Голландский производитель оборудования для производства полупроводников
ASML Holding NV (обычно сокращается до ASML , изначально означающее Advanced Semiconductor Materials Lithography ) — голландская многонациональная корпорация, основанная в 1984 году. ASML специализируется на разработке и производстве фотолитографических машин, которые используются для производства компьютерных чипов .
По состоянию на 2023 год [обновлять]компания является крупнейшим поставщиком для полупроводниковой промышленности и единственным в мире поставщиком фотолитографических машин с экстремальной ультрафиолетовой литографией (EUV), необходимых для производства самых современных чипов. [2] По состоянию на март 2024 года [обновлять]ASML была самой высоко оцененной европейской технологической компанией с рыночной капитализацией около 397 миллиардов долларов США. [3] [4]
Штаб-квартира компании ASML находится в Велдховене , Нидерланды , и является местом проведения исследований, разработок, производства и сборки. В компании ASML работает более 42 000 человек [1] из 143 стран, и она опирается на сеть из почти 5 000 поставщиков первого уровня. [5] У ASML есть всемирная клиентская база и более шестидесяти точек обслуживания в шестнадцати странах. [5] У компании есть офисы в Нидерландах, США, Бельгии, Франции, Германии, Ирландии, Израиле, Италии, Великобритании, Китае, Гонконге, Японии, Южной Корее, Малайзии, Сингапуре и Тайване. [5]
Компания котируется на фондовых биржах AEX и NASDAQ под именем ASML. Она также является компонентом Euro Stoxx 50 [6] и NASDAQ-100 . [7]
Продукция
ASML производит фотолитографические машины, используемые в производстве компьютерных чипов. В этих машинах шаблоны оптически отображаются на кремниевой пластине , которая покрыта пленкой светочувствительного материала ( фоторезиста ). Эта процедура повторяется десятки раз на одной пластине. Затем фоторезист дополнительно обрабатывается для создания реальных электронных схем на кремнии. Оптическое изображение, с которым работают машины ASML, используется при изготовлении почти всех интегральных схем, и по состоянию на 2011 год на ASML приходилось 67 процентов мировых продаж литографических машин. [8]
С тех пор как иммерсионная литография была впервые предложена Берн-Джен Лином в 1970-х годах, [9] ASML сотрудничала с Taiwan Semiconductor Manufacturing (TSMC). В 2004 году TSMC начала коммерческое производство 90-нанометровых полупроводниковых узлов с использованием иммерсионной литографии ASML. [10] По состоянию на 2011 год их высокопроизводительная система TWINSCAN NXT:1950i использовалась для производства элементов размером до 32 нанометров со скоростью до 200 пластин в час, [11] используя линзу для иммерсии воды и лазер на фториде аргона , который производит свет с длиной волны 193 нм. По состоянию на 2011 год [обновлять]средняя стоимость литографической машины составляла 27 миллионов евро . [12]
DUV-литография
Устройства глубокой ультрафиолетовой литографии (DUV) от ASML используют свет, проникающий в УФ-спектр, для печати мельчайших элементов, формирующих структуру микрочипа. [13]
EUV-литография
EUV-литография — это важнейшая технология, используемая для создания самых маленьких и сложных конструкций чипов. ASML удерживает почти монополию на рынке EUV, не имея существенных прямых конкурентов. Машины компании способны вытравливать узоры размером до 8 нанометров, что является выдающимся достижением, учитывая, что толщина человеческого волоса составляет около 80 000 нанометров. [14]
Машины для экстремальной ультрафиолетовой литографии (EUV) производят свет в диапазоне длин волн 13,5 нм , когда высокоэнергетический лазер фокусируется на микроскопических каплях расплавленного олова для создания плазмы , которая затем излучает EUV-свет. Свет отражается от зеркал Zeiss на поверхность кремниевой пластины для доставки чертежей для чипа. [15]
В 2009 году исследовательский центр IMEC в Бельгии произвел первые в мире функциональные ячейки памяти CMOS Static с произвольным доступом 22 нм с помощью прототипа машины EUV-литографии. [16] После десятилетий разработки ASML поставила первую промышленную машину экстремальной ультрафиолетовой литографии либо в 2011 [12] либо в 2013 году. [17]
По состоянию на 2022 год [обновлять]ASML поставила около 140 систем EUV, и это единственная компания, которая их производит. [2] Самым продаваемым продуктом EUV от ASML является TWINSCAN NXE:3600D, стоимость которого составляет до 200 миллионов долларов. [2] Для перевозки машины размером с грузовик требуется перевезти 180 тонн тремя самолетами Boeing 747. [18]
