stringtranslate.com

арсенид галлия индия

Арсенид индия и галлия (InGaAs) (альтернативно арсенид галлия и индия, GaInAs) представляет собой тройной сплав ( химическое соединение ) арсенида индия (InAs) и арсенида галлия (GaAs). Индий и галлий являются элементами III группы периодической таблицы, а мышьяк является элементом V группы . Сплавы, изготовленные из этих химических групп, называются соединениями "III-V" . InGaAs имеет промежуточные свойства между свойствами GaAs и InAs. InGaAs является полупроводником комнатной температуры , применяемым в электронике и фотонике .

Основное значение GaInAs заключается в его применении в качестве высокоскоростного, высокочувствительного фотодетектора, подходящего для оптоволоконных телекоммуникаций. [1]

Номенклатура

Арсенид галлия индия (InGaAs) и арсенид галлия-индия (GaInAs) используются взаимозаменяемо. Согласно стандартам IUPAC [2] предпочтительная номенклатура для сплава - Ga x In 1-x As, где элементы группы III располагаются в порядке увеличения атомного номера, как в родственной системе сплава Al x Ga 1-x As. Безусловно, наиболее важным составом сплава с технологической и коммерческой точек зрения является Ga 0,47 In 0,53 As, который может быть осажден в виде монокристалла на фосфиде индия (InP).

Синтез материалов

GaInAs не является природным материалом. Монокристаллический материал требуется для электронных и фотонных устройств. Пирсолл и его коллеги были первыми, кто описал монокристаллический эпитаксиальный рост In 0,53 Ga 0,47 As на подложках InP с ориентацией (111) [3] и (100) [4] . Монокристаллический материал в виде тонкой пленки можно выращивать методом эпитаксии из жидкой фазы (LPE), паровой фазы (VPE), методом молекулярно-лучевой эпитаксии (MBE) и методом химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MO-CVD). [5] Сегодня большинство коммерческих устройств производятся методом MO-CVD или MBE.

Оптические и механические свойства InGaAs можно изменять, изменяя соотношение InAs и GaAs, In
1-xГа
хКак . [6] Большинство устройств InGaAs выращиваются на подложках из фосфида индия (InP). Чтобы соответствовать постоянной решетки InP и избежать механических напряжений, In
0,53Га
0,47Используется As . Этот состав имеет оптический край поглощения при 0,75 эВ, что соответствует критической длине волны λ=1,68  мкм при 295 К.

Увеличивая мольную долю InAs по сравнению с GaAs, можно расширить длину волны отсечки примерно до λ=2,6 мкм. В этом случае необходимо принять специальные меры, чтобы избежать механических напряжений из-за различий в постоянных решеток .

Решетка GaAs не совпадает с решеткой германия (Ge) на 0,08%. При добавлении 1,5% InAs в сплав, In 0,015 Ga 0,985 As становится согласованной с решеткой подложки Ge, что снижает напряжение при последующем осаждении GaAs.

Электронные и оптические свойства

Рис.1 Энергетическая щель в зависимости от состава галлия для GaInAs

InGaAs имеет параметр решетки, который линейно увеличивается с концентрацией InAs в сплаве. [7] Диаграмма фазового состояния жидкость-твердое тело [3] показывает, что во время затвердевания из раствора, содержащего GaAs и InAs, GaAs поглощается с гораздо большей скоростью, чем InAs, истощая раствор GaAs. Во время роста из раствора состав первого затвердевающего материала богат GaAs, в то время как последний затвердевающий материал богаче InAs. Эта особенность была использована для получения слитков InGaAs с градиентным составом по длине слитка. Однако деформация, вызванная изменением постоянной решетки, приводит к тому, что слиток становится поликристаллическим и ограничивает характеристику несколькими параметрами, такими как ширина запрещенной зоны и постоянная решетки с неопределенностью из-за непрерывного изменения состава в этих образцах.

