблемы, влияющие на транзисторы с переходом в целом. [6] Полевые транзисторы с переходом были относительно громоздкими устройствами, которые было трудно производить на основе массового производства , что ограничивало их ряд специализированных приложений. Полевой транзистор с изолированным затвором (IGFET) был теоретически предложен в качестве потенциальной альтернативы транзисторам с плоским переходом, но исследователи не смогли создать работающие IGFET, в основном из-за проблемного поверхностного барьера, который препятствовал проникновению внешнего электрического поля в материал. [6] К середине 1950-х годов исследователи в значительной степени отказались от концепции FET и вместо этого сосредоточились на технологии биполярных транзисторов с плоским переходом (BJT). [7]
Основы технологии MOSFET были заложены работами Уильяма Шокли , Джона Бардина и Уолтера Браттейна . Шокли независимо друг от друга представил концепцию полевого транзистора в 1945 году, но не смог построить работающее устройство. В следующем году Бардин объяснил свою неудачу с точки зрения поверхностных состояний . Бардин применил теорию поверхностных состояний к полупроводникам (предыдущая работа по поверхностным состояниям была выполнена Шокли в 1939 году и Игорем Таммом в 1932 году) и понял, что внешнее поле блокируется на поверхности из-за дополнительных электронов, которые притягиваются к поверхности полупроводника. Электроны оказываются запертыми в этих локализованных состояниях, образуя инверсионный слой. Гипотеза Бардина ознаменовала рождение физики поверхности . Затем Бардин решил использовать инверсионный слой вместо очень тонкого слоя полупроводника, который Шокли представлял в своих конструкциях полевых транзисторов. Основываясь на своей теории, в 1948 году Бардин запатентовал предшественника МОП-транзистора, полевой транзистор с изолированным затвором (IGFET) с инверсионным слоем. Инверсионный слой ограничивает поток неосновных носителей, увеличивая модуляцию и проводимость, хотя его электронный транспорт зависит от изолятора затвора или качества оксида, если он используется в качестве изолятора, нанесенного над инверсионным слоем. Патент Бардина, а также концепция инверсионного слоя составляют основу технологии КМОП сегодня. В 1976 году Шокли описал гипотезу Бардина о поверхностном состоянии «как одну из самых значительных исследовательских идей в программе полупроводников». [8]
После теории поверхностных состояний Бардина трио попыталось преодолеть эффект поверхностных состояний. В конце 1947 года Роберт Гибни и Браттейн предложили использовать электролит, помещенный между металлом и полупроводником, чтобы преодолеть эффекты поверхностных состояний. Их устройство FET работало, но усиление было плохим. Бардин пошел дальше и предложил сосредоточиться на проводимости инверсионного слоя. Дальнейшие эксперименты привели их к замене электролита слоем твердого оксида в надежде получить лучшие результаты. Их целью было проникнуть через оксидный слой и добраться до инверсионного слоя. Однако Бардин предложил им перейти с кремния на германий , и в процессе их оксид непреднамеренно смылся. Они наткнулись на совершенно другой транзистор, точечно-контактный транзистор . Лиллиан Ходдесон утверждает, что «если бы Браттейн и Бардейн работали с кремнием вместо германия, они бы наткнулись на успешный полевой транзистор». [8] [9] [10] [11] [12]
К концу первой половины 1950-х годов, после теоретических и экспериментальных работ Бардина, Браттейна, Кингстона, Моррисона и других, стало более ясно, что существует два типа поверхностных состояний. Было обнаружено, что быстрые поверхностные состояния связаны с объемом и интерфейсом полупроводник/оксид. Было обнаружено, что медленные поверхностные состояния связаны с оксидным слоем из-за адсорбции атомов, молекул и ионов оксидом из окружающей среды. Было обнаружено, что последние гораздо более многочисленны и имеют гораздо более длительное время релаксации . В то время Фило Фарнсворт и другие придумали различные методы получения атомарно чистых поверхностей полупроводников.