ASML работает над следующим поколением систем EUV, первые поставки которым для целей НИОКР, как ожидается, состоятся в конце 2023 года. [17] Платформа обозначена как High-NA , поскольку она увеличит числовую апертуру (NA) с 0,33 до 0,55, [17] и ожидается, что каждая система будет стоить 300 миллионов долларов. [2]
В последние годы машины EUV компании ASML испытали значительный всплеск спроса, вызванный растущей сложностью и требованиями к производительности современной электроники. Этот всплеск спроса привел к устойчивому росту выручки компании, которая достигла 30 миллиардов долларов в 2023 году по сравнению с 13 миллиардами долларов пятью годами ранее. [14]
История
Компания, изначально называвшаяся ASM Lithography, теперь официально называется ASML, а не аббревиатура. [19] Она была основана в 1984 году как совместное предприятие голландских компаний ASM и Philips . В настоящее время это публичная компания. Когда компания стала независимой в 1988 году, было решено, что менять название нежелательно, и официальным названием компании стало ASML. [20]
ASML выпустила литографическую систему PAS 5500 в 1991 году, которая стала чрезвычайно успешной платформой для компании. [21] PAS 5500 была впервые использована Micron Technology , которая была одним из крупнейших в мире производителей компьютерной памяти и накопителей, и крупнейшим клиентом ASML в то время. [22] Успех линейки PAS 5500 вывел ASML в серьезную конкуренцию с Canon и Nikon , которые были лидерами в ту эпоху рынка литографии. [21]
В 1997 году ASML начала изучать переход к использованию экстремального ультрафиолета и в 1999 году присоединилась к консорциуму, включающему Intel и двух других американских производителей микросхем, чтобы использовать фундаментальные исследования, проводимые Министерством энергетики США . Поскольку CRADA , в рамках которой она работает, финансируется налогоплательщиками США, лицензирование должно быть одобрено Конгрессом. Она сотрудничала с бельгийскими IMEC и Sematech и обратилась к Carl Zeiss в Германии за зеркалами. [23]
В 2000 году ASML приобрела Silicon Valley Group (SVG), американского производителя литографического оборудования, также имеющего лицензию на результаты исследований в области EUV, в попытке поставлять 193-нм сканеры для корпорации Intel . [24] [25]
В 2002 году она стала крупнейшим поставщиком фотолитографических систем. [26]
В конце 2008 года ASML столкнулась с большим падением продаж, что заставило руководство сократить штат примерно на 1000 человек по всему миру, в основном контрактных работников [27], и обратиться за поддержкой в голландский национальный фонд по безработице, чтобы предотвратить еще большие увольнения. [28] Два с половиной года спустя ASML ожидала рекордно высокий доход. [29]
В июле 2012 года Intel объявила о сделке по инвестированию 4,1 млрд долларов в ASML в обмен на 15% акций, чтобы ускорить переход с пластин 300 мм на 450 мм и дальнейшее развитие EUV-литографии. [30] [31] Эта сделка не предусматривала исключительных прав на будущие продукты ASML, и по состоянию на июль 2012 года ASML предлагала еще 10% акций другим компаниям. [32] В рамках своей EUV-стратегии ASML объявила о приобретении производителя источников DUV и EUV Cymer в октябре 2012 года. [33]
В ноябре 2013 года ASML приостановила разработку 450-миллиметрового литографического оборудования, сославшись на неопределенность сроков спроса со стороны производителей микросхем. [34]
В 2015 году ASML пострадала от кражи интеллектуальной собственности . Было обнаружено, что ряд сотрудников крадут конфиденциальные данные из дочерней компании в Кремниевой долине, которая разрабатывает программное обеспечение для оптимизации машин. [35]
В июне 2016 года ASML объявила о своих планах приобрести тайваньскую компанию Hermes Microvision Inc. примерно за 3,1 миллиарда долларов, чтобы добавить технологию для создания более мелких и более совершенных полупроводников . [36]
В 2018 году администрация Трампа попыталась заблокировать продажу технологии ASML Китаю [37] , но по состоянию на 2021 год продолжающийся глобальный дефицит чипов , а также «технологическая холодная война» между США и Китаем стали бизнес-возможностью для ASML. [18]
В ноябре 2020 года компания ASML сообщила, что приобрела немецкую компанию по производству оптического стекла Berliner Glas Group, чтобы удовлетворить растущий спрос на компоненты для своих систем EUV. [38]