Рис.2 Параметр решетки GaInAs в зависимости от содержания примесей GaAs
Рис.3 Фотолюминесценция GaInAs n-типа и p-типа [8]

Свойства монокристалла GaInAs

Монокристаллический GaInAs

Монокристаллические эпитаксиальные пленки GaInAs могут быть нанесены на монокристаллическую подложку полупроводника III-V, имеющего параметр решетки, близкий к параметру решетки конкретного сплава арсенида галлия-индия, который должен быть синтезирован. Можно использовать три подложки: GaAs, InAs и InP. Для сохранения свойств монокристалла требуется хорошее соответствие между постоянными решетки пленки и подложки , и это ограничение допускает небольшие изменения состава порядка нескольких процентов. Поэтому свойства эпитаксиальных пленок сплавов GaInAs, выращенных на GaAs, очень похожи на GaAs, а выращенные на InAs, очень похожи на InAs, поскольку деформация несоответствия решетки, как правило, не допускает значительного отклонения состава от чистой бинарной подложки.

Га
0,47В
0,53Как и сплав, параметр решетки которого совпадает с параметром решетки InP при 295 К. GaInAs, согласованный по решетке с InP, является полупроводником со свойствами, существенно отличающимися от свойств GaAs, InAs или InP. Он имеет ширину запрещенной зоны 0,75 эВ, эффективную массу электронов 0,041 и подвижность электронов, близкую к 10 000 см2 · В −1 · с −1 при комнатной температуре, все из которых более благоприятны для многих применений электронных и фотонных устройств по сравнению с GaAs, InP или даже Si. [1] Измерения ширины запрещенной зоны и подвижности электронов монокристаллического GaInAs были впервые опубликованы Такедой и его коллегами. [9]

Параметр решетки ГЦК

Как и у большинства материалов, параметр решетки GaInAs является функцией температуры. Измеренный коэффициент теплового расширения [13] равен5,66 × 10−6  K −1 . Это значительно больше коэффициента для InP, который равен4,56 × 10−6  K −1 . Пленка , которая точно соответствует решетке InP при комнатной температуре, обычно выращивается при 650 °C с несоответствием решетки +6,5 × 10−4 . Такая пленка имеет мольную долю GaAs = 0,47 . Для получения согласования решеток при температуре роста необходимо увеличить мольную долю GaAs до 0,48.

Энергия запрещенной зоны

Энергию запрещенной зоны GaInAs можно определить по пику в спектре фотолюминесценции при условии, что общая концентрация примесей и дефектов меньше5 × 10 16  см −3 . Энергия запрещенной зоны зависит от температуры и увеличивается с понижением температуры, как можно видеть на рис. 3 для образцов как n-типа, так и p-типа. Энергия запрещенной зоны при комнатной температуре для стандартного InGaAs/InP (53% InAs, 47% GaAs) составляет 0,75 эВ и лежит между значениями для Ge и Si. По совпадению запрещенная зона GaInAs идеально подходит для фотодетекторных и лазерных приложений для длинноволнового окна пропускания (C-диапазон и L-диапазон) для волоконно-оптической связи .

Эффективная масса

Эффективная масса электронов GaInAs m * /m° = 0,041 [10] является наименьшей для любого полупроводникового материала с шириной запрещенной зоны более 0,5 эВ. Эффективная масса определяется из кривизны соотношения энергии и импульса: более сильная кривизна приводит к меньшей эффективной массе и большему радиусу делокализации. С практической точки зрения, низкая эффективная масса напрямую приводит к высокой подвижности носителей, благоприятствуя более высокой скорости транспорта и пропускной способности тока. Более низкая эффективная масса носителей также благоприятствует увеличению туннельного тока, что является прямым результатом делокализации.

Валентная зона имеет два типа носителей заряда: легкие дырки: m * /m° = 0,051 [11] и тяжелые дырки: m * /m° = 0,2. [14] Электрические и оптические свойства валентной зоны определяются тяжелыми дырками, поскольку плотность этих состояний намного больше, чем у легких дырок. Это также отражается в подвижности дырок при 295 К, которая в 40 раз ниже, чем у электронов.