В 1955 году Карл Фрош и Линкольн Деррик случайно покрыли поверхность кремниевой пластины слоем диоксида кремния . [13] Они показали, что оксидный слой препятствует проникновению определенных легирующих примесей в кремниевую пластину, допуская при этом другие, тем самым открыв пассивирующий эффект окисления на поверхности полупроводника. Их дальнейшая работа продемонстрировала, как протравить небольшие отверстия в оксидном слое для диффузии легирующих примесей в выбранные области кремниевой пластины. В 1957 году они опубликовали исследовательскую работу и запатентовали свою методику, обобщающую их работу. Разработанная ими методика известна как маскирование оксидной диффузии, которая позже будет использоваться при изготовлении устройств MOSFET. [14] В Bell Labs важность методики Фроша была немедленно осознана. Результаты их работы распространялись в Bell Labs в форме служебных записок BTL, прежде чем были опубликованы в 1957 году. В Shockley Semiconductor Шокли распространил препринт их статьи в декабре 1956 года среди всех своих старших сотрудников, включая Жана Эрни . [6] [15] [16]
В 1955 году Ян Манро Росс подал заявку на патент на FeFET или MFSFET. Его структура была похожа на структуру современного инверсионного канала MOSFET, но в качестве диэлектрика/изолятора вместо оксида использовался сегнетоэлектрический материал. Он представлял его как форму памяти, за много лет до плавающего затвора MOSFET . В феврале 1957 года Джон Уоллмарк подал заявку на патент на FET , в котором в качестве диэлектрика затвора использовался монооксид германия , но он не стал развивать эту идею. В своем другом патенте, поданном в том же году, он описал двухзатворный FET. В марте 1957 года в своей лабораторной записной книжке Эрнесто Лабате, научный сотрудник Bell Labs , задумал устройство, похожее на предложенный позднее MOSFET, хотя устройство Лабате явно не использовало диоксид кремния в качестве изолятора. [17] [18] [19] [20]
В 1955 году Карл Фрош и Линкольн Деррик случайно вырастили слой диоксида кремния поверх кремниевой пластины, для которого они наблюдали эффекты пассивации поверхности . [21] [22] К 1957 году Фрош и Деррик, используя маскирование и предварительное осаждение, смогли изготовить транзисторы из диоксида кремния и показали, что диоксид кремния изолирует, защищает кремниевые пластины и предотвращает диффузию легирующих примесей в пластину. [21] [23] Дж. Р. Лигенца и В. Г. Шпитцер изучили механизм термически выращенных оксидов и изготовили высококачественный стек Si/ SiO 2 в 1960 году. [24] [25] [26]
После этого исследования Мохамед Аталла и Давон Канг предложили кремниевый МОП-транзистор в 1959 году [27] и успешно продемонстрировали работающее МОП-устройство со своей командой из Bell Labs в 1960 году. [28] [29] В их команду входили EE LaBate и EI Povilonis, которые изготовили устройство; MO Thurston, LA D'Asaro и JR Ligenza, которые разработали процессы диффузии, а также HK Gummel и R. Lindner, которые охарактеризовали устройство. [30] [31]
Благодаря своей высокой масштабируемости [32] , гораздо более низкому энергопотреблению и более высокой плотности, чем у биполярных транзисторов, [33] МОП-транзистор сделал возможным создание интегральных схем высокой плотности . [34] МОП-транзистор также способен обрабатывать более высокую мощность, чем JFET. [35] МОП-транзистор был первым по-настоящему компактным транзистором, который можно было миниатюризировать и производить массово для широкого спектра применений. [6] Таким образом, МОП-транзистор стал наиболее распространенным типом транзистора в компьютерах, электронике [36] и коммуникационных технологиях (например, смартфонах ). [37] Патентное и товарное ведомство США называет его «новаторским изобретением, которое изменило жизнь и культуру во всем мире». [37]
В 1948 году Бардин и Браттейн запатентовали прародителя МОП-транзистора — полевой транзистор с изолированным затвором (IGFET) с инверсионным слоем. Их патент и концепция инверсионного слоя сегодня составляют основу технологии КМОП. [38] КМОП (комплементарный МОП), процесс изготовления полупроводниковых приборов для МОП-транзисторов, был разработан Чи-Тангом Са и Фрэнком Ванлассом в Fairchild Semiconductor в 1963 году. [39] [40] Первый отчет о МОП-транзисторе с плавающим затвором был сделан Давоном Кангом и Саймоном Сзе в 1967 году. [41] Концепция тонкопленочного транзистора с двойным затвором (TFT) была предложена HR Farrah ( Bendix Corporation ) и RF Steinberg в 1967 году. [42] МОП -транзистор с двойным затвором был впервые продемонстрирован в 1984 году исследователями Электротехнической лаборатории Тосихиро Секигавой и Ютакой Хаяши. [43] [44] FinFET (fin-полевой транзистор), тип 3D непланарного многозатворного МОП-транзистора, возник в результате исследований Дига Хисамото и его команды в Центральной исследовательской лаборатории Hitachi в 1989 году. [45] [46]
Полевые транзисторы могут быть устройствами с основными носителями заряда, в которых ток переносится преимущественно основными носителями, или устройствами с неосновными носителями заряда, в которых ток в основном обусловлен потоком неосновных носителей. [47] Устройство состоит из активного канала, по которому носители заряда, электроны или дырки , текут от истока к стоку. Проводники выводов истока и стока подключены к полупроводнику через омические контакты . Проводимость канала является функцией потенциала, приложенного к выводам затвора и истока.