В июле 2021 года еврокомиссар Тьерри Бретон посетил ASML и объявил о цели обеспечить к 2030 году не менее 20% мирового производства полупроводников в Европе и поддержке со стороны Европейского альянса по полупроводникам. [39] После отчета о доходах в июле 2021 года компания заявила, что у нее почти монополия на машины, используемые TSMC и Samsung Electronics для производства передовых чипов. [40]
В феврале 2023 года ASML заявила, что бывший работник в Китае «якобы» украл информацию о технологиях компании. Это был не первый случай, когда ASML якобы была связана с нарушением прав интеллектуальной собственности, связанным с Китаем. В своем годовом отчете за 2021 год ASML упомянула, что Dongfang Jingyuan Electron Limited «активно продвигала в Китае продукцию, которая потенциально могла нарушать права интеллектуальной собственности ASML». [41] В то время Министерство торговли США выразило обеспокоенность по поводу экономического шпионажа против ASML. [42] В октябре 2023 года голландская газета NRC Handelsblad сообщила, что бывший сотрудник, который «якобы» украл данные о технологиях ASML, впоследствии перешел на работу в Huawei . [43]
В марте 2023 года правительство Нидерландов ввело ограничения на экспорт микросхем в целях защиты национальной безопасности. Эта мера затронула ASML как одну из важнейших компаний в глобальной цепочке поставок микросхем. [44] Требования к экспортной лицензии вступили в силу в сентябре 2023 года. [45]
В январе 2024 года правительство Нидерландов ввело дополнительные ограничения на поставки в Китай некоторого современного оборудования для производства микросхем. [49] 6 сентября 2024 года правительство Нидерландов ужесточило экспортный контроль в отношении определенного оборудования для производства микросхем ASML, согласовав свою политику с ограничениями США по ограничению доступа Китая к передовым технологиям на фоне проблем безопасности и геополитики. [50]
Финансы
Акционер
Спонсорство
ASML стала спонсором футбольного клуба PSV в 2019 году совместно с Philips , VDL Groep , Royal Swinkels Family Brewers и Jumbo Supermarkets из региона Брэйнпорт. [54] [55] Вместе они реализуют различные инициативы, такие как футбольные тренировочные лагеря для школьников, разработка интерактивных программ для обучения, помощь нуждающимся членам сообщества или тем, кто недавно приехал в регион, а также поддержка программы жизненной силы, которая доступна онлайн. [56] [57]
Награды
Премия IEEE Spectrum Emerging Technology 2018 была присуждена компании ASML за ее систему экстремальной ультрафиолетовой литографии. В настоящее время ASML является ведущим поставщиком систем фотолитографии для полупроводниковой промышленности. [58]
В номинации «Популярная премия» Вадим Банин получил Европейскую премию изобретателя 2018 года за формирование будущего производства микрочипов. [59]
Крупнейший независимый исследовательский центр микроэлектроники в Европе называется IMEC (Interuniversity Micro Electronics Centre). Мартин ван ден Бринк из ASML получил премию IMEC Lifetime of Innovation Award 2019. [60]
Ассоциация по связям с инвесторами Нидерландов (NEVIR), где компании, чьи акции котируются на бирже, и специалисты по связям с инвесторами получили возможность получить признание за свою выдающуюся работу в этом секторе, вручила награды ASML в номинациях: «Лучшая компания в сфере связей с инвесторами» во время ежегодной церемонии награждения Dutch IR Awards 2019. [61]
ASML получила премию SEMI Americas Award на конференции по микроэлектронике SEMICON West 2020 года за совместный подход к литографии в экстремальном ультрафиолете (EUV), который помог ей стать коммерчески жизнеспособной и открыл дверь новым технологическим возможностям. [62]
Премия Intel Preferred Quality Supplier (PQS) Award за 2020 год была присуждена компании ASML. ASML достигла уровня производительности, который постоянно превосходит ожидания Intel в отношении приверженности постоянному улучшению качества. [63]
Голландская премия за инновации 2021 года была вручена ASML на 4-м Национальном инновационном ужине BID AVROTROS, состоявшемся в замке Виттенбург в Вассенаре . [64]
ASML получила первую премию CoSta Award за самое успешное и эффективное инновационное партнерство между корпоративной компанией и стартапом. [65]
Ссылки
^ abcdefgh "ASML 2023 Annual Report (Form 20-F)". Комиссия по ценным бумагам и биржам США. 14 февраля 2024 г. Архивировано из оригинала 14 февраля 2024 г.