Рис.4 Подвижности электронов и дырок GaInAs в зависимости от концентрации примесей при 295 К. [12]

Подвижность электронов и дырок

Подвижность электронов и подвижность дырок являются ключевыми параметрами для проектирования и производительности электронных устройств. Такеда и его коллеги были первыми, кто измерил подвижность электронов в эпитаксиальных пленках InGaAs на подложках InP. [9] Измеренные подвижности носителей для электронов и дырок показаны на рисунке 4.

Подвижность носителей в Га
0,47В
0,53Это необычно в двух отношениях:

Подвижность электронов при комнатной температуре для достаточно чистых образцов Ga
0,47В
0,53По мере приближения10 × 10 3  см 2 ·В −1 ·с −1 , что является наибольшим показателем среди всех технологически важных полупроводников, хотя и значительно меньше, чем у графена .

Подвижность пропорциональна проводимости носителей. С ростом подвижности увеличивается и токонесущая способность транзисторов. Более высокая подвижность сокращает время отклика фотодетекторов . Большая подвижность уменьшает последовательное сопротивление, и это повышает эффективность устройства и снижает шум и энергопотребление.

Константа диффузии неосновных носителей заряда прямо пропорциональна подвижности носителей заряда. Константа диффузии электронов при комнатной температуре при250 см 2 ·с −1 значительно больше, чем у Si, GaAs, Ge или InP, и определяет сверхбыстрый отклик Ga
0,47В
0,53В качестве фотодетекторов.

Соотношение подвижности электронов и дырок является самым большим среди используемых в настоящее время полупроводников.

Приложения

Рис.5 вверху: Ge фотодиод внизу: GaInAs фотодиод в диапазоне длин волн от 1 мкм до 2 мкм. [15]

Фотодетекторы

Основное применение GaInAs — инфракрасный детектор . Спектральный отклик фотодиода GaInAs показан на рисунке 5. Фотодиоды GaInAs являются предпочтительным выбором в диапазоне длин волн 1,1 мкм < λ < 1,7 мкм. Например, по сравнению с фотодиодами, изготовленными из Ge, фотодиоды GaInAs имеют более быстрое время отклика, более высокую квантовую эффективность и меньший темновой ток для той же площади сенсора. [16] Фотодиоды GaInAs были изобретены в 1977 году Пирсоллом. [17]

Лавинные фотодиоды предлагают преимущество дополнительного усиления за счет времени отклика. Эти устройства особенно полезны для обнаружения отдельных фотонов в таких приложениях, как распределение квантового ключа , где время отклика не является критическим. Лавинные фотодетекторы требуют специальной структуры для уменьшения обратного тока утечки из-за туннелирования. Первые практические лавинные фотодиоды были разработаны и продемонстрированы в 1979 году. [18]

В 1980 году Пирсолл разработал конструкцию фотодиода, которая использует уникально короткое время диффузии высокой подвижности электронов в GaInAs, что приводит к сверхбыстрому времени отклика. [19] [20] Эта структура была доработана и впоследствии названа UTC, или фотодиодом с однопутешествующим носителем. [21] В 1989 году Вей и его коллеги [22] разработали и продемонстрировали штыревые фотодиоды GaInAs/InP со временем отклика менее 5 пикосекунд для поверхности детектора размером 5 мкм x 5 мкм.

Другие важные инновации включают интегрированный фотодиод – приемник FET [23] и разработку матриц фокальной плоскости GaInAs. [24]

Лазеры

Полупроводниковые лазеры являются важным применением GaInAs после фотодетекторов. GaInAs может использоваться в качестве лазерной среды. Были сконструированы устройства, работающие на длинах волн 905 нм, 980 нм, 1060 нм и 1300 нм. Квантовые точки InGaAs на GaAs также изучались в качестве лазеров. [25] Лазеры с квантовыми ямами GaInAs/ InAlAs могут быть настроены для работы в окне с малыми потерями и низкой дисперсией λ = 1500 нм для оптоволоконных телекоммуникаций [26] В 1994 году квантовые ямы GaInAs/ AlInAs были использованы Жеромом Фейстом и его коллегами [27], которые изобрели и продемонстрировали новый тип полупроводникового лазера, основанный на испускании фотона электроном, совершающим оптический переход между подзонами в квантовой яме. Они показали, что области испускания фотонов могут быть каскадированы последовательно, создавая квантовый каскадный лазер (QCL). Энергия испускания фотонов составляет часть энергии запрещенной зоны. Например, GaInAs/ AlInAs QCL работает при комнатной температуре в диапазоне длин волн 3 мкм < λ < 8 мкм. Длину волны можно изменить, изменив ширину квантовой ямы GaInAs. [28] Эти лазеры широко используются для химического зондирования и контроля загрязнения.