Три вывода полевого транзистора: [48]
Все полевые транзисторы имеют выводы истока , стока и затвора , которые примерно соответствуют эмиттеру , коллектору и базе биполярных транзисторов . Большинство полевых транзисторов имеют четвертый вывод, называемый телом , базой , объемом или подложкой . Этот четвертый вывод служит для смещения транзистора в работу; редко встречается нетривиальное использование вывода тела в схемах, но его наличие важно при настройке физической компоновки интегральной схемы . Размер затвора, длина L на схеме, представляет собой расстояние между истоком и стоком. Ширина представляет собой расширение транзистора в направлении, перпендикулярном поперечному сечению на схеме (т. е. внутрь/из экрана). Обычно ширина намного больше длины затвора. Длина затвора 1 мкм ограничивает верхнюю частоту примерно 5 ГГц, 0,2 мкм — примерно 30 ГГц.
Названия выводов относятся к их функциям. Вывод затвора можно рассматривать как управляющий открытием и закрытием физического затвора. Этот затвор позволяет электронам проходить через него или блокирует их проход, создавая или устраняя канал между истоком и стоком. Поток электронов от вывода источника к выводу стока зависит от приложенного напряжения. Тело просто относится к объему полупроводника, в котором находятся затвор, исток и сток. Обычно вывод тела подключен к самому высокому или самому низкому напряжению в цепи, в зависимости от типа полевого транзистора. Вывод тела и вывод источника иногда соединены вместе, поскольку источник часто подключен к самому высокому или самому низкому напряжению в цепи, хотя есть несколько применений полевых транзисторов, которые не имеют такой конфигурации, например, вентили передачи и каскодные схемы.
В отличие от BJT, подавляющее большинство FET электрически симметричны. Таким образом, выводы истока и стока можно менять местами в практических схемах без изменения рабочих характеристик или функций. Это может сбивать с толку, когда FET кажутся подключенными «наоборот» на принципиальных схемах и схемах, поскольку физическая ориентация FET была определена по другим причинам, например, из соображений компоновки печатной платы.
Полевой транзистор управляет потоком электронов (или электронных дырок ) от истока к стоку, влияя на размер и форму «проводящего канала», создаваемого и находящегося под влиянием напряжения (или отсутствия напряжения), приложенного к выводам затвора и истока. (Для простоты в этом обсуждении предполагается, что корпус и исток соединены.) Этот проводящий канал представляет собой «поток», по которому электроны текут от истока к стоку.
В n-канальном "режиме обеднения" отрицательное напряжение затвор-исток заставляет область обеднения расширяться в ширину и вторгаться в канал с боков, сужая канал. Если активная область расширяется, чтобы полностью закрыть канал, сопротивление канала от истока до стока становится большим, и полевой транзистор фактически выключается как переключатель (см. правый рисунок, когда есть очень малый ток). Это называется "отсечка", а напряжение, при котором это происходит, называется "напряжением отсечки". И наоборот, положительное напряжение затвор-исток увеличивает размер канала и позволяет электронам легко течь (см. правый рисунок, когда есть канал проводимости и ток большой).
В n-канальном устройстве «улучшенного режима» проводящий канал не существует естественным образом внутри транзистора, и для его создания необходимо положительное напряжение затвор-исток. Положительное напряжение притягивает свободно плавающие электроны внутри тела к затвору, образуя проводящий канал. Но сначала необходимо притянуть достаточно электронов вблизи затвора, чтобы противостоять легирующим ионам, добавленным в тело полевого транзистора; это образует область без подвижных носителей, называемую областью обеднения , а напряжение, при котором это происходит, называется пороговым напряжением полевого транзистора. Дальнейшее увеличение напряжения затвор-исток привлечет еще больше электронов к затвору, которые способны создать активный канал от истока к стоку; этот процесс называется инверсией .