^ abcd Тарасов, Кэти (23 марта 2022 г.). «ASML — единственная компания, производящая машины стоимостью 200 миллионов долларов, необходимые для печати каждого передового микрочипа. Вот взгляд изнутри». CNBC . Архивировано из оригинала 14 ноября 2022 г. . Получено 30 марта 2023 г. .
^ "Крупнейшие технологические компании по рыночной капитализации". CompaniesMarketcap.com . 9 апреля 2023 г. Архивировано из оригинала 9 ноября 2022 г. Получено 9 апреля 2023 г.
^ О'Грейди, Кармел; Кеньон, Мэтью (21 февраля 2023 г.). «Как ASML стала самой ценной технологической фирмой Европы». BBC News .
^ abc "2022 Combined Annual Report - ASML". ASML . 15 февраля 2023 г. Архивировано из оригинала 9 апреля 2023 г. Получено 9 апреля 2023 г.
^ "ASML HOLDING - Котировки Euronext exchange Live". Euronext . Архивировано из оригинала 9 апреля 2023 г. . Получено 9 апреля 2023 г. .
^ "Quotes For Nasdaq-100 Index". Nasdaq . Архивировано из оригинала 25 декабря 2021 г. Получено 9 апреля 2023 г.
^ ASML: Устойчивость — производительность и цели Архивировано 14 августа 2018 г. на Wayback Machine . ASML.com (2011)
^ "Burn Lin: The 2023 SPIE Mozi Award". spie.org . Архивировано из оригинала 6 мая 2023 г. . Получено 6 мая 2023 г. .
^ "90 нм технология". TSMC . 2019. Архивировано из оригинала 26 июня 2019 . Получено 30 июня 2019 .
^ ASML улучшает NXT:1950i, чтобы соответствовать сложным требованиям к визуализации и наложению и предоставить экономически эффективную платформу для 22 нм Архивировано 5 апреля 2012 г. на Wayback Machine . Пресс-релиз, 12 июля 2011 г.
^ ab Результаты третьего квартала 2011 г. Архивировано 5 апреля 2012 г. на Wayback Machine . Пресс-релиз ASML.
^ "Системы литографии ASML EUV". www.asml.com . Получено 4 июля 2023 г. .
^ ab Nover, Scott (20 августа 2024 г.). «Самая мощная компания в сфере технологий — это нишевый голландский бизнес, о котором вы никогда не слышали». Sherwood News . Получено 21 августа 2024 г.
^ Patel, Nilay (31 января 2023 г.). «Глобальная битва за производство микросхем и почему США пытаются помешать Китаю покупать машины из Нидерландов». The Verge . Архивировано из оригинала 31 марта 2023 г. Получено 30 марта 2023 г.
^ IMEC представляет функциональные ячейки SRAM 22 нм, изготовленные с использованием технологии EUV Архивировано 1 июня 2010 г. на Wayback Machine . Пресс-релиз IMEC, 22 апреля 2009 г.
^ abc "ASML EUV lithography systems". ASML . Архивировано из оригинала 31 марта 2023 г. Получено 30 марта 2023 г.
↑ ab Кристоф Г. Шмутц (30 июля 2021 г.). «Wie die niederländische Firma ASML in den technologischen kalten Krieg zwischen den USA und China geraten ist».
^ "About ASML: Questions and Answers". ASML Holding. Архивировано из оригинала 28 июля 2010 года . Получено 3 августа 2010 года .
^ "ASML: About ASML". 20 февраля 2014 г. Архивировано из оригинала 28 июля 2010 г. Получено 27 декабря 2022 г.
^ ab Cuofano, Gennaro (11 октября 2022 г.). «Как ASML зарабатывает деньги? Бизнес-модель ASML в двух словах». FourWeekMBA . Архивировано из оригинала 31 марта 2023 г. . Получено 30 марта 2023 г. .
^ "Три десятилетия PAS 5500". ASML . 7 мая 2021 г. Архивировано из оригинала 31 марта 2023 г. Получено 30 марта 2023 г.