Фотоэлектричество и транзисторы

GaInAs используется в тройных фотоэлектрических преобразователях , а также для термофотоэлектрической генерации электроэнергии. [29]

В
0,015Га
0,985As может использоваться в качестве промежуточного запрещенного перехода в многопереходных фотоэлектрических элементах с идеальным соответствием решетки Ge. Идеальное соответствие решетки Ge снижает плотность дефектов, повышая эффективность элемента. [ необходима цитата ]

Устройства HEMT , использующие каналы InGaAs, являются одними из самых быстрых типов транзисторов [30] [ необходима цитата ]

В 2012 году исследователи Массачусетского технологического института объявили о создании самого маленького транзистора, когда-либо созданного из материала, отличного от кремния. [31] Полевой транзистор на основе металл-оксида-полупроводника ( MOSFET ) имеет длину 22 нанометра. Это многообещающее достижение, но необходимо провести больше исследований, чтобы показать, что уменьшенный размер приводит к улучшению электронных характеристик по сравнению с транзисторами на основе кремния или GaAs.

В 2014 году исследователи из Университета штата Пенсильвания разработали прототип нового устройства, предназначенного для тестирования нанопроводов из сложных полупроводников, таких как InGaAs. [32] Целью этого устройства было выяснить, сохранит ли составной материал свою превосходную подвижность в наномасштабных размерах в конфигурации устройства FinFET. Результаты этого теста побудили ту же исследовательскую группу провести дополнительные исследования транзисторов из InGaAs, которые показали, что с точки зрения тока включения при более низком напряжении питания InGaAs показал себя очень хорошо по сравнению с существующими кремниевыми устройствами.

В феврале 2015 года Intel сообщила, что может использовать InGaAs для своего 7-нанометрового КМОП-процесса в 2017 году. [33]

Безопасность и токсичность

Синтез GaInAs, как и GaAs, чаще всего связан с использованием арсина ( AsH
3), чрезвычайно токсичный газ. Синтез InP также чаще всего включает фосфин ( PH
3). Вдыхание этих газов нейтрализует поглощение кислорода кровотоком и может привести к летальному исходу в течение нескольких минут, если превышены уровни токсичной дозы. Безопасное обращение подразумевает использование чувствительной системы обнаружения токсичных газов и автономного дыхательного аппарата. [34]

После того, как GaInAs нанесен в виде тонкой пленки на подложку, он в основном инертен и устойчив к истиранию, сублимации или растворению обычными растворителями, такими как вода, спирты или ацетоны . В форме устройства объем GaInAs обычно меньше, чем1000  мкм 3 , и им можно пренебречь по сравнению с объемом поддерживающей подложки, InP или GaAs.

Национальные институты здравоохранения изучили эти материалы и обнаружили: [35]

Обзор токсикологического исследования Национальных институтов здравоохранения, проведенный Международным агентством по изучению рака Всемирной организации здравоохранения, пришел к следующему выводу: [36]

REACH ( Регистрация, оценка, разрешение и ограничение химических веществ ) — европейская инициатива по классификации и регулированию материалов, которые используются или производятся (даже в качестве отходов) в производстве. REACH рассматривает три класса токсичности: канцерогенные, репродуктивные и мутагенные способности.