В p-канальном устройстве «режима обеднения» положительное напряжение от затвора к корпусу расширяет обедненный слой, заставляя электроны двигаться к интерфейсу затвор-изолятор/полупроводник, оставляя открытой свободную от носителей область неподвижных, положительно заряженных ионов-акцепторов.
Напротив, в p-канальном устройстве «режима улучшения» проводящая область отсутствует, и для создания канала проводимости необходимо использовать отрицательное напряжение.
Для устройств как с режимом обогащения, так и с режимом обеднения при напряжениях сток-исток, намного меньших напряжений затвор-исток, изменение напряжения затвора изменит сопротивление канала, а ток стока будет пропорционален напряжению стока (относительно напряжения источника). В этом режиме полевой транзистор работает как переменный резистор, и говорят, что полевой транзистор работает в линейном режиме или омическом режиме. [49] [50]
Если напряжение сток-исток увеличивается, это создает значительное асимметричное изменение формы канала из-за градиента потенциала напряжения от источника к стоку. Форма области инверсии становится «защемленной» вблизи конца стока канала. Если напряжение сток-исток увеличивается еще больше, точка защемления канала начинает перемещаться от стока к истоку. Говорят, что полевой транзистор находится в режиме насыщения ; [51] хотя некоторые авторы называют его активным режимом для лучшей аналогии с рабочими областями биполярного транзистора. [52] [53]Режим насыщения, или область между омическим и насыщением, используется, когда необходимо усиление. Промежуточная область иногда считается частью омической или линейной области, даже если ток стока не является приблизительно линейным с напряжением стока.
Даже несмотря на то, что проводящий канал, образованный напряжением затвор-исток, больше не соединяет исток со стоком в режиме насыщения, поток носителей не блокируется. Если снова рассмотреть устройство с n-каналом в режиме улучшения, то в теле p-типа существует область истощения , окружающая проводящий канал и области стока и истока. Электроны, которые составляют канал, могут свободно выходить из канала через область истощения, если их притягивает к стоку напряжение сток-исток. Область истощения свободна от носителей и имеет сопротивление, подобное кремнию . Любое увеличение напряжения сток-исток увеличит расстояние от стока до точки отсечки, увеличивая сопротивление области истощения пропорционально приложенному напряжению сток-исток. Это пропорциональное изменение заставляет ток сток-исток оставаться относительно фиксированным, независимым от изменений напряжения сток-исток, что совсем не похоже на его омическое поведение в линейном режиме работы. Таким образом, в режиме насыщения FET ведет себя как источник постоянного тока, а не как резистор, и может эффективно использоваться как усилитель напряжения. В этом случае напряжение затвор-исток определяет уровень постоянного тока через канал.
Полевые транзисторы могут быть изготовлены из различных полупроводников, из которых кремний является наиболее распространенным. Большинство полевых транзисторов изготавливаются с использованием обычных методов обработки объемных полупроводников , используя монокристаллическую полупроводниковую пластину в качестве активной области или канала.
Среди наиболее необычных материалов корпуса — аморфный кремний , поликристаллический кремний или другие аморфные полупроводники в тонкопленочных транзисторах или органических полевых транзисторах (OFET), которые основаны на органических полупроводниках ; часто изоляторы затвора и электроды OFET также изготавливаются из органических материалов. Такие FET изготавливаются с использованием различных материалов, таких как карбид кремния (SiC), арсенид галлия (GaAs), нитрид галлия (GaN) и арсенид галлия-индия (InGaAs).