^ Кларк, Дон (4 июля 2021 г.). «Технологическая «самая сложная машина» холодной войны, которая находится вне досягаемости Китая». The New York Times . ISSN 0362-4331. Архивировано из оригинала 16 января 2023 г. Получено 9 ноября 2022 г.
^ "ASML отказывается от разработанного SVG 193-нм сканера, чтобы сосредоточиться на платформе Twinscan | EE Times". Архивировано из оригинала 7 сентября 2014 г. Получено 7 сентября 2014 г.
^ "Intel отменяет план использования 193-нм сканеров SVG в производстве из-за задержек | EE Times". Архивировано из оригинала 7 сентября 2014 г. Получено 7 сентября 2014 г.
↑ ASML принимает меры по корректировке своей организации из-за серьезного замедления выполнения заказов. Архивировано 15 марта 2010 г. в пресс-релизе Wayback Machine .
↑ Компания по производству чипов ASML сокращает перспективы и проводит увольнения. Архивировано 25 мая 2018 г. на Wayback Machine . WSJ.com, 19 декабря 2008 г.
^ ASML видит рекордный год. Архивировано 25 мая 2018 г. на Wayback Machine . The Wall Street Journal , апрель 2011 г.
^ ASML выигрывает финансирование чиповых технологий от Intel. Архивировано 1 ноября 2021 г. на Wayback Machine . Reuters, 10 июля 2012 г.
^ ASML объявляет о программе совместного инвестирования клиентов, направленной на ускорение инноваций. Архивировано 12 июля 2012 г. на Wayback Machine . Пресс-релиз ASML, 9 июля 2012 г.
^ "Intel финансирует производство микросхем следующего поколения, покупает ASML за 4,1 миллиарда долларов". Reuters . 9 июля 2012 г. Архивировано из оригинала 31 июля 2020 г. Получено 5 июля 2021 г.
^ [1] Архивировано 8 марта 2014 г. в пресс-релизе Wayback Machine ASML от 17 октября 2012 г.
^ "ASML 2013 Annual Report Form (20-F)" (XBRL) . Комиссия по ценным бумагам и биржам США. 11 февраля 2014 г. Архивировано из оригинала 24 сентября 2015 г. . Получено 27 августа 2017 г. В ноябре 2013 г., следуя решению наших клиентов, ASML решила приостановить разработку систем литографии 450 мм до тех пор, пока не станет ясен спрос клиентов и сроки, связанные с таким спросом.
^ Deutsch, Toby Sterling, Anthony (11 апреля 2019 г.). «ASML заявляет, что пострадала от кражи интеллектуальной собственности, отклоняет ярлык «китайский»». Reuters . Архивировано из оригинала 10 мая 2021 г. Получено 26 марта 2021 г.{{cite news}}: CS1 maint: несколько имен: список авторов ( ссылка )
^ Ян Кинг, Bloomberg. «ASML приобретает тайваньскую Hermes Microvision за 3,1 миллиарда долларов. Архивировано 4 сентября 2016 года на Wayback Machine ». 15 июня 2016 года. 16 июня 2016 года.
^ «Администрация Трампа оказала сильное давление на голландцев, чтобы они отменили продажу чип-оборудования Китаю: источники». Reuters . 6 января 2020 г. Архивировано из оригинала 9 ноября 2022 г. Получено 9 ноября 2022 г.
^ "ASML acquirement of Berliner Glas Group complete". www.asml.com . 2 ноября 2020 г. Архивировано из оригинала 5 марта 2021 г. Получено 26 марта 2021 г.
↑ Тьерри Бретон (21 мая 2021 г.). «Внутри будущего: план Европы по процветанию в глобальной гонке микрочипов». Веб-сайт Европейской комиссии .
^ "Акции ASML падают на фоне сообщения о том, что США хотят ограничить продажи в Китай". Reuters . 6 июля 2022 г. Архивировано из оригинала 14 марта 2023 г. Получено 14 марта 2023 г.
^ "Война чипов между США и Китаем: ASML утверждает, что китайский сотрудник украл данные". BBC News . 16 февраля 2023 г. Архивировано из оригинала 16 февраля 2023 г. Получено 16 февраля 2023 г.
^ "Украденные данные ASML поступили из технического репозитория для чип-машин". Bloomberg News . 15 февраля 2023 г. Получено 23 октября 2023 г.