Процедура классификации REACH состоит из двух основных фаз. На первой фазе определяются опасности, присущие материалу, без учета того, как материал может использоваться или с которым может столкнуться на рабочем месте или потребитель. На второй фазе рассматривается риск вредного воздействия вместе с процедурами, которые могут смягчить воздействие. И GaAs, и InP находятся на стадии оценки 1 фазы. Основной риск воздействия возникает во время подготовки подложки, когда шлифовка и полировка создают частицы GaAs и InP микронного размера. Аналогичные опасения применимы к нарезке пластин для изготовления отдельных устройств. Эта пыль из частиц может поглощаться при вдыхании или проглатывании. Увеличенное отношение площади поверхности к объему для таких частиц увеличивает их химическую реактивность.

Токсикологические исследования основаны на экспериментах с крысами и мышами. Ни одно сопоставимое исследование не проверяет эффекты попадания пыли GaAs или InP в жидкую суспензию.

Процедура REACH, действующая в соответствии с принципом предосторожности , интерпретирует «недостаточные доказательства канцерогенности» как «возможный канцероген». В результате Европейское химическое агентство в 2010 году классифицировало InP как канцероген и репродуктивный токсин: [37]

и ECHA классифицировало GaAs в 2010 году как канцероген и репродуктивный токсин:

Смотрите также

Ссылки

  1. ^ ab Pearsall, T. (1980). "Ga 0.47 In 0.53 As: тройной полупроводник для фотодетекторных приложений". IEEE Journal of Quantum Electronics . 16 (7). Институт инженеров по электротехнике и электронике (IEEE): 709–720. doi :10.1109/jqe.1980.1070557. ISSN  0018-9197.
  2. ^ "Международный союз теоретической и прикладной химии: Главная". IUPAC . Получено 22.09.2013 .
  3. ^ ab Пирсолл, TP; Хопсон, RW (1977). "Рост и характеристика эпитаксиальных пленок Ga x In 1−x As/InP с согласованной решеткой методом жидкофазной эпитаксии". Журнал прикладной физики . 48 (10). AIP Publishing: 4407–4409. doi : 10.1063/1.323399. ISSN  0021-8979.
  4. ^ ab Пирсолл, TP; Бисаро, Р.; Ансель, Р.; Меренда, П. (1978-04-15). "Рост Ga x In 1−x As на (100) InP методом жидкофазной эпитаксии". Applied Physics Letters . 32 (8). AIP Publishing: 497–499. doi :10.1063/1.90100. ISSN  0003-6951.
  5. ^ Hirtz, JP; Larivain, JP; Duchemin, JP; Pearsall, TP; Bonnet, M. (1980). «Рост Ga 0,47 In 0,53 As на InP методом низконапорной MOCVD». Electronics Letters . 16 (11). Институт инженерии и технологий (IET): 415–416. Bibcode : 1980ElL....16..415H. doi : 10.1049/el:19800290. ISSN  0013-5194.
  6. ^ "Технология: Что такое InGaAs?". Sensorsinc.com. Архивировано из оригинала 29-10-2013 . Получено 02-12-2013 .
  7. ^ Джон В. Вагнер. "Подготовка и свойства объемных сплавов In1 − x Ga x As: НАУКА ТВЕРДОГО ТЕЛА - Технические статьи". Jes.ecsdl.org . Получено 2013-12-02 .
  8. ^ Пирсолл, TP; Ивс, L.; Портал, JC (1983). "Фотолюминесценция и концентрация примесей в сплавах GaxIn1−xAsyP1−y, решетка которых согласована с InP". Журнал прикладной физики . 54 (2): 1037. Bibcode : 1983JAP....54.1037P. doi : 10.1063/1.332122.
  9. ^ abc Y. Takeda, A. Sasaki, Y. Imamura и T. Takagi, "Подвижность электронов и энергетическая щель In
    0,53    Га
    0,47    Как     на подложке InP", Журнал прикладной физики 47 , 5405-7 (1976); https://doi.org/10.1063/1.322570
  10. ^ ab Николас, Р. Дж.; Портал, Дж. К.; Хоулберт, К.; Перье, П.; Пирсолл, TP (1979-04-15). "Экспериментальное определение эффективных масс для сплавов Ga x In 1−x As y P 1−y , выращенных на InP". Applied Physics Letters . 34 (8). AIP Publishing: 492–494. doi :10.1063/1.90860. ISSN  0003-6951.
  11. ^ ab Hermann, Claudine; Pearsall, Thomas P. (1981-03-15). "Оптическая накачка и эффективная масса легких дырок валентной зоны в GaxIn1−xAsyP1−y (y≃2.2x)". Applied Physics Letters . 38 (6). AIP Publishing: 450–452. doi : 10.1063/1.92393 . ISSN  0003-6951.
  12. ^ abc Pearsall, TP; Hirtz, JP (1981). "Подвижность носителей заряда в Ga 0,47 In 0,53 , выращенном методом органо-металлического [sic] химического осаждения из газовой фазы и эпитаксии в жидкой фазе". Journal of Crystal Growth . 54 (1). Elsevier BV: 127–131. Bibcode :1981JCrGr..54..127P. doi :10.1016/0022-0248(81)90258-x. ISSN  0022-0248.
  13. ^ Bisaro, R.; Merenda, P.; Pearsall, TP (1979). «Параметры теплового расширения некоторых сплавов Ga x In 1−x As y P 1−x ». Applied Physics Letters . 34 (1). AIP Publishing: 100–102. doi :10.1063/1.90575. ISSN  0003-6951.
  14. ^ Лин, SY (1989). "Циклотронный резонанс двумерных дырок в напряженно-слойной структуре квантовых ям (100)In0.20Ga0.80As/GaAs". Applied Physics Letters . 55 (7): 666–668. Bibcode : 1989ApPhL..55..666L. doi : 10.1063/1.101816.
  15. ^ TP Pearsall, «InGaAs Photodetectors» в книге «Свойства согласованных по решетке и напряженных арсенидов индия и галлия» , под ред. P.Bhattacharya, (Лондон, IEE Press, 1993) стр. 267-77.
  16. ^ Пирсолл, TP; Поллак, MA (3 июня 1985 г.). Цанг, WT (ред.). Фотодиоды для оптоволоконной связи. Том 17. Academic Press. С. 174–246. ISBN 978-0-08-086417-4. {{cite book}}: |work=проигнорировано ( помощь )
  17. ^ TP Pearsall и RW Hopson, Jr, Electronic Materials Conference, Cornell University, 1977, опубликовано в J. Electron. Mat. 7 , стр. 133-146, (1978)
  18. ^ Нисида, Кацухико (1979). «Гетероструктурные лавинные фотодиоды InGaAsP с высоким лавинным усилением». Applied Physics Letters . 35 (3): 251–253. Bibcode : 1979ApPhL..35..251N. doi : 10.1063/1.91089.
  19. ^ Пирсолл, Т. (1981). "Гетерофотодиод Ga 0,47 In 0,53 As/InP с пониженным темновым током". IEEE Journal of Quantum Electronics . 17 (2): 255–259. Bibcode : 1981IJQE...17..255P. doi : 10.1109/JQE.1981.1071057. S2CID  20079859.
  20. ^ Пирсолл, TP; Логан, RA; Бетеа, CG (1983). "GaInAs/InP широкополосные (> 2 ГГц) PIN-детекторы". Electronics Letters . 19 (16). Институт инженерии и технологий (IET): 611–612. Bibcode : 1983ElL....19..611P. doi : 10.1049/el:19830416. ISSN  0013-5194.
  21. ^ Shimizu, N. (1998). "InP-InGaAs фотодиод с однопутевой несущей и улучшенной полосой пропускания по уровню 3 дБ более 150 ГГц". IEEE Photonics Technology Letters . 10 (3): 412–414. Bibcode : 1998IPTL...10..412S. doi : 10.1109/68.661427. S2CID  9717655.
  22. ^ Wey, YG; Crawford, DL; Giboney, K.; Bowers, JE; Rodwell, MJ; Silvestre, P.; Hafich, MJ; Robinson, GY (1991-05-13). "Сверхбыстрый градиентный двойной гетероструктурный фотодиод GaInAs/InP". Applied Physics Letters . 58 (19). AIP Publishing: 2156–2158. Bibcode : 1991ApPhL..58.2156W. doi : 10.1063/1.104991. ISSN  0003-6951.
  23. ^ Veteran, JL (1982). "Измерения барьера Шоттки на p-типе In 0,53 Ga 0,47 As". Тонкие твердые пленки . 97 (2): 187–190. Bibcode : 1982TSF....97..187V. doi : 10.1016/0040-6090(82)90227-9.
  24. ^ "Sensors Unlimited - InGaAs ближние и короткие инфракрасные (SWIR) камеры, матрицы и фотодиоды". Sensorsinc.com . Получено 22.09.2013 .
  25. ^ Бимберг, Д.; Кирстедтер, Н.; Леденцов Н.Н.; Алферов Ж.И.; Копьев П.С.; Устинов, В.М. (1997). «Лазеры на квантовых точках InGaAs-GaAs». Журнал IEEE по избранным темам квантовой электроники . 3 (2). Институт инженеров по электротехнике и электронике (IEEE): 196–205. Бибкод : 1997IJSTQ...3..196B. дои : 10.1109/2944.605656. ISSN  1077-260X.
  26. ^ K. Alavi, H. Temkin, AY Cho и TP Pearsall, "AlInAs-GaInAs многоквантовые лазеры с излучением на длине волны 1,55 мкм", Appl. Phys. Lett. 4244 , 845-847 (1983)
  27. ^ Faist, J.; Capasso, F.; Sivco, DL; Sirtori, C.; Hutchinson, AL; Cho, AY (1994-04-22). "Квантовый каскадный лазер". Science . 264 (5158). Американская ассоциация содействия развитию науки (AAAS): 553–556. Bibcode :1994Sci...264..553F. doi :10.1126/science.264.5158.553. ISSN  0036-8075. PMID  17732739. S2CID  109009138.
  28. ^ Дж. Фейст, Квантовый каскадный лазер , (Оксфорд, Oxford University Press, 2013)
  29. ^ M.Tan, L.Ji, Y.Wu, P.Dai, Q.Wang, K.Li, T.Yu, Y.Yu, S.Lu и H.Yang, «Исследование термофотоэлектрических ячеек InGaAs под воздействием излучения черного тела», Applied Physics Express 7 , стр. 096601 (2014), https://doi.org/10.7567/APEX.7.096601
  30. ^ [1] Архивировано 4 января 2006 г. на Wayback Machine.
  31. ^ «Крошечный полупроводниковый транзистор может бросить вызов доминированию кремния». 10 декабря 2012 г.
  32. ^ Thathachary, Arun V.; Agrawal, Nidhi; Liu, Lu; Datta, Suman (1 января 2014 г.). «Электронный транспорт в многозатворных InxGa1–x полевых транзисторах в нанопроволоках: от диффузионных до баллистических режимов при комнатной температуре». Nano Letters . 14 (2): 626–633. Bibcode :2014NanoL..14..626T. doi :10.1021/nl4038399. PMID  24382089.
  33. ^ Себастьян Энтони (23 февраля 2015 г.). «Intel продвигается вперед к 10 нм, отойдет от кремния на 7 нм». Ars Technica . Получено 28 ноября 2019 г.
  34. ^ Были рассмотрены аспекты окружающей среды, здоровья и безопасности источников арсенида индия-галлия (таких как триметилгаллий , триметилиндий и арсин ) и исследования мониторинга промышленной гигиены стандартного MOVPE . Shenai-Khatkhate, DV; et al. (2004). "Проблемы окружающей среды, здоровья и безопасности для источников, используемых при росте MOVPE соединений полупроводников". Journal of Crystal Growth . 272 ​​(1–4): 816–821. Bibcode : 2004JCrGr.272..816S. doi : 10.1016/j.jcrysgro.2004.09.007.
  35. ^ "Технический отчет NTP по исследованиям токсикологии и канцерогенеза арсенида галлия" (PDF) . Ntp.niehs.nih.gov . Получено 22.09.2013 .
  36. ^ Монографии МАИР по оценке канцерогенных рисков для человека (PDF) . Monographs.iarc.fr . Получено 22.09.2013 .
  37. ^ "Домашняя страница - ECHA". Echa.europa.eu . Получено 2013-09-22 .

Внешние ссылки