В июне 2011 года IBM объявила об успешном использовании полевых транзисторов на основе графена в интегральной схеме . [54] [55] Эти транзисторы способны работать на частоте среза около 2,23 ГГц, что намного выше, чем у стандартных кремниевых полевых транзисторов. [56]
Канал полевого транзистора легируется для получения либо полупроводника n-типа , либо полупроводника p-типа. Сток и исток могут быть легированы противоположным типом по отношению к каналу в случае полевых транзисторов с режимом обогащения или легированы аналогичным типом по отношению к каналу, как в полевых транзисторах с режимом обеднения. Полевые транзисторы также различаются по способу изоляции между каналом и затвором. Типы полевых транзисторов включают:
Полевые транзисторы имеют высокое сопротивление тока затвор-сток, порядка 100 МОм или более, что обеспечивает высокую степень изоляции между управлением и потоком. Поскольку шум базового тока будет увеличиваться со временем формирования [ необходимо разъяснение ] , [68] полевой транзистор обычно производит меньше шума, чем биполярный транзистор (BJT), и встречается в чувствительной к шуму электронике, такой как тюнеры и малошумящие усилители для VHF и спутниковых приемников. Он не показывает напряжения смещения при нулевом токе стока и является отличным прерывателем сигнала. Он обычно имеет лучшую термическую стабильность, чем BJT. [48]
Поскольку полевые транзисторы управляются зарядом затвора, как только затвор закрывается или открывается, нет дополнительного потребления мощности, как это было бы с биполярным транзистором или с неблокирующимися реле в некоторых состояниях. Это позволяет производить коммутацию с чрезвычайно низким энергопотреблением, что в свою очередь позволяет большую миниатюризацию схем, поскольку потребности в рассеивании тепла уменьшаются по сравнению с другими типами переключателей.
Полевой транзистор имеет относительно низкое произведение коэффициента усиления на полосу пропускания по сравнению с биполярным транзистором. МОП-транзисторы очень восприимчивы к перегрузкам по напряжению, поэтому требуют особого обращения во время установки. [69] Хрупкий изолирующий слой МОП-транзистора между затвором и каналом делает его уязвимым для электростатического разряда или изменений порогового напряжения во время обращения. Обычно это не является проблемой после того, как устройство установлено в правильно спроектированной схеме.
FET часто имеют очень низкое сопротивление «включено» и высокое сопротивление «выключено». Однако промежуточные сопротивления значительны, и поэтому FET могут рассеивать большое количество энергии при переключении. Таким образом, эффективность может сделать приоритетным быстрое переключение, но это может вызвать переходные процессы, которые могут возбуждать паразитные индуктивности и генерировать значительные напряжения, которые могут связываться с затвором и вызывать непреднамеренное переключение. Поэтому схемы FET могут требовать очень тщательной компоновки и могут включать компромиссы между скоростью переключения и рассеиванием мощности. Существует также компромисс между номинальным напряжением и сопротивлением «включено», поэтому высоковольтные FET имеют относительно высокое сопротивление «включено» и, следовательно, потери проводимости. [70]
Полевые транзисторы относительно надежны, особенно при работе в пределах температурных и электрических ограничений, определенных производителем (правильное снижение номинальных характеристик ). Однако современные устройства FET часто могут включать в себя внутренний диод . Если характеристики внутреннего диода не принимаются во внимание, FET может испытывать медленное поведение внутреннего диода, когда паразитный транзистор включится и позволит большому току проходить от стока к истоку, когда FET выключен. [71]
Наиболее часто используемый полевой транзистор — это МОП-транзистор . Технология КМОП (комплементарный металл-оксид-полупроводник) является основой современных цифровых интегральных схем . Эта технология использует схему, в которой (обычно «улучшенный режим») p-канальный МОП-транзистор и n-канальный МОП-транзистор соединены последовательно таким образом, что когда один включен, другой выключен.
В полевых транзисторах электроны могут течь в любом направлении через канал при работе в линейном режиме. Соглашение об именовании вывода стока и вывода истока несколько произвольно, поскольку устройства обычно (но не всегда) построены симметрично от источника к стоку. Это делает полевые транзисторы подходящими для переключения аналоговых сигналов между путями ( мультиплексирование ). С помощью этой концепции можно построить твердотельную микшерную плату , например. Полевой транзистор обычно используется в качестве усилителя. Например, из-за его большого входного сопротивления и низкого выходного сопротивления он эффективен в качестве буфера в конфигурации с общим стоком (источниковый повторитель).
БТИЗ используются для коммутации катушек зажигания двигателей внутреннего сгорания, где важны быстрое переключение и возможность блокировки напряжения.
Транзисторы с истоковым затвором более устойчивы к производственным и экологическим проблемам в электронных устройствах большой площади, таких как экраны дисплеев, но работают медленнее, чем полевые транзисторы. [72]