^ Koc, Cagan (23 октября 2023 г.). «Бывший сотрудник ASML, обвиняемый в краже, перешел на работу в Huawei, заявляет NRC». Bloomberg News . Получено 23 октября 2023 г.
^ "Война чипов между США и Китаем: Нидерланды принимают меры по ограничению некоторых видов экспорта". BBC News . 9 марта 2023 г. Архивировано из оригинала 9 марта 2023 г. Получено 9 марта 2023 г.
^ Кордер, Майк (30 июня 2023 г.). «Ограничения на экспорт полупроводниковых машин из Нидерландов вступят в силу в сентябре». AP News . Архивировано из оригинала 30 июня 2023 г. Получено 30 июня 2023 г.
^ mkivit (20 июня 2023 г.). «ASML maakt onderscheid op grond van nationaliteit maar dit is not verboden». РАДАР (на голландском языке) . Проверено 29 января 2024 г.
^ Стерлинг, Тоби (26 июня 2023 г.). «Голландский орган по правам человека: ASML может следовать правилам экспорта США при найме». Reuters . Получено 21 марта 2024 г.
↑ Veiligheid, Ministryie van Justitie (20 июня 2023 г.). «Колледж oordeelt: aannamebeleid ASML levert geen verboden onderscheid op - Nieuwsbericht - College voor de Rechten van de Mens». www.mensenrechten.nl (на голландском языке) . Проверено 29 января 2024 г.
^ Madhok, Diksha (2 января 2024 г.). «ASML вынуждена приостановить часть китайского экспорта после обострения технологической битвы в США | CNN Business». CNN . Получено 2 января 2024 г.
^ Стерлинг, Тоби (6 сентября 2024 г.). «Голландское правительство восстанавливает экспортный контроль над двумя инструментами ASML из США». Reuters . Получено 8 сентября 2024 г.
^ "Дивиденды ASML | KGV | Bilanz | Umsatz | Gewinn" . boerse.de (на немецком языке). Архивировано из оригинала 26 марта 2022 года . Проверено 26 марта 2022 г.
^ "Проверено 6 ноября 2022". Архивировано из оригинала 10 октября 2022 . Проверено 6 ноября 2022 .
^ "Проверено 6 ноября 2022". Архивировано из оригинала 10 октября 2022 . Проверено 6 ноября 2022 .
^ "Спортивные, художественные и музыкальные инициативы в ASML". ASML . Получено 26 июня 2024 г. .
^ "Brainport and companies unite". www.psv.nl . 18 декабря 2023 г. Получено 26 июня 2024 г.
^ "PSV и ASML расширяют сотрудничество". www.psv.nl . 11 июня 2021 г. . Получено 26 июня 2024 г. .
^ "Годовой отчет 2021". www.sec.gov . Получено 26 июня 2024 г. .
^ "IEEE Spectrum Emerging Technology Award ASML 2018 IEEE honors ceremony". IEEE . 30 мая 2018 г. Архивировано из оригинала 13 ноября 2022 г. Получено 6 ноября 2022 г.
^ "European Inventor Award 2018". zeiss.com . Архивировано из оригинала 13 ноября 2022 г. Получено 6 ноября 2022 г.
^ "ASML Man выигрывает высшую награду". eindhovennews.com . 15 мая 2019 г. Архивировано из оригинала 13 ноября 2022 г. Получено 3 ноября 2022 г.
^ "ASML, BESI, Basic Fit победители Dutch IR Awards 2019". cffcommunications.nl . 11 января 2019 г. Архивировано из оригинала 13 ноября 2022 г. Получено 3 ноября 2022 г.
^ "ASML выигрывает полуамериканскую премию за EUV". asml.com . 20 июля 2020 г. Архивировано из оригинала 30 октября 2022 г. Получено 30 октября 2022 г.
^ "ASML получает награду Intel's 2020 Preferred Quality Supplier PQS Award". marketscreener.com . 30 марта 2021 г. Архивировано из оригинала 30 октября 2022 г. Получено 30 октября 2022 г.
^ "ASML Wins Dutch Innovation Prize". siliconcanals.com . 27 октября 2021 г. Архивировано из оригинала 30 октября 2022 г. Получено 30 октября 2022 г.
^ "ASML и Incooling выигрывают премию CoSta". incooling.com . Архивировано из оригинала 13 ноября 2022 г. Получено 12 ноября 2022 